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公开(公告)号：CN108474878A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201680077883.3
申请日：2016-12-28
Applicant: 大日本印刷株式会社
Abstract: 本发明提供一种可获得期望的衍射光且耐久性优异的衍射光学元件。一种衍射光学元件，其是对来自光源的光进行整形的光学元件，具备具有低折射率部和高折射率部的周期结构的衍射层，包括上述周期结构中的高折射率部的高宽比为2以上的部分。
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公开(公告)号：CN109616458B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201811131924.X
申请日：2014-11-19
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H01L23/488 , H01L23/13 , H01L23/15 , H01L23/48 , H01L23/498 , H10B80/00 , H01L21/60 , H05K1/11 , H05K3/28 , H05K3/44
Abstract: 本发明提供一种用于解决由滞留于贯通孔内的气体引起的问题，且可防止贯通孔内的填充物脱落的贯通电极基板。贯通电极基板具有：基板，具有将第一面的第一开口和第二面的第二开口贯通的贯通孔；以及填充物，配置于贯通孔内，第二开口大于第一开口，在第一开口与第二开口之间具有俯视时面积最小的最小开口部，上述贯通电极基板具有气体释放部，上述气体释放部配置成与在第一面及第二面的任一个面露出的填充物相接触。
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公开(公告)号：CN105765712A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201480061865.7
申请日：2014-11-19
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H01L23/32 , H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L23/522 , H01L25/065 , H01L25/07 , H01L25/18 , H05K1/11
CPC classification number: H01L23/49827 , H01L23/13 , H01L23/15 , H01L23/481 , H01L23/49894 , H01L24/13 , H01L24/16 , H01L24/29 , H01L24/32 , H01L24/48 , H01L24/73 , H01L25/065 , H01L25/18 , H01L2224/0401 , H01L2224/04042 , H01L2224/13109 , H01L2224/13144 , H01L2224/13147 , H01L2224/16145 , H01L2224/16146 , H01L2224/16165 , H01L2224/16227 , H01L2224/2919 , H01L2224/32225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2224/73257 , H01L2224/81805 , H01L2224/8385 , H01L2225/0651 , H01L2225/06517 , H01L2225/06572 , H01L2924/14 , H01L2924/1432 , H01L2924/1434 , H01L2924/1461 , H01L2924/15787 , H01L2924/15788 , H01L2924/1579 , H01L2924/381 , H05K1/115 , H05K3/28 , H05K3/445 , H05K2201/09154 , H05K2201/09563 , H05K2201/09581 , H05K2201/0959 , H05K2201/09854 , H05K2203/0594 , H01L2924/00014 , H01L2924/05432 , H01L2924/0665 , H01L2924/07025
Abstract: 本发明提供一种用于解决由滞留于贯通孔内的气体引起的问题，且可防止贯通孔内的填充物脱落的贯通电极基板。贯通电极基板具有：基板，具有将第一面的第一开口和第二面的第二开口贯通的贯通孔；以及填充物，配置于贯通孔内，第二开口大于第一开口，在第一开口与第二开口之间具有俯视时面积最小的最小开口部，上述贯通电极基板具有气体释放部，上述气体释放部配置成与在第一面及第二面的任一个面露出的填充物相接触。
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公开(公告)号：CN109477915B
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN201780044486.0
申请日：2017-07-21
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G02B5/18
