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公开(公告)号：CN102387869B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201080016725.X
申请日：2010-05-28
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C13/02 , B05D1/002 , B05D1/26
Abstract: 在使设于旋转的涂布对象物上方的涂布喷嘴移动而将涂布液以螺旋状涂布于涂布对象物的表面的过程中，使涂布液平滑且均一地涂布于涂布对象物的表面。在使设于旋转的涂布对象物(13)上方的前端面平坦的筒状涂布喷嘴20一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动、一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔(21)将涂布液(31)涂布于涂布对象物表面的过程中，形成向涂布喷嘴前端部的一部分倾斜的缺口部(22)，由旋转控制单元(40)控制涂布喷嘴的旋转以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧。
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公开(公告)号：CN101905205A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010200797.1
申请日：2010-06-08
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B12/08 , B05B12/084 , B05B15/52 , B05B15/555 , B05B15/557 , B05C5/0216 , B05C5/0291 , B05C11/08 , B05D1/005 , B41J2/165 , B41J2/16579 , H01L21/67051
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，实现材料利用效率以及作业率的提高，且防止以涂覆喷嘴的污染为起因的膜厚均匀性的降低。本发明中，成膜装置(1)中，具备：具有载置涂覆对象物(W)的载置面(2a)的台架(2)、使台架(2)在沿载置面(2a)的旋转方向旋转的旋转机构(3)、将材料排出到台架(2)上的涂覆对象物(W)上并进行涂覆的涂覆喷嘴(4)、使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在与旋转方向相交的交差方向沿载置面(2a)相对移动的移动机构(5)、一面通过旋转机构(3)使载置了涂覆对象物(W)的台架(2)旋转，一面通过移动机构(5)使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在交差方向沿载置面(2a)相对移动，进行通过涂覆喷嘴(4)将向台架(2)上的涂覆对象物(W)涂覆材料的控制的控制部(10)、清洗涂覆喷嘴(4)的清洗装置(7)。
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公开(公告)号：CN101905205B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201010200797.1
申请日：2010-06-08
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B12/08 , B05B12/084 , B05B15/52 , B05B15/555 , B05B15/557 , B05C5/0216 , B05C5/0291 , B05C11/08 , B05D1/005 , B41J2/165 , B41J2/16579 , H01L21/67051
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，实现材料利用效率以及作业率的提高，且防止以涂覆喷嘴的污染为起因的膜厚均匀性的降低。本发明中，成膜装置(1)中，具备：具有载置涂覆对象物(W)的载置面(2a)的台架(2)、使台架(2)在沿载置面(2a)的旋转方向旋转的旋转机构(3)、将材料排出到台架(2)上的涂覆对象物(W)上并进行涂覆的涂覆喷嘴(4)、使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在与旋转方向相交的交差方向沿载置面(2a)相对移动的移动机构(5)、一面通过旋转机构(3)使载置了涂覆对象物(W)的台架(2)旋转，一面通过移动机构(5)使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在交差方向沿载置面(2a)相对移动，进行通过涂覆喷嘴(4)将向台架(2)上的涂覆对象物(W)涂覆材料的控制的控制部(10)、清洗涂覆喷嘴(4)的清洗装置(7)。
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公开(公告)号：CN102387869A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201080016725.X
申请日：2010-05-28
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C13/02 , B05D1/002 , B05D1/26
