公开(公告)号：CN119147786A

公开(公告)日：2024-12-17

申请号：CN202411352810.3

申请日：2024-09-26

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 齐越 ,  黄艳辉 ,  周铭 ,  方澍

IPC: G01P15/125 ,  G01P15/08 ,  G01P1/02

Abstract: 本发明提供一种抗高冲击的MEMS过载传感器模块，通过从结构设计跟封装两方面提高过载传感器的抗冲击性能。具体包含不锈钢组装管壳、PCB板、MEMS加速度传感器。MEMS加速度传感器及其相关元器件焊接在PCB板上，PCB板通过螺丝固定在模块组装管壳内，填充灌封胶后封模块盖组装板；所述模块组装管壳在组装PCB后，其内部填充的灌封胶，通过灌封防护可提高抗冲击性能；所述MEMS传感器由MEMS单轴梳齿电容式单轴加速度传感器结构和ASIC芯片组成；所述衬底与所述MEMS敏感结构通过锚点支撑、TSV连接，所述锚点采用离散小面积锚点，与传统单支点相比较，具有更低的应力。

公开(公告)号：CN118882621A

公开(公告)日：2024-11-01

申请号：CN202411205581.2

申请日：2024-08-30

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 周铭 ,  商兴莲 ,  解亚飞 ,  齐越 ,  凤瑞

IPC: G01C19/5747

Abstract: 本发明公开了一种微机械传感器技术领域的可抵消正交力的环形陀螺，旨在解决现有技术中MEMS环形振动陀螺的实时抑制正交误差难的问题，其包括中心锚点，中心锚点外周等间隔连接有多个支撑梁，支撑梁的一端连接中心锚点，且另一端连接弹性环，弹性环外周周向等间隔设置有多个环形电极；弹性环与支撑梁连接处设有正交抵消电极，正交抵消电极包括动梳齿、第一固定梳齿和第二固定梳齿，第一固定梳齿和第二固定梳齿下方与基片连接，且以对应支撑梁为对称轴对称设置，动梳齿的数量为2，其一端均与弹性环连接，另一端分别等交叠长度、等间隙设于第一固定梳齿和第二固定梳齿内。本发明具有零偏小、长期稳定性高等优点，适合作为闭环力平衡速率模式的环形陀螺。