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公开(公告)号：CN116547794A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202180077833.6
申请日：2021-11-02
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 吉里达尔·卡梅什 , 维诺德•拉马钱德朗 , 柴塔尼亚·A·普拉萨德 , 穆罕默德·阿米尔 , 丹尼尔·C·格洛弗
IPC: H01L21/67
Abstract: 本公开案的实施方式大致关于用于基板处理的装置，且更具体而言，关于用于旋转基板的装置及所述装置的用途。在实施方式中，提供一种用于旋转基板的装置。装置包括可悬浮转子，所述可悬浮转子包含嵌入所述可悬浮转子中的多个磁铁；多个气体轴承，定位以悬浮可悬浮转子；及定子，磁性耦合至可悬浮转子，定子用于产生旋转磁场。亦说明具有用于旋转基板的装置的处理基板的装置，以及使用的方法。
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