高落差台阶结构的多色LED外延芯片及其制备方法

    公开(公告)号:CN111048637A

    公开(公告)日:2020-04-21

    申请号:CN201911251245.0

    申请日:2019-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种高落差台阶结构的多色LED外延芯片,包括衬底层,其特征在于:所述衬底层上形成至少一层的台阶结构,台阶与衬底层表面之间的落差≥5μm,每层台阶之间的落差≥5μm,在含有台阶结构的衬底层上依次生长GaN缓冲层、InGaN多量子阱结构,形成多色LED外延芯片。并公开了其制备方法。本发明利用紫外曝光、刻蚀等技术制备蓝宝石的高低落差,进MOCVD、MBE炉外延生长时,这种高低落差会造成表面具有较大的温度差,进而调控了不同区域铟镓组分。本方法可有效在同一外延片上获得不同发光波长区域,从而实现双色甚至多色LED芯片,该方法可低成本、高稳定实现全色高清显示芯片。

    一种基于Si衬底生长GaN基纳米线的柔性器件及制备方法

    公开(公告)号:CN116519175B

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202310798318.8

    申请日:2023-07-03

    Abstract: 本发明涉及半导体材料技术领域,公开了一种基于Si衬底生长GaN基纳米线的柔性器件及制备方法,包括顶部连接电极和底部连接电极,所述顶部连接电极和底部连接电极之间连接有GaN纳米线,所述顶部连接电极为ITO薄膜,所述底部连接电极为环氧树脂银。本发明在2.0 kPa常压下最大输出电压为12 V,现有技术中的基于柔性氮化镓薄膜压电压力传感器及基于ZnO NWs生长在阳极氧化铝上的超皮肤压力传感器的最大电压仅为毫伏级别。较大的内置输出电压,会使得外电路电流增加,意味着会产生较大的电荷量,我们可以将通过压力产生的电荷存储起来,从而实现自供电。不依赖外部电源的供电方式,更符合可穿戴生物传感器的发展趋势。

    具有κ相氧化镓栅介质的GaN基P沟道HFET结构

    公开(公告)号:CN118712225A

    公开(公告)日:2024-09-27

    申请号:CN202410857619.8

    申请日:2024-06-28

    Abstract: 本发明涉及半导体器件技术领域,具体涉及一种具有κ相氧化镓栅介质的GaN基P沟道HFET结构;本发明通过设置第一隔离区和第二隔离区,并在第一隔离区中设置base电极,第二隔离区中设置κ相氧化镓栅极介质及栅电极,利用κ相氧化镓极高的自发极化强度,耗尽栅极区域下的2DHG,进而实现增强型P沟道HFET;此外本发明还公开了一种栅极与base极相连的结构,有效提升了P沟道GaN器件的开态电流,同时抑制了正偏压下的栅极漏电流;此结构与目前常用的半导体器件生产工艺兼容性高,稳定性好。

    基于ScAlN_GaN的P沟道异质结场效应晶体管及其制备方法

    公开(公告)号:CN118571930A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202410754469.8

    申请日:2024-06-12

    Abstract: 本发明公开了一种基于ScAlN_GaN的P沟道异质结场效应晶体管及其制备方法。所述场效应晶体管,包括依次设置的衬底、GaN缓冲层、AlN插入层、ScAlN势垒层、GaN通道层、P型轻掺杂GaN盖帽层、N型重掺杂GaN层和P型重掺杂GaN盖帽层,所述N型重掺杂GaN层位于P型轻掺杂GaN盖帽层的一个凹栅中;所述P型重掺杂GaN盖帽层上形成栅极,所述P型轻掺杂GaN盖帽层一端形成源极,所述P型轻掺杂GaN盖帽层另一端形成漏极。本发明使用的是Sc0.18Al0.82N,与GaN没有晶格失配,提高了空穴迁移率,从而增大了开态电流。

    一种氧化镓薄膜及其制备方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN117904710A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202311698267.8

    申请日:2023-12-12

    Abstract: 本发明公开了一种氧化镓薄膜及其制备方法,方法包括:将镓源在热乙醇中进行热处理,得到流体镓源;对衬底进行预处理,衬底包括前驱衬底和主衬底;将流体镓源置于预处理后的前驱衬底上,并将前驱衬底和主衬底一同置于化学气相淀积反应腔室中;将化学气相淀积反应腔室抽真空后,向腔室内冲入载气直至腔室达到常压状态;将腔室升温到反应温度后,在反应温度保持时间内,通入流动载气;通入氧源至衬底表面,氧源通入过程中腔室保持常压状态;在反应时间结束后停止氧源通入,在流动载气氛围下将腔室内温度降至室温后,再对主衬底进行预处理,得到制备好的氧化镓薄膜。本发明解决了目前氧化镓薄膜外延生长形貌差,结晶度差,成本高的问题。

    一种集成连续型超表面的微腔Micro-LED装置

    公开(公告)号:CN117727845A

    公开(公告)日:2024-03-19

    申请号:CN202311588427.3

    申请日:2023-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种集成连续型超表面的微腔Micro‑LED装置,包括沿着Z轴从下往上依次集成的金属光栅层、光栅过渡层、p‑GaN层、量子阱有源区层、n‑GaN层、氧化物DBR层和连续型超表面结构;所述p‑GaN层、量子阱有源区层、n‑GaN层构成微谐振腔空腔;所述连续型超表面结构由若干个独立超表面结构周期性分布构成,每个独立超表面结构的XOY平面投影为等腰梯形。本发明不仅用于解决现有技术中偏振光Micro‑LED产生的线偏振光空间相干性较差,发射方向不固定,难以有效收集和利用的问题,还解决了集成离散型超表面造成的器件难以加工、无法实现大角度光束偏转、能量损失较大的问题。

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