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公开(公告)号：CN117581346A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202280046066.7
申请日：2022-06-28
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 柴坦尼亚·安贾内亚鲁·普拉萨德 , 克里斯托弗·肖恩·奥尔森 , 劳拉·哈夫雷查克 , 艾丽卡·加布里埃尔·汉森 , 丹尼尔·C·格洛弗 , 纳曼·阿普瓦 , 杨宗翰
IPC: H01L21/67
Abstract: 在本文中提供了用于与快速热处理(RTP)系统一起使用的气体分配模块及其使用方法的实施方式。在一些实施方式中，用于与RTP腔室一起使用的气体分配模块包含：流体耦接至混合器的第一载气管线和第一液体管线，所述混合器具有一个或多个控制阀，且被配置为将来自第一载气管线的载气和来自第一液体管线的液体以期望的比例混合以形成第一混合物；汽化器，所述汽化器耦接至混合器且被配置为在中空内部容积中接收第一混合物，所述汽化器具有被配置为使第一混合物汽化的加热器；以及第一气体输送管线，所述第一气体输送管线设置在汽化器与RTP腔室之间以将汽化的第一混合物输送至RTP腔室。
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