LiNbO3/LiTaO3压电涂层传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN115184453B

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202210624331.7

    申请日:2022-06-02

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种LiNbO3/LiTaO3压电涂层传感器及制备方法,该LiNbO3/LiTaO3纳米复合压电涂层采用梯度多层结构,由内到外依次包括结合层、高温扩散阻挡层、压电功能层、保护层、过渡层和电极层,其中,结合层为纯金属Cr,高温扩散阻挡层为AlN,压电功能层为LiNbO3/LiTaO3纳米多层膜,保护层为Cr,过渡层为Ag/Cr,电极层为Ag。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的压电性能、耐高温、耐腐蚀、抗辐照;充分利用梯度结构和纳米多层结构,形成渐变成分,降低涂层和基体应力,附着力优异;该结构可以满足薄膜高温稳定性和低应力的需要,满足长寿命高可靠运行的需求。

    一种增强超声反射回波的薄膜传感器及其应用

    公开(公告)号:CN116989829B

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202310837102.8

    申请日:2023-07-07

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种增强超声反射回波的薄膜传感器及其应用,所述的传感器,由下至上包括,衬底、压电涂层和电极涂层;所述电极涂层的厚度为5~100μm,由磁控溅射法制备而成;所述电极涂层的成分包括Ag、Cu、Cr、Ti或Al中的至少一种。本发明无需改变压电涂层材料和结构,在压电涂层表面形成预镀涂层和电极涂层,并在电极涂层制备时施加偏压形成了预镀涂层与电极涂层的混合区增强了电极涂层与预镀涂层的结合力,得到的增强超声反射回波的传感器降低衬底对声波能量的吸收、提高反射回来的超声波幅值和信噪比,实现对衬底的应力高效检测。本发明的传感器,在吸波严重的高温合金螺栓上同样获得了强超声信号,拓宽了超声应力检测在高温合金螺栓中的应用。

    表面形貌可调的压电涂层的制备方法及该压电涂层

    公开(公告)号:CN114752903B

    公开(公告)日:2022-12-30

    申请号:CN202210369739.4

    申请日:2022-04-08

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明提供一种表面形貌可调的压电涂层的制备方法及该压电涂层,包括:制备溅射靶材;初步清洁衬底;准备磁控溅射设备与衬底摆放;引入高纯Ar气,设置衬底负偏压,开启弧电源,Ar被电离成Ar+,Ar+离子束轰击衬底,清洁衬底表面形成氧化物并活化表面;沉积压电涂层:离子束深度清洁衬底后,关闭弧电源,旋转转盘使得衬底与溅射靶材平行,向腔室内通入高纯Ar气和高纯氧气,设置射频电源参数,在Ar/O2混合气流及射频源作用下,溅射出溅射靶材的物质并沉积至衬底,形成均匀包裹在衬底表面的压电涂层;到达设定的沉积时间后,膜层沉积停止,关闭磁控溅射设备,冷却后取出样品,完成压电涂层的制备。本发明制备的压电涂层形貌可控制调节,且耐高温性优异。

    无线超声测量系统及其设计方法

    公开(公告)号:CN116558838B

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202310484146.7

    申请日:2023-04-28

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及温度、载荷监测的技术领域,公开了一种无线超声测量系统及其设计方法,提供了一种无线超声测量方法、一种基于方法的无线超声测量装置、以及一种复合薄膜、涡轮叶片、螺旋传感线圈一体化制备方法。整个系统包含仪器端和传感器端,仪器端由主机(监测系统)、发射线圈、接收线圈、线圈铁芯组成,传感器端为涡轮叶片、涡轮叶片端面复合压电薄膜、螺旋传感线圈一体化设计。发射线圈与脉冲发生器连接,实现电磁波脉冲信号的无线发射;螺旋传感线圈与复合压电薄膜构成回路,作为天线,无线收发压电薄膜产生的超声信号;接收线圈与主机连接,实现脉冲信号的无线接收。

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