公开(公告)号：CN116547794A

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202180077833.6

申请日：2021-11-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 吉里达尔·卡梅什 ,  维诺德•拉马钱德朗 ,  柴塔尼亚·A·普拉萨德 ,  穆罕默德·阿米尔 ,  丹尼尔·C·格洛弗

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开案的实施方式大致关于用于基板处理的装置，且更具体而言，关于用于旋转基板的装置及所述装置的用途。在实施方式中，提供一种用于旋转基板的装置。装置包括可悬浮转子，所述可悬浮转子包含嵌入所述可悬浮转子中的多个磁铁；多个气体轴承，定位以悬浮可悬浮转子；及定子，磁性耦合至可悬浮转子，定子用于产生旋转磁场。亦说明具有用于旋转基板的装置的处理基板的装置，以及使用的方法。

公开(公告)号：CN117581346A

公开(公告)日：2024-02-20

申请号：CN202280046066.7

申请日：2022-06-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 柴坦尼亚·安贾内亚鲁·普拉萨德 ,  克里斯托弗·肖恩·奥尔森 ,  劳拉·哈夫雷查克 ,  艾丽卡·加布里埃尔·汉森 ,  丹尼尔·C·格洛弗 ,  纳曼·阿普瓦 ,  杨宗翰

IPC: H01L21/67

Abstract: 在本文中提供了用于与快速热处理(RTP)系统一起使用的气体分配模块及其使用方法的实施方式。在一些实施方式中，用于与RTP腔室一起使用的气体分配模块包含：流体耦接至混合器的第一载气管线和第一液体管线，所述混合器具有一个或多个控制阀，且被配置为将来自第一载气管线的载气和来自第一液体管线的液体以期望的比例混合以形成第一混合物；汽化器，所述汽化器耦接至混合器且被配置为在中空内部容积中接收第一混合物，所述汽化器具有被配置为使第一混合物汽化的加热器；以及第一气体输送管线，所述第一气体输送管线设置在汽化器与RTP腔室之间以将汽化的第一混合物输送至RTP腔室。

公开(公告)号：CN115003856A

公开(公告)日：2022-09-02

申请号：CN202180010250.1

申请日：2021-01-05

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 柴塔尼亚·A·普拉萨德 ,  丹尼尔·C·格洛弗 ,  纳曼·阿普瓦

IPC: C23C16/458 ,  C23C16/46 ,  C23C16/52 ,  C23C16/44

Abstract: 一种基板支撑底座，基板支撑底座能连接至轴，基板支撑底座包括：导热主体；第一流体通道，第一流体通道设置在导热主体的外部区域内；和第二流体通道，第二流体通道设置在导热主体的内部区域内。第一流体通道和第二流体通道彼此不流体连通，并且通过基板支撑通道内的热屏障彼此热隔离。