公开(公告)号：CN119147786A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202411352810.3

申请日：2024-09-26

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 齐越 ,  黄艳辉 ,  周铭 ,  方澍

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  G01P1/02

Abstract: 本发明提供一种抗高冲击的MEMS过载传感器模块，通过从结构设计跟封装两方面提高过载传感器的抗冲击性能。具体包含不锈钢组装管壳、PCB板、MEMS加速度传感器。MEMS加速度传感器及其相关元器件焊接在PCB板上，PCB板通过螺丝固定在模块组装管壳内，填充灌封胶后封模块盖组装板；所述模块组装管壳在组装PCB后，其内部填充的灌封胶，通过灌封防护可提高抗冲击性能；所述MEMS传感器由MEMS单轴梳齿电容式单轴加速度传感器结构和ASIC芯片组成；所述衬底与所述MEMS敏感结构通过锚点支撑、TSV连接，所述锚点采用离散小面积锚点，与传统单支点相比较，具有更低的应力。

公开(公告)号：CN118882621A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411205581.2

申请日：2024-08-30

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 周铭 ,  商兴莲 ,  解亚飞 ,  齐越 ,  凤瑞

IPC: G01C19/5747

Abstract: 本发明公开了一种微机械传感器技术领域的可抵消正交力的环形陀螺，旨在解决现有技术中MEMS环形振动陀螺的实时抑制正交误差难的问题，其包括中心锚点，中心锚点外周等间隔连接有多个支撑梁，支撑梁的一端连接中心锚点，且另一端连接弹性环，弹性环外周周向等间隔设置有多个环形电极；弹性环与支撑梁连接处设有正交抵消电极，正交抵消电极包括动梳齿、第一固定梳齿和第二固定梳齿，第一固定梳齿和第二固定梳齿下方与基片连接，且以对应支撑梁为对称轴对称设置，动梳齿的数量为2，其一端均与弹性环连接，另一端分别等交叠长度、等间隙设于第一固定梳齿和第二固定梳齿内。本发明具有零偏小、长期稳定性高等优点，适合作为闭环力平衡速率模式的环形陀螺。

公开(公告)号：CN118688614A

公开(公告)日：2024-09-24

申请号：CN202410996068.3

申请日：2024-07-24

Applicant: 华东光电集成器件研究所 ,  北京理工大学

Inventor： 李嘉程 ,  周六辉 ,  王甫 ,  周铭 ,  谢会开 ,  凤瑞

IPC: G01R31/28

Abstract: 本发明公开了一种用于测试应力对芯片影响的实验装置及其使用方法，装置包括：上工装，所述上工装设有用于对芯片的设定点位进行施力的第一力臂；下工装，所述下工装设有用于对芯片的设定点位进行施力的第二力臂；上工装与下工装相对设置，且第一力臂朝向下工装，第二力臂朝向上工装；驱动机构，所述驱动机构用于驱动芯片在第一力臂和第二力臂之间移动，从而通过第一力臂和第二力臂一次性地对芯片上的设定点位施加连续性变化的拉应力和压应力。本发明在测试过程中能在芯片的设定点位一次性地施加拉应力或压应力，且施加的应力大小可以线性且连续变化，提高了测试效率和精度。

公开(公告)号：CN118348279A

公开(公告)日：2024-07-16

申请号：CN202410459027.0

申请日：2024-04-17

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 周铭 ,  王甫 ,  凤瑞 ,  商兴莲

IPC: G01P15/125

Abstract: 本申请公开了微机械传感器领域中的一种离散差分检测的Z轴MEMS加速度计，包括基片，基片上设有中心锚点；第一质量块、第二质量块，所述第一质量块、第二质量块中部铰接于所述中心锚点，第一质量块、第二质量块同侧端可相互交叉穿过；离散电极，所述离散电极设于所述中心锚点两侧的基片上并与第一质量块、第二质量块对应设置；离散电极与所述第一质量块构成第一敏感单元，所述离散电极与所述第二质量块构成第二敏感单元；本申请采用铰接的第一质量块、第二质量块将差分检测电容离散设置，每一对差分检测电容都紧邻着布置在尽可能小的基片局部，使得基片上任意局部的变形对离散设置的差分检测电容都产生近乎相同的电容变化量，以相互抵消，消除零偏。

公开(公告)号：CN118746316A

公开(公告)日：2024-10-08

申请号：CN202410957295.5

申请日：2024-07-17

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 凤瑞 ,  周六辉 ,  商兴莲 ,  周铭 ,  解亚飞

IPC: G01D5/24 ,  G01H11/06

Abstract: 本发明公开了一种双谐振MEMS传感器及其工作方法，双谐振MEMS传感器包括：第一振荡器、第二振荡器、鉴频鉴相器和延时控制电路；振荡器包括谐振器和谐振电路，谐振电路包括延时器；谐振器检测待测信号产生电容信号，谐振电路用于根据电容信号，在延时器控制下输出模拟反馈信号，模拟反馈信号输入谐振器形成闭环电路；鉴频鉴相器检测输入两个延时器的数字信号的频率和相位，当频率差小于预设第一阈值且相位差小于预设第二阈值，输出延时控制电路的控制信号，延时控制电路根据控制信号控制两个延时器进行延时调整，使两个模拟反馈信号的相位不同步。本发明能够避免双谐振MEMS传感器的两个谐振器频率接近时存在的共振测量盲区的问题。