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公开(公告)号：CN111095518B
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN201880060083.X
申请日：2018-07-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22 , B65G49/07 , H01L21/68
Abstract: 包括：在基板载置部上的改变目标的以旋转轴为旋转中心的旋转位置及检测区域的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置中的至少一方而得的多个旋转位置上，用物体检测传感器对作为目标的表面的一部分而位于以旋转轴为中心且通过目标的规定的圆周的内周侧的部分进行检测的步骤；对于多个旋转位置的每一个，求出与表示用物体检测传感器检测到目标时的从机器人基准轴至目标的距离的指标长度存在相关关系的量的步骤；以及基于多个旋转位置中的与指标长度存在相关关系的量最大或最小者，求出机器人基准轴与旋转轴的位置关系的步骤。
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公开(公告)号：CN116195043A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202180054552.9
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部和倾斜机构。所述臂部能够移动。所述手部被设置为从臂部突出，保持且运送所述基板。所述倾斜机构能够使所述手部的姿势倾斜。所述手部包括保持部。所述保持部能够接触到所述基板的上表面以及下表面。通过所述倾斜机构，所述保持部在以仅将力施加在将所述基板分为两等份的两个部分中的一个部分上的方式接触到该基板的上表面以及下表面的状态下，保持该基板。
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公开(公告)号：CN108780770B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN201780015069.3
申请日：2017-02-28
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J9/22
Abstract: 控制器，使用从第一光传感器及至少一个的第二光传感器中选择的一个光传感器，使基板搬送手往光传感器的光路位于基板载置部的上方且不会与柱部干涉的检测开始位置移动，从检测开始位置使基板搬送手往下方移动至以光传感器检测到物体的检测位置，将基板搬送手位于检测位置时的光传感器距离光路的规定位置基准的高度，作为基板载置部的高度位置加以储存。
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公开(公告)号：CN111052339B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201880060082.5
申请日：2018-07-30
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: H01L21/677 , B25J13/08 , B65G49/07 , H01L21/68
Abstract: 在基板载置部的多个旋转位置上，用物体检测传感器检测设置于基板载置部的目标，求出从机器人基准轴至目标的与轴心方向正交的方向的距离即指标长度或与其相关的信息，基于求得的指标长度或与其相关的信息，求出检测到位于连结机器人基准轴与旋转轴的直线上的目标时的，检测线的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置及基板载置部的以旋转轴为中心的旋转位置的至少一方的旋转位置，基于求得的旋转位置，对从机器人基准轴观察到的旋转轴所在的方向进行特定。
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公开(公告)号：CN116096532A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202180054557.1
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: B25J9/06
Abstract: 本发明提供一种机器人，该机器人包括引导部、移动部、手部、变形取得部、姿势调整部和控制部。所述移动部被设置在所述引导部，能够在该引导部引导的方向移动。所述手部被设置在所述移动部，保持所述基板。所述变形取得部取得与所述引导部的变形相关的信息。所述姿势调整部能够根据所述变形取得部所取得的所述引导部的变形来调整所述手部的姿势。所述控制部控制所述姿势调整部的动作。所述控制部根据与所述引导部的变形相关的信息，用所述姿势调整部调整相对于运送预定的所述基板进行保持作业的所述手部的姿势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114025925A
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：CN202080046702.7
申请日：2020-04-03
Applicant: 川崎重工业株式会社
Abstract: 基板扫描映射装置(4)对收容有沿规定的排列方向排列的多个基板(10)的容器内的基板(10)进行扫描映射。该基板扫描映射装置(4)具备：传感器(16)，其检测基板(10)的状态；操作器(14)，其使传感器(16)移动；以及控制装置(18)，其控制操作器(14)来使传感器(16)沿着扫描映射路径移动。控制装置(18)对在基板(10)的排列方向上位置不同的第一扫描映射位置和第二扫描映射位置进行设定，并使用第一扫描映射位置和第二扫描映射位置来设定扫描映射路径。
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公开(公告)号：CN111356563A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201880075578.X
申请日：2018-09-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06
Abstract: 用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法，其特征在于包括：准备运转工序，将规定的工序动作进行一次以上，在多个工序部分的各者中，对于进行动作的驱动部，检测所设定的所有监视参数；分级工序，对于准备运转工序中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法导出负荷程度，从负荷程度大者起依序将检测出的所有监视参数进行分级；以及通常运转工序，主要对分级工序中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。
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公开(公告)号：CN110891744A
公开(公告)日：2020-03-17
申请号：CN201880049169.2
申请日：2018-07-31
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06 , H01L21/677
Abstract: 特征在于，是用于监控对工件（W）进行作业的机器人（20）的状态的状态监控系统（10），执行以下步骤：从传感器获取状态数据并导出劣化指标参数的步骤（S1）；判定劣化指标参数是否超过针对比需要事后维修的级别低的级别预设的第一阈值的步骤（S2）；进一步对判定为劣化指标参数超过第一阈值的频次是否超过了预设的频次的阈值进行判定的步骤（S4）；和在判定为所述频次超过了频次的阈值时以停止以外的方式抑制机器人（20）的动作的步骤（S5）。
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公开(公告)号：CN116367972A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202180054607.6
申请日：2021-08-29
Applicant: 川崎重工业株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: B25J13/00
Abstract: 本发明提供一种用于运送基板的机器人，该机器人包括臂部、手部、基板检测部以及基板形状异常检查部。所述手部被设置在所述臂部，保持且运送所述基板。所述基板检测部非接触检测所述基板的有无。所述基板形状异常检查部根据由被所述手部保持的状态的所述基板被所述基板检测部所检测出的高度信息，来检查所述基板的形状异常的有无。
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公开(公告)号：CN111356563B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN201880075578.X
申请日：2018-09-10
Applicant: 川崎重工业株式会社
IPC: B25J19/06
Abstract: 用于对具有多个驱动部且进行规定的工序动作的机器人进行监视的监视方法，其特征在于包括：准备运转工序，将规定的工序动作进行一次以上，在多个工序部分的各者中，对于进行动作的驱动部，检测所设定的所有监视参数；分级工序，对于准备运转工序中检测出的所有监视参数的各者，基于规定的负荷评价方法导出负荷程度，从负荷程度大者起依序将检测出的所有监视参数进行分级；以及通常运转工序，主要对分级工序中分级为上位的监视参数，针对检测出该监视参数的工序部分中的驱动部进行监视。
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