Abstract: 在使设于旋转的涂布对象物上方的涂布喷嘴移动而将涂布液以螺旋状涂布于涂布对象物的表面的过程中，使涂布液平滑且均一地涂布于涂布对象物的表面。在使设于旋转的涂布对象物(13)上方的前端面平坦的筒状涂布喷嘴20一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动、一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔(21)将涂布液(31)涂布于涂布对象物表面的过程中，形成向涂布喷嘴前端部的一部分倾斜的缺口部(22)，由旋转控制单元(40)控制涂布喷嘴的旋转以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104437932A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410437598.0
申请日：2014-08-29
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B05B15/0266 , B05B15/55 , B05B15/555 , B05B15/557 , B05C5/0208 , G03F7/162 , B05B9/0403 , B05B13/0242 , B05B13/041
Abstract: 本发明根据实施形态，提供具备载物台、喷嘴、移动单元、气体供给部、洗净液供给部和喷嘴洗净部的螺旋涂敷装置。载物台具有载置涂敷对象物的载置面。喷嘴往载置在载物台上的涂敷对象物吐出液体。移动单元使喷嘴相对于载物台相对地移动。气体供给部提供气体。洗净液供给部提供洗净液。喷嘴洗净部具有气体供给口和洗净液供给口，从气体供给口向喷嘴喷射从气体供给部提供来的气体，从洗净液供给口向喷嘴吐出从洗净液供给部提供来的洗净液。
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公开(公告)号：CN102150234B
公开(公告)日：2014-11-05
申请号：CN200980135993.0
申请日：2009-11-05
Applicant: 株式会社东芝
IPC: H01L21/027 , G03F7/16 , H01L21/31 , H01L21/312 , H01L21/316
CPC classification number: H01L21/6715 , B05D1/005 , B05D3/0486 , G03F7/162 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种成膜装置(1)，具有：负载涂布对象物(W)的平台(2)，使平台(2)在水平面内旋转的旋转机构(3)，在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的规定区域中涂布材料而形成涂布膜(M)的涂布部(4)，产生能溶解涂布膜(M)的溶剂蒸气的供气部(5)，对在平台(2)上负载的涂布对象物(W)上的涂布膜(M)喷吹由供气部(5)产生的溶剂蒸气的喷吹部(6)，控制由喷吹部(6)喷吹的上述溶剂蒸气量，使其为能溶解涂布膜(M)、涂布膜(M)的表层侧部分的粘度比涂布对象物(W)侧部分的粘度低的量的控制部(9)。
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公开(公告)号：CN102836793A
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN201210209256.4
申请日：2012-06-20
Applicant: 株式会社东芝
CPC classification number: B05C11/08 , G03F7/162 , H01L21/6715
Abstract: 一种螺旋涂敷装置，具有工作台、旋转机构、涂敷喷嘴、移动机构部、喷嘴位置检测部以及位置调整部。工作台具有载置涂敷对象物的载置面。旋转机构使上述工作台在沿着上述载置面的旋转方向上旋转。涂敷喷嘴对工作台上的上述涂敷对象物喷出材料而进行涂敷。移动机构部使上述工作台和上述涂敷喷嘴在与上述旋转方向相交的交差方向上沿着上述载置面相对移动，并使上述工作台和上述涂敷喷嘴能够在上述旋转的轴方向上相对移动。喷嘴位置检测部检测上述旋转的轴方向上的上述涂敷喷嘴的底面的位置信息。位置调整部根据上述涂敷喷嘴的位置信息，进行上述涂敷喷嘴与上述载置面在上述轴方向的位置调整。
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公开(公告)号：CN115732234A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202210220037.X
申请日：2022-03-08
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明涉及电解电容器、电解电容器的制造装置及方法。本发明要解决的课题在于提供与电极的一方成为一体地形成成为间隔件的纤维膜并且使纤维膜中的导电性高分子的均匀性提高的电解电容器的制造方法、电解电容器以及电解电容器的制造装置。根据实施方式的电解电容器的制造方法，通过朝向成为电极的基材喷出原料液，由此在基材的表面上形成成为间隔件的纤维膜。在纤维膜的形成中，与宽度方向上的基材的中央部相比，在宽度方向上的基材的端部将纤维形成得较粗。
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公开(公告)号：CN114481337A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202110953677.7
申请日：2021-08-19
Applicant: 株式会社东芝
Abstract: 本发明的实施方式涉及电场纺丝装置以及电场纺丝头的清扫方法。本发明要解决的课题在于提供有效且适当地清扫在排列方向上排列有多个喷嘴的电场纺丝头的电场纺丝装置及其电场纺丝头的清扫方法。根据实施方式，电场纺丝装置具备电场纺丝头以及旋转刷。电场纺丝头具备排列的多个喷嘴，在多个喷嘴的各自上形成有能够喷出所供给的原料液的喷出口。旋转刷能够从喷出口所开口的一侧与多个喷嘴接触，并能够在与多个喷嘴接触的状态下以沿着多个喷嘴的排列方向的旋转轴为中心旋转。
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