金属精细结构体的制造方法

    公开(公告)号:CN1578753A

    公开(公告)日:2005-02-09

    申请号:CN02821630.X

    申请日:2002-10-25

    Abstract: 本发明是一种用树脂模型(13)制造金属精细结构体(1)的制造方法,为了提供能设定树脂模型(13)的损坏少并且温和的制造条件,通过均匀的电铸大量制造高精度的金属精细结构体(1)的方法,本发明的金属精细结构体(1)的制造方法包括通过感光性聚合物(12)将树脂模型(13)固定在导电基板(11)上,形成树脂模型层合体(2)的工序,其中所述感光性聚合物(12)通过电子射线、紫外线或可见光线使化学组成改变,树脂模型(13)具有贯穿厚度方向的空穴部;用电子射线、紫外线或可见光线将所述树脂模型层合体(2)曝光的工序;除掉所述树脂模型(13)的空穴部中存在的感光后的感光性聚合物(12c)的工序;和通过电铸用金属(14)中填埋所述树脂模型层合体(2)的空穴部的工序。

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