公开(公告)号：CN112041976B

公开(公告)日：2025-02-25

申请号：CN201980028383.4

申请日：2019-05-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·V·R·科米塞蒂 ,  瑞安·帕茨 ,  赛斯恩德拉·甘塔萨拉 ,  张立明 ,  伊达·滕塞 ,  肖恩·史密斯

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 一种用于在处理腔室中检测陈化处理的终点的方法，该方法包括以下步骤：获得指示第一多个基板中的每一基板的陈化处理的进度的陈化进度数据，以及从设置在处理腔室中的多个传感器收集历史参数值。相对于第一多个基板中的特定基板的多个参数值，归一化第一多个基板中的每一基板的历史参数值。通过将一系数集应用于第一多个基板中的每一基板的归一化参数值来生成MVA模型，及基于陈化进度数据回归该系数集。使用MVA模型决定陈化处理的终点，该MVA模型具有当对第二多个基板中的每个基板执行陈化处理时测量的多个实质实时参数值。

公开(公告)号：CN112041976A

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN201980028383.4

申请日：2019-05-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·V·R·科米塞蒂 ,  瑞安·帕茨 ,  赛斯恩德拉·甘塔萨拉 ,  张立明 ,  伊达·滕塞 ,  肖恩·史密斯

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/66

Abstract: 一种用于在处理腔室中检测陈化处理的终点的方法，该方法包括以下步骤：获得指示第一多个基板中的每一基板的陈化处理的进度的陈化进度数据，以及从设置在处理腔室中的多个传感器收集历史参数值。相对于第一多个基板中的特定基板的多个参数值，归一化第一多个基板中的每一基板的历史参数值。通过将一系数集应用于第一多个基板中的每一基板的归一化参数值来生成MVA模型，及基于陈化进度数据回归该系数集。使用MVA模型决定陈化处理的终点，该MVA模型具有当对第二多个基板中的每个基板执行陈化处理时测量的多个实质实时参数值。