一种均质铌酸锂压电涂层的制备方法、压电涂层及其应用

    公开(公告)号:CN116732484B

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202310595242.9

    申请日:2023-05-24

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种均质铌酸锂压电涂层的制备方法、压电涂层及其应用。主体为单层均质铌酸锂压电涂层,涂层元素分布均匀,形貌结构、压电性能不受沉积位置、粉末靶材缺陷的影响,传感性能均匀优异。为解决固态颗粒、元素偏析的存在问题,本发明设计出粒子流控制装置,通过设置介于衬底与靶材间的可控可调的电场(衬底电势低于靶材,电势差介于2V~25V),调控粒子流运行方向,使得Ar+轰击固态颗粒,减少楔型结构的形成,同时加速气相粒子运行至衬底表面,防止Li逃逸,获得的涂层形貌、元素分布、超声信号均匀性更好。本发明基于离子流能量、数量调控法,简便高效、无需额外步骤和成本、适于工业化大批量生产。

    一种AlN超声波传感器、制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN116988008A

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202310837395.X

    申请日:2023-07-07

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种AlN超声波的传感器、制备方法及其应用,所述制备方法包括,包括,步骤一:先采用砂纸打磨衬底,获得粗质表面,再采用离子束刻蚀方式进行清洁得到预处理的衬底;步骤二:使用磁控溅射法,开始沉积时腔内氧含量为1.26×10‑3Pa~1.89×10‑3Pa,调整沉积参数在预处理的衬底表面依次形成AlON非晶涂层和AlN压电涂层,所述参数包括轴向距离、靶基距离、射频功率、环境温度、腔内气压、Ar/N2的流量比和沉积时间中的至少一种;步骤三:在AlN压电涂层表面制备电极层,得到AlN超声波传感器。本发明通过调控靶基距离和轴向距离共同作用,以获得沿不同方向生长的压电涂层,进而调控纵横波的能量占比,还能通过调控其它工艺参数,调控纵波、横波的信号幅值。

    一种测定T/P92钢长期运行后基体W元素含量的方法

    公开(公告)号:CN103207194A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:CN201310033998.0

    申请日:2013-01-29

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及一种测定T/P92钢长期运行后基体W元素含量的方法。通过扫描电镜观察被测试样得到其体积分数;从而获取在运行温度下T/P92钢中Laves相主要组成元素的摩尔分数ni;在结合上述的结果得到运行温度下T/P92钢Laves相中各元素的比例:通过该比例系数获取长期运行后T/P92钢Laves相中W元素的分配量以及在平衡态下T/P92钢M23C6相中W元素的分配量,最后得到长期运行后基体中W元素的含量。本发明分析周期短、成本低,不需要较大尺寸的试样,并且方法简便、快捷。

    一种电触头用疏水型稀土掺杂铜银合金-碳纳米复合涂层材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN111979536A

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN202010991563.7

    申请日:2020-09-18

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及一种电触头用疏水型稀土掺杂铜银合金-碳纳米复合涂层材料及其制备方法。将所需的铜银合金粉末、碳粉末(石墨+石墨烯)以及稀土粉末原料混合均匀,之后采用一定粗糙度的铜为基体,利用冷喷涂技术产生的高速混合粉体撞击基体来沉积稀土掺杂铜银合金-碳纳米复合涂层材料;在初始冷喷涂涂层制备结束后,再利用激光器以不同参数在涂层表面进行快速扫描,得到电触头用稀土掺杂铜-银-碳纳米复合涂层材料。本发明所制备的电触头用稀土掺杂铜银合金-碳纳米复合涂层材料具有优良的疏水性能、耐磨性能、抗电化学腐蚀与抗电弧侵蚀能力,可有效提升银基电触头材料在户外潮湿环境中的适应性和使用性能。

    高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法

    公开(公告)号:CN102515756B

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201110455732.6

    申请日:2012-01-31

    Abstract: 本发明公开了一种高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法,其特征在于,它包括如下步骤:a、采用高能球磨法制备超细粉;b、烧结放电等离子体:(b1)烘箱中取出的粉末放入#20mm的钢制模具中压制,压制压力为250~400MPa;(b2)在直径接近20mm的石墨模具内表面涂覆一层刚玉粉涂料,待干燥后,里面装入(a1)中得到的压制体,置于放电等离子体设备中烧结;(b3)放电等离子烧结过程中,先抽真空,真空度达到1~10Pa后,以升温速率20℃~100℃/min进行加热,烧结压力0~10MPa,随后冷却到500℃以下后,取出模具继续冷却到室温取样;(b4)试样外表面稍做打磨。本发明其球磨后的粉末达到超细尺寸,烧结样品的致密度高于99%,且晶粒细小,具有良好的推广价值。

    高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法

    公开(公告)号:CN102515756A

    公开(公告)日:2012-06-27

    申请号:CN201110455732.6

    申请日:2012-01-31

    Abstract: 本发明公开了一种高性能PZT基压电陶瓷放电等离子体低温烧结及制备方法,其特征在于,它包括如下步骤:a、采用高能球磨法制备超细粉;b、烧结放电等离子体:(b1)烘箱中取出的粉末放入#20mm的钢制模具中压制,压制压力为250~400MPa;(b2)在直径接近20mm的石墨模具内表面涂覆一层刚玉粉涂料,待干燥后,里面装入(a1)中得到的压制体,置于放电等离子体设备中烧结;(b3)放电等离子烧结过程中,先抽真空,真空度达到1~10Pa后,以升温速率20℃~100℃/min进行加热,烧结压力0~10MPa,随后冷却到500℃以下后,取出模具继续冷却到室温取样;(b4)试样外表面稍做打磨。本发明其球磨后的粉末达到超细尺寸,烧结样品的致密度高于99%,且晶粒细小,具有良好的推广价值。

    一种均质铌酸锂压电涂层的制备方法、压电涂层及其应用

    公开(公告)号:CN116732484A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202310595242.9

    申请日:2023-05-24

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种均质铌酸锂压电涂层的制备方法、压电涂层及其应用。主体为单层均质铌酸锂压电涂层,涂层元素分布均匀,形貌结构、压电性能不受沉积位置、粉末靶材缺陷的影响,传感性能均匀优异。为解决固态颗粒、元素偏析的存在问题,本发明设计出粒子流控制装置,通过设置介于衬底与靶材间的可控可调的电场(衬底电势低于靶材,电势差介于2V~25V),调控粒子流运行方向,使得Ar+轰击固态颗粒,减少楔型结构的形成,同时加速气相粒子运行至衬底表面,防止Li逃逸,获得的涂层形貌、元素分布、超声信号均匀性更好。本发明基于离子流能量、数量调控法,简便高效、无需额外步骤和成本、适于工业化大批量生产。

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