一种可激发纯横波的ZnO压电涂层材料及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN119615085A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411673313.3

    申请日:2024-11-21

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种可激发纯横波的ZnO压电涂层材料及其制备方法和应用,属于涂层材料领域。所述方法包括:以Zn作为靶材,通过磁控溅射在基体表面沉积ZnO作为ZnO压电功能层;所述磁控溅射中,溅射温度为200℃以上,通入氩气和氧气的混合气体至腔体内气压为1.0~2.5Pa,溅射功率为400~700W,溅射时间为3~6h;或,所述磁控溅射中,溅射温度为50~200℃,通入氩气和氧气的混合气体至腔体内气压为1.0~2.5Pa,偏压为‑100V~‑200V,溅射功率为400~700W,溅射时间为3~6h。本发明采用磁控溅射技术在基体表面沉积ZnO作为ZnO压电功能层,通过调节磁控溅射过程中的溅射温度或偏压,制备出可激发超声纯横波的ZnO压电涂层材料,实现对工件厚度细微变化的测量。

    基于阵列纵横超声波的螺栓多向载荷测量方法及系统

    公开(公告)号:CN118624074A

    公开(公告)日:2024-09-10

    申请号:CN202410703373.9

    申请日:2024-06-03

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本申请提供了基于阵列纵横超声波的螺栓多向载荷测量方法及系统,方法包括如下步骤:在待检螺栓的一圆端面上设置薄膜涂层传感器;获取中心电极纵横波轴向载荷标定公式;获取各边缘电极的横向载荷和纵横波横向载荷标定系数的关系函数;根据中心电极纵横波轴向载荷标定公式以及各边缘电极的横向载荷与纵横波横向载荷斜率标定系数的关系函数,获取待检螺栓的各向载荷的大小和方向。本申请通过中心电极以及多个边缘电极的纵横波阵列传感器,可用于但不限于承受不规律的振动、交变载荷、冲击载荷等载荷作用影响的螺栓紧固件在复杂交变载荷作用下的精确测量,并能实时分辨载荷作用方向,实现应力的全方位判断。

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