公开(公告)号：CN117813459A

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202280052214.6

申请日：2022-12-21

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 希瓦拉姆·钱德拉舍卡 ,  帕拉布·卡尔马卡 ,  阿米特·萨胡 ,  库马雷桑·纳加拉詹 ,  吉里达尔·卡梅什

IPC: F16K31/00 ,  F16K25/00 ,  F16K27/02 ,  F16F1/00 ,  H01L21/67 ,  C22C19/03

Abstract: 本文中公开了一种温度致动阀，所述温度致动阀包括固定构件和可动构件，其中固定构件被配置为接收可动构件。第一流动路径被限定在固定构件的外表面与壳体的内表面之间，第二流动路径由可动构件限定并限定在可动构件内。所述温度致动阀进一步包括至少一个温度致动构件，所述温度致动构件具有靠在所述固定构件的基部上的第一端，和靠在所述可动构件的基部上的第二端。所述温度致动阀进一步包括偏压构件，所述偏压构件具有与所述固定构件的所述基部连接的第一端，和与所述可动构件的所述基部连接的第二端，所述至少一个温度致动构件被配置为在第一温度下压缩，并在第二温度下膨胀。

公开(公告)号：CN116547794A

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202180077833.6

申请日：2021-11-02

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 吉里达尔·卡梅什 ,  维诺德•拉马钱德朗 ,  柴塔尼亚·A·普拉萨德 ,  穆罕默德·阿米尔 ,  丹尼尔·C·格洛弗

IPC: H01L21/67

Abstract: 本公开案的实施方式大致关于用于基板处理的装置，且更具体而言，关于用于旋转基板的装置及所述装置的用途。在实施方式中，提供一种用于旋转基板的装置。装置包括可悬浮转子，所述可悬浮转子包含嵌入所述可悬浮转子中的多个磁铁；多个气体轴承，定位以悬浮可悬浮转子；及定子，磁性耦合至可悬浮转子，定子用于产生旋转磁场。亦说明具有用于旋转基板的装置的处理基板的装置，以及使用的方法。