公开(公告)号：CN104067374B

公开(公告)日：2017-03-29

申请号：CN201280054303.0

申请日：2012-10-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 吴卓斌 ,  尤里·梅尔尼克 ,  莉莉·庞 ,  伊达·滕塞 ,  陈璐 ,  松·T·阮

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C23C16/303 ,  C23C16/4488 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/4558 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/8593

Abstract: 本文描述根据一个实施例的具有多个气体分配组件的示例性设备。在一个实施例中，该设备包括两个或更多个气体分配组件。每一气体分配组件具有孔，通过所述孔将至少一种工艺气体引入至处理腔室。两个或更多个气体分配组件可被设计为具有互补的特征径向膜生长速率分布。

公开(公告)号：CN104067374A

公开(公告)日：2014-09-24

申请号：CN201280054303.0

申请日：2012-10-12

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 吴卓斌 ,  尤里·梅尔尼克 ,  莉莉·庞 ,  伊达·滕塞 ,  陈璐 ,  松·T·阮

IPC: H01L21/205

CPC classification number: C23C16/303 ,  C23C16/4488 ,  C23C16/45574 ,  C23C16/4558 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/8593

Abstract: 本发明描述根据一个实施例的具有多个气体分配组件的示例性设备。在一个实施例中，该设备包括两个或更多个气体分配组件。每一气体分配组件具有孔，通过所述孔将至少一种工艺气体引入至处理腔室。两个或更多个气体分配组件可被设计为具有互补的特征径向膜生长速率分布。