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公开(公告)号：CN116918054A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202180079151.9
申请日：2021-08-23
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Inventor： 吉田雅也 , 阿维什·阿肖克·巴瓦尼 , 西蒙·杰亚普兰
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种机器人系统，其具备机器人以及控制部。所述机器人具有通过电动马达驱动的一个以上的关节，且能够通过保持部保持晶圆。所述控制部对所述机器人发出指令进行控制。在所述机器人通过所述保持部保持所述晶圆进行运送的情况下，所述控制部根据与所述电动马达相关的信息，进行是否在所述保持部与所述晶圆之间产生滑动的判定、以及对所述晶圆相对于所述保持部的滑动量的估计中的至少一个。
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公开(公告)号：CN116325109A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202180063557.8
申请日：2021-08-23
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种机器人系统，其具有：机器人；晶圆夹具，其通过机器人保持；定位台，其能够放置晶圆夹具；位置偏移检测装置，其能够检测晶圆夹具的位置偏移；控制部，其对机器人发出指令进行控制；以及位移获取部，其获取在指令位置与实际位置之间产生的位移。定位台具有接触部件。在晶圆夹具上形成有锥面。锥面以随着锥面与接触部件接触的位置相对变高而使晶圆夹具的中心靠近既定位置的方式引导晶圆夹具。机器人在将晶圆夹具放置在定位台上后，保持晶圆夹具且搬送至位置偏移检测装置。位移获取部根据位置偏移检测装置检测被搬送的晶圆夹具的位置偏移而得的结果，获取位移。
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公开(公告)号：CN111095518B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN201880060083.X
申请日：2018-07-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B65G49/07 , H01L21/68
Abstract: 包括：在基板载置部上的改变目标的以旋转轴为旋转中心的旋转位置及检测区域的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置中的至少一方而得的多个旋转位置上，用物体检测传感器对作为目标的表面的一部分而位于以旋转轴为中心且通过目标的规定的圆周的内周侧的部分进行检测的步骤；对于多个旋转位置的每一个，求出与表示用物体检测传感器检测到目标时的从机器人基准轴至目标的距离的指标长度存在相关关系的量的步骤；以及基于多个旋转位置中的与指标长度存在相关关系的量最大或最小者，求出机器人基准轴与旋转轴的位置关系的步骤。
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公开(公告)号：CN108780770B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201780015069.3
申请日：2017-02-28
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22
Abstract: 控制器，使用从第一光传感器及至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使基板搬送手往光传感器的光路位于基板载置部的上方且不会与柱部干涉的检测开始位置移动，从检测开始位置使基板搬送手往下方移动至以光传感器检测到物体的检测位置，将基板搬送手位于检测位置时的光传感器距离光路的规定位置基准的高度，作为基板载置部的高度位置加以储存。
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公开(公告)号：CN114008745A
公开(公告)日：2022-02-01
申请号：CN202080045909.2
申请日：2020-02-28
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
Abstract: 本发明的基板搬运装置具备：基座；臂；末端执行器，设置于臂的前端，并具有分支为两股的第1前端部和第2前端部；发光部；受光部；以及控制装置，控制臂的动作。控制装置控制臂的动作，使得在末端执行器的前端前进的光扫描容纳于FOUP的多张基板的边缘，并且根据在臂的动作中光与基板的相对的位置关系，比较在受光部连续地变化的输出值的测定波形的形状图案与比较用的基准波形的形状图案，并基于比较结果，诊断基板的状态、FOUP的状态以及末端执行器的状态中的至少一个状态。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107000223B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201480083989.5
申请日：2014-12-25
