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发明公开
多运行循环处理过程的分析审中-实审

公开(公告)号：CN119156577A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202280095771.6

申请日：2022-05-17

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 柴青林 , 马月 , 张立明 , 韩新海 , 汪传颖

IPC: G05B19/418 , G06F17/16

Abstract: 一种方法包括：接收与基板处理过程相关联的时间轨迹传感器数据。基板处理过程包括两组或更多组处理条件。至少第一组处理条件和第二组处理条件各自包括重复执行的一个或更多个操作。方法进一步包括：将对应于第一组处理条件和第二组处理条件的时间轨迹传感器数据的第一部分和第二部分分离成第一多个循环数据和第二多个循环数据。方法进一步包括：处理第一多个循环数据和第二多个循环数据以生成汇总数据。方法进一步包括：向用户提供警报。警报是基于汇总数据。

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