Abstract: 提供一种光的利用效率高，且即使在光的入射角偏离的情况下，对衍射光的影响也小并能够稳定地获得希望的衍射光，进而衍射光的不均匀性少的衍射光学元件、光照射装置。衍射光学元件(10)是一种对光进行整形的衍射光学元件，具备衍射层(15)，所述衍射层(15)具有：高折射率部(11)，在剖面形状中多个凸部(11a)排列配置；和低折射率部(14)，折射率比高折射率部(11)低，且至少包括在凸部(11a)之间形成的凹部(12)，凸部(11a)在其侧面形状的至少一侧具有具备高度不同的多个台阶部(11a‑1、11a‑2、11a‑3、11a‑4)的多阶段形状，凸部11a的侧面形状至少在一部分具备向包括衍射层(15)的平面倾斜的倾斜部(11b、11c、11d)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109616459A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811135601.8
申请日：2014-11-19
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H01L23/488 , H01L23/13 , H01L23/15 , H01L23/48 , H01L23/498 , H01L25/065 , H01L25/18 , H01L21/60 , H05K1/11 , H05K3/28 , H05K3/44
Abstract: 本发明提供一种用于解决由滞留于贯通孔内的气体引起的问题，且可防止贯通孔内的填充物脱落的贯通电极基板。贯通电极基板具有：基板，具有将第一面的第一开口和第二面的第二开口贯通的贯通孔；以及填充物，配置于贯通孔内，第二开口大于第一开口，在第一开口与第二开口之间具有俯视时面积最小的最小开口部，上述贯通电极基板具有气体释放部，上述气体释放部配置成与在第一面及第二面的任一个面露出的填充物相接触。
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公开(公告)号：CN108352301A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680062226.1
申请日：2016-10-14
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
CPC classification number: G03F7/0002 , B29C59/02 , B29K2709/08 , B32B17/10064 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供薄膜模具以及压印方法。本实施方式所涉及的薄膜模具具备：第一树脂层，其具有包括凹凸图案的图案区域，且由树脂组成物构成；以及第一玻璃基板层，其层叠于第一树脂层中的与形成图案区域的面相反侧的面，且由膜状玻璃构成。
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公开(公告)号：CN108352301B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201680062226.1
申请日：2016-10-14
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H01L21/027 , B29C59/02
Abstract: 本发明提供薄膜模具以及压印方法。本实施方式所涉及的薄膜模具具备：第一树脂层，其具有包括凹凸图案的图案区域，且由树脂组成物构成；以及第一玻璃基板层，其层叠于第一树脂层中的与形成图案区域的面相反侧的面，且由膜状玻璃构成。
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公开(公告)号：CN109616458A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811131924.X
申请日：2014-11-19
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: H01L23/488 , H01L23/13 , H01L23/15 , H01L23/48 , H01L23/498 , H01L25/065 , H01L25/18 , H01L21/60 , H05K1/11 , H05K3/28 , H05K3/44
Abstract: 本发明提供一种用于解决由滞留于贯通孔内的气体引起的问题，且可防止贯通孔内的填充物脱落的贯通电极基板。贯通电极基板具有：基板，具有将第一面的第一开口和第二面的第二开口贯通的贯通孔；以及填充物，配置于贯通孔内，第二开口大于第一开口，在第一开口与第二开口之间具有俯视时面积最小的最小开口部，上述贯通电极基板具有气体释放部，上述气体释放部配置成与在第一面及第二面的任一个面露出的填充物相接触。
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公开(公告)号：CN109477915A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780044486.0
申请日：2017-07-21
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/18
Abstract: 提供一种光的利用效率高，且即使在光的入射角偏离的情况下，对衍射光的影响也小并能够稳定地获得希望的衍射光，进而衍射光的不均匀性少的衍射光学元件、光照射装置。衍射光学元件(10)是一种对光进行整形的衍射光学元件，具备衍射层(15)，所述衍射层(15)具有：高折射率部(11)，在剖面形状中多个凸部(11a)排列配置；和低折射率部(14)，折射率比高折射率部(11)低，且至少包括在凸部(11a)之间形成的凹部(12)，凸部(11a)在其侧面形状的至少一侧具有具备高度不同的多个台阶部(11a-1、11a-2、11a-3、11a-4)的多阶段形状，凸部11a的侧面形状至少在一部分具备向包括衍射层(15)的平面倾斜的倾斜部(11b、11c、11d)。
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