基板搬运装置及基板载置部的旋转轴的探索方法

    公开(公告)号:CN111052339B

    公开(公告)日:2023-09-19

    申请号:CN201880060082.5

    申请日:2018-07-30

    Abstract: 在基板载置部的多个旋转位置上,用物体检测传感器检测设置于基板载置部的目标,求出从机器人基准轴至目标的与轴心方向正交的方向的距离即指标长度或与其相关的信息,基于求得的指标长度或与其相关的信息,求出检测到位于连结机器人基准轴与旋转轴的直线上的目标时的,检测线的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置及基板载置部的以旋转轴为中心的旋转位置的至少一方的旋转位置,基于求得的旋转位置,对从机器人基准轴观察到的旋转轴所在的方向进行特定。

    基板搬运装置以及求出机器人与载置部的位置关系的方法

    公开(公告)号:CN111095518B

    公开(公告)日:2023-06-02

    申请号:CN201880060083.X

    申请日:2018-07-30

    Abstract: 包括:在基板载置部上的改变目标的以旋转轴为旋转中心的旋转位置及检测区域的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置中的至少一方而得的多个旋转位置上,用物体检测传感器对作为目标的表面的一部分而位于以旋转轴为中心且通过目标的规定的圆周的内周侧的部分进行检测的步骤;对于多个旋转位置的每一个,求出与表示用物体检测传感器检测到目标时的从机器人基准轴至目标的距离的指标长度存在相关关系的量的步骤;以及基于多个旋转位置中的与指标长度存在相关关系的量最大或最小者,求出机器人基准轴与旋转轴的位置关系的步骤。

    作业系统
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110740841B

    公开(公告)日:2023-10-27

    申请号:CN201880039013.6

    申请日:2018-06-11

    Abstract: 机器人系统(1)具备机器人(10)、标记单元(40)、传感器(51)、储存装置(52)、及控制装置(53)。机器人(10)对工件(30)进行作业。标记单元(40)安装在测量对象物上,包括基础部、及安装在该基础部上的多个标记(42)。传感器(51)检测多个标记(42)的辨认信息和三维位置。储存装置(52)储存包括表示标记(42)的辨认信息与标记(42)的安装位置的对应关系的安装位置数据、及作业数据的指教数据。控制装置(53)根据多个标记(42)的三维位置和安装位置数据,求出测量对象物的三维位置;并根据测量对象物的三维位置和作业数据,控制机器人(10)进行作业。

    机器人系统及其运转方法

    公开(公告)号:CN107848113A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201680043288.8

    申请日:2016-07-15

    Abstract: 本发明的机器人系统包括:操作器(2),接受来自操作者的操作指示;从属臂(1),具有多个关节;以及控制装置(4),对从属臂(1)的动作进行控制,控制装置(4)以如下方式构成:在从属臂(1)的自动运转中,即便自操作器(2)输入了修正从属臂(1)的动作的动作指令值,在从属臂(1)以预先设定的规定的第一临限值以上的速度动作的情形时,抑制从属臂(1)的动作的修正。

    机器人系统及其运转方法

    公开(公告)号:CN107848113B

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN201680043288.8

    申请日:2016-07-15

    Abstract: 本发明的机器人系统包括:操作器(2),接受来自操作者的操作指示;从属臂(1),具有多个关节;以及控制装置(4),对从属臂(1)的动作进行控制,控制装置(4)以如下方式构成:在从属臂(1)的自动运转中,即便自操作器(2)输入了修正从属臂(1)的动作的动作指令值,在从属臂(1)以预先设定的规定的第一临限值以上的速度动作的情形时,抑制从属臂(1)的动作的修正。

    作业系统
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110740841A

    公开(公告)日:2020-01-31

    申请号:CN201880039013.6

    申请日:2018-06-11

    Abstract: 机器人系统(1)具备机器人(10)、标记单元(40)、传感器(51)、储存装置(52)、及控制装置(53)。机器人(10)对工件(30)进行作业。标记单元(40)安装在测量对象物上,包括基础部、及安装在该基础部上的多个标记(42)。传感器(51)检测多个标记(42)的辨认信息和三维位置。储存装置(52)储存包括表示标记(42)的辨认信息与标记(42)的安装位置的对应关系的安装位置数据、及作业数据的指教数据。控制装置(53)根据多个标记(42)的三维位置和安装位置数据,求出测量对象物的三维位置;并根据测量对象物的三维位置和作业数据,控制机器人(10)进行作业。

    基板搬运装置以及求出基板搬运机器人与基板载置部的位置关系的方法

    公开(公告)号:CN111095518A

    公开(公告)日:2020-05-01

    申请号:CN201880060083.X

    申请日:2018-07-30

    Abstract: 包括:在基板载置部上的改变目标的以旋转轴为旋转中心的旋转位置及检测区域的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置中的至少一方而得的多个旋转位置上,用物体检测传感器对作为目标的表面的一部分而位于以旋转轴为中心且通过目标的规定的圆周的内周侧的部分进行检测的步骤;对于多个旋转位置的每一个,求出与表示用物体检测传感器检测到目标时的从机器人基准轴至目标的距离的指标长度存在相关关系的量的步骤;以及基于多个旋转位置中的与指标长度存在相关关系的量最大或最小者,求出机器人基准轴与旋转轴的位置关系的步骤。

    基板搬运装置及基板载置部的旋转轴的探索方法

    公开(公告)号:CN111052339A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201880060082.5

    申请日:2018-07-30

    Abstract: 在基板载置部的多个旋转位置上,用物体检测传感器检测设置于基板载置部的目标,求出从机器人基准轴至目标的与轴心方向正交的方向的距离即指标长度或与其相关的信息,基于求得的指标长度或与其相关的信息,求出检测到位于连结机器人基准轴与旋转轴的直线上的目标时的,检测线的以机器人基准轴为旋转中心的旋转位置及基板载置部的以旋转轴为中心的旋转位置的至少一方的旋转位置,基于求得的旋转位置,对从机器人基准轴观察到的旋转轴所在的方向进行特定。

Patent Agency Ranking