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06 , H01L21/677
Abstract: 机械手的障碍物自动回避方法具备：几何模型表现步骤（S40），将机械手（100）表现为几何模型（M）；假想姿势算出步骤（S30），算出与初始轨道上的规定点对应的机械手的假想姿势（Pp）；干扰判定步骤（S50），判定假想姿势的几何模型是否干扰禁止进入区域；经过姿势决定步骤（S70），判定为干扰时，算出假想斥力将几何模型的干扰部分自禁止进入区域推出至动作区域的状态的姿势，将算出的姿势决定为经过姿势；更新轨道决定步骤（S80），将自当前姿势经由经过姿势变化为最终姿势时手部的轨道决定为更新轨道（Tb）；及将最新的经过姿势决定步骤中决定的经过姿势假设为初始轨道决定步骤中的当前姿势，反复执行自初始轨道决定步骤至更新轨道决定步骤的步骤。
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公开(公告)号：CN114845841B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202080070446.5
申请日：2020-10-07
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 控制方法在每当机器人(10)的末端执行器目的地的动作目标点的信息，若接收到原点复归指令，则获取上述末端执行器的当前位置，检测返回目标点的信息作为用于使上述末端执行器返回到动作路径的原点的返回路径上的点的信息，作为第(k+1)返回目标点，从在第k返回目标点之前已到达的上述动作目标点的信息之中，检测在上述第k返回目标点的紧前已到达或距上述第k返回目标点最近的距离的上述动作目标点的信息，通过反复进行上述返回目标点的信息的检测，从而检测第2返回目标点～第(n+1)返回目标点的信息，使上述末端执行器沿着通过上述第1返回目标点～上述第(n+1)返回目标点而返回到(11)向动作路径的动作目标点移动时，记录移动
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公开(公告)号：CN113228246B
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN201980085025.7
申请日：2019-12-23
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 川崎机器人(美国)有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 一种基板搬运机器人和自动示教方法，本发明的基板搬运机器人(1)在机械手设置第1和第2传感器(20、30)，使得在俯视视角中射出的检测光的光轴的俯视交点(LC)位于由上述机械手置上，控制装置(40)构成为：使臂(12)动作，通过上述第1和第2传感器扫描设置于示教位置的靶(52)，在上述靶位于上述光轴的俯视交点时取得上述示教位置。(14)保持基板(S)的情况下的上述基板的规定位
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公开(公告)号：CN112041132B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN201980030615.X
申请日：2019-05-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/04 , B25J13/08 , H01L21/677 , H01L21/68
Abstract: 本发明的基板保持手的光轴偏差检测方法取得理想光轴在水平的第一方向上延伸的手的基准回转位置；进行第一搜寻处理，该第一搜寻处理一边使手在以基准回转位置为基准的指定的第一回转位置向以回转轴为中心的放射方向移动，一边藉由光电传感器检测第一目标体，并求出此时手的与第一方向正交的水平的第二方向的位置作为检测位置；对第二目标体进行与第一搜寻处理相同的第二搜寻处理；基于藉由第一搜寻处理与第二搜寻处理求出的检测位置的差，检测光轴相对于理想光轴的倾斜。从回转轴至第一目标体及第二目标体为止的第二方向的距离相等，在手上，光轴和第一目标的交叉位置与光轴和第二目标的交叉位置不同。
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公开(公告)号：CN114845841A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202080070446.5
申请日：2020-10-07
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 控制方法在每当机器人(10)的末端执行器(11)向动作路径的动作目标点移动时，记录移动目的地的动作目标点的信息，若接收到原点复归指令，则获取上述末端执行器的当前位置，检测返回目标点的信息作为用于使上述末端执行器返回到动作路径的原点的返回路径上的点的信息，作为第(k+1)返回目标点，从在第k返回目标点之前已到达的上述动作目标点的信息之中，检测在上述第k返回目标点的紧前已到达或距上述第k返回目标点最近的距离的上述动作目标点的信息，通过反复进行上述返回目标点的信息的检测，从而检测第2返回目标点～第(n+1)返回目标点的信息，使上述末端执行器沿着通过上述第1返回目标点～上述第(n+1)返回目标点而返回到上述原点的上述返回路径移动。
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