LiNbO3/LiTaO3压电涂层传感器及制备方法

    公开(公告)号:CN115184453B

    公开(公告)日:2025-03-18

    申请号:CN202210624331.7

    申请日:2022-06-02

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种LiNbO3/LiTaO3压电涂层传感器及制备方法,该LiNbO3/LiTaO3纳米复合压电涂层采用梯度多层结构,由内到外依次包括结合层、高温扩散阻挡层、压电功能层、保护层、过渡层和电极层,其中,结合层为纯金属Cr,高温扩散阻挡层为AlN,压电功能层为LiNbO3/LiTaO3纳米多层膜,保护层为Cr,过渡层为Ag/Cr,电极层为Ag。本发明的涂层具有比常规压电涂层更好的压电性能、耐高温、耐腐蚀、抗辐照;充分利用梯度结构和纳米多层结构,形成渐变成分,降低涂层和基体应力,附着力优异;该结构可以满足薄膜高温稳定性和低应力的需要,满足长寿命高可靠运行的需求。

    一种Ag2CrO4高温自润滑涂层材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN116791034A

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202310726391.4

    申请日:2023-06-16

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种Ag2CrO4高温自润滑涂层材料及其制备方法,属于溅射进行镀覆技术领域。该涂层材料包括由结合层、过渡层、自润滑功能层构成的多层结构;所述结合层为Cr层,所述过渡层包括CrN层和Ag和CrN复合形成的Ag‑CrN层,所述自润滑功能层为Ag2CrO4层;各层次序依次为Cr层、CrN层、Ag‑CrN层、Ag2CrO4层,其中Cr层为涂层材料与所附基材的接触层。该涂层材料与基材结合强度良好,不易脱落;其耐温性能优良,在高温下不易氧化,并且承载能力、耐磨性好,可以在高温下起稳定润滑作用。本发明还提供了该涂层材料的制备方法,其生产工艺操作简单、效率高,易于规模化生产。

    压电薄膜传感器电极的制备方法、电极及压电薄膜传感器

    公开(公告)号:CN116997239A

    公开(公告)日:2023-11-03

    申请号:CN202310837392.6

    申请日:2023-07-07

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明公开了一种压电薄膜传感器电极的制备方法、电极及压电薄膜传感器,所述制备方法包括,在带有压电薄膜衬底的压电薄膜表面涂覆耐高温电极材料,所述耐高温电极材料由耐高温AB胶和导电粉末混合而成;将耐高温电极材料固化后得到耐高温压电薄膜传感器电极。相比于压电薄膜传感器常用的电极材料银浆,本发明将耐高温AB胶和导电粉末混合的耐高温电极材料作为电极材料,可以耐受更高的温度,在高温下电极材料与衬底黏附仍然紧密,避免了银浆容易脱落的弊端,在实现声波引出和应力检测的同时,提高了电极的可重复性。相比Ag涂层沉积,本发明无需高昂的镀膜设备,成本低,操作简便,退火过程中不存在Ag离子扩散问题,即超声信号无衰减。

    无线超声测量系统及其设计方法

    公开(公告)号:CN116558838A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202310484146.7

    申请日:2023-04-28

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明涉及温度、载荷监测的技术领域,公开了一种无线超声测量系统及其设计方法,提供了一种无线超声测量方法、一种基于方法的无线超声测量装置、以及一种复合薄膜、涡轮叶片、螺旋传感线圈一体化制备方法。整个系统包含仪器端和传感器端,仪器端由主机(监测系统)、发射线圈、接收线圈、线圈铁芯组成,传感器端为涡轮叶片、涡轮叶片端面复合压电薄膜、螺旋传感线圈一体化设计。发射线圈与脉冲发生器连接,实现电磁波脉冲信号的无线发射;螺旋传感线圈与复合压电薄膜构成回路,作为天线,无线收发压电薄膜产生的超声信号;接收线圈与主机连接,实现脉冲信号的无线接收。

    涂层柱状晶-楔形结构的高可控制备方法及装置

    公开(公告)号:CN115323341A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202210802800.X

    申请日:2022-07-07

    Applicant: 武汉大学

    Abstract: 本发明提供一种涂层柱状晶‑楔形结构的高可控制备方法及装置。通过磁场控制装置调控磁场强弱分布,最终精确控制涂层微观结构分布。由环形磁铁、圆柱形磁铁共同作用,形成了中心弱磁区、中间强磁区、边缘弱磁区三个区域。弱磁区靶材溅射率低,只引出纯气相粒子,而强磁区增强靶材溅射率与固态块状颗粒的引出,从而形成了纯气相粒子区、气相+纳米级至亚微米级块状颗粒、气相+微米级块状颗粒、均匀气相+固态颗粒等多个区域,促进形成了纯柱状晶、纯楔形结构、柱状晶‑楔形混合结构。微观结构新颖,易于调控,精确度高,辅助调控电源功率、制样温度、气体氛围与气压等参数,就可以获得不同的微观结构,并可以精确控制涂层结构的尺寸、厚度。

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