制造金刚石的方法、金刚石、金刚石复合基板、金刚石接合基板和工具

    公开(公告)号:CN114655953B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202210130434.8

    申请日:2015-08-07

    Abstract: 本发明提供:一种制造金刚石的方法,所述方法能够在短时间内将所述金刚石与基板分离并且使得所述基板和所述金刚石各自的分离表面平坦;一种通过所述制造金刚石的方法获得的金刚石;和使用所述金刚石的金刚石复合基板、金刚石接合基板和工具。本发明的通过气相合成法制造金刚石的方法包括如下步骤:准备包含金刚石籽晶的基板;通过气相合成法在所述基板的主表面上形成光吸收层;通过气相合成法在所述光吸收层的主表面上生长金刚石层;和通过从所述金刚石层和所述基板中的至少一者的主表面施加光以使所述光吸收层吸收光并造成所述光吸收层破碎,从而将所述金刚石层与所述基板分离。

    激光加工方法以及激光加工装置

    公开(公告)号:CN102196880B

    公开(公告)日:2014-06-18

    申请号:CN200980142278.X

    申请日:2009-10-23

    Abstract: 本发明涉及一种激光加工方法等,其在印刷基板的绝缘层的选择性除去中,不使用通过非线性光学晶体进行波长变换的技术,而且可以在除去加工的整个过程中仅使用1种波长。在该激光加工方法中优选使用的激光加工装置(1)具有MOPA构造,并且具有种光源(100)、YbDF(110)、带通滤波器(120)、YbDF(130)、带通滤波器(140)、YbDF(150)以及YbDF(160)等。在本发明的激光加工方法中,照射从激光加工装置(1)输出的脉冲激光,对层叠在导体层上的树脂制绝缘层进行除去加工,其中,使用被导体层吸收的光小于10%的波长的激光,使每一个脉冲的能流密度大于或等于绝缘层的破坏损伤阈值。

Patent Agency Ranking