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公开(公告)号：CN101905205B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201010200797.1
申请日：2010-06-08
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B12/08 , B05B12/084 , B05B15/52 , B05B15/555 , B05B15/557 , B05C5/0216 , B05C5/0291 , B05C11/08 , B05D1/005 , B41J2/165 , B41J2/16579 , H01L21/67051
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，实现材料利用效率以及作业率的提高，且防止以涂覆喷嘴的污染为起因的膜厚均匀性的降低。本发明中，成膜装置(1)中，具备：具有载置涂覆对象物(W)的载置面(2a)的台架(2)、使台架(2)在沿载置面(2a)的旋转方向旋转的旋转机构(3)、将材料排出到台架(2)上的涂覆对象物(W)上并进行涂覆的涂覆喷嘴(4)、使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在与旋转方向相交的交差方向沿载置面(2a)相对移动的移动机构(5)、一面通过旋转机构(3)使载置了涂覆对象物(W)的台架(2)旋转，一面通过移动机构(5)使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在交差方向沿载置面(2a)相对移动，进行通过涂覆喷嘴(4)将向台架(2)上的涂覆对象物(W)涂覆材料的控制的控制部(10)、清洗涂覆喷嘴(4)的清洗装置(7)。
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公开(公告)号：CN102387869A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201080016725.X
申请日：2010-05-28
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C13/02 , B05D1/002 , B05D1/26
Abstract: 在使设于旋转的涂布对象物上方的涂布喷嘴移动而将涂布液以螺旋状涂布于涂布对象物的表面的过程中，使涂布液平滑且均一地涂布于涂布对象物的表面。在使设于旋转的涂布对象物(13)上方的前端面平坦的筒状涂布喷嘴20一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动、一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔(21)将涂布液(31)涂布于涂布对象物表面的过程中，形成向涂布喷嘴前端部的一部分倾斜的缺口部(22)，由旋转控制单元(40)控制涂布喷嘴的旋转以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧。
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公开(公告)号：CN102387869B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201080016725.X
申请日：2010-05-28
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C13/02 , B05D1/002 , B05D1/26
Abstract: 在使设于旋转的涂布对象物上方的涂布喷嘴移动而将涂布液以螺旋状涂布于涂布对象物的表面的过程中，使涂布液平滑且均一地涂布于涂布对象物的表面。在使设于旋转的涂布对象物(13)上方的前端面平坦的筒状涂布喷嘴20一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动、一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔(21)将涂布液(31)涂布于涂布对象物表面的过程中，形成向涂布喷嘴前端部的一部分倾斜的缺口部(22)，由旋转控制单元(40)控制涂布喷嘴的旋转以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101905205A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010200797.1
申请日：2010-06-08
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B12/08 , B05B12/084 , B05B15/52 , B05B15/555 , B05B15/557 , B05C5/0216 , B05C5/0291 , B05C11/08 , B05D1/005 , B41J2/165 , B41J2/16579 , H01L21/67051
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，实现材料利用效率以及作业率的提高，且防止以涂覆喷嘴的污染为起因的膜厚均匀性的降低。本发明中，成膜装置(1)中，具备：具有载置涂覆对象物(W)的载置面(2a)的台架(2)、使台架(2)在沿载置面(2a)的旋转方向旋转的旋转机构(3)、将材料排出到台架(2)上的涂覆对象物(W)上并进行涂覆的涂覆喷嘴(4)、使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在与旋转方向相交的交差方向沿载置面(2a)相对移动的移动机构(5)、一面通过旋转机构(3)使载置了涂覆对象物(W)的台架(2)旋转，一面通过移动机构(5)使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在交差方向沿载置面(2a)相对移动，进行通过涂覆喷嘴(4)将向台架(2)上的涂覆对象物(W)涂覆材料的控制的控制部(10)、清洗涂覆喷嘴(4)的清洗装置(7)。
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公开(公告)号：CN102371228B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201110238127.3
申请日：2011-08-12
Applicant: 中外炉工业株式会社
CPC classification number: B05C5/025 , B05C1/0843 , B05C5/0254 , B05C9/04 , H01M4/0404
Abstract: 一种能使涂膜厚度一定的双面涂覆装置，具有：支承辊子(2)，其支承织物材料(W)；第一涂饰头(1)，其与支承辊子(2)相对配置，并将涂料(P)涂布于织物材料(W)的第一面；多个吸引输送机(4)，其以越靠下游侧间隔越宽的方式配置于支承辊子(2)的下游，并包括开设有多个通孔(9)的环形带(7)和从环形带(7)的里侧经由通孔(9)吸引织物材料(W)的吸引室(8)，这些吸引输送机吸附织物材料(W)的第一面的非涂饰部分；第二涂饰头(3)，其与吸引辊子(4)相对配置，并将涂料涂布于织物材料(W)的第二面；以及静压垫(5)，其被配置在吸引输送机(4)之间，并具有朝织物材料(W)的第一面喷射气体的多个小孔(10)。
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公开(公告)号：CN102125906B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201110026483.9
申请日：2011-01-18
Applicant: 中外炉工业株式会社
CPC classification number: B05C5/0254 , B05C5/0283 , B05C9/04
Abstract: 一种能使涂膜的厚度一定的双面涂覆装置。该双面涂覆装置包括：支承织物材料(W)的支承辊子；与支承辊子对向配置，且将涂料涂布于织物材料(W)的第一面的第一涂饰头；具有多个支承部(11)的吸附辊子(4)，所述多个支承部(11)以与织物材料(W)的第一面的非涂饰部分抵接的方式环状地突出并在外周开设有吸入气氛气体的吸附孔(14)；以及与吸附辊子(4)对向配置，且将涂料涂布于织物材料(W)的第二面的第二涂饰头(3)。
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公开(公告)号：CN102371228A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110238127.3
申请日：2011-08-12
Applicant: 中外炉工业株式会社
CPC classification number: B05C5/025 , B05C1/0843 , B05C5/0254 , B05C9/04 , H01M4/0404
Abstract: 一种能使涂膜厚度一定的双面涂覆装置，具有：支承辊子(2)，其支承织物材料(W)；第一涂饰头(1)，其与支承辊子(2)相对配置，并将涂料(P)涂布于织物材料(W)的第一面；多个吸引输送机(4)，其以越靠下游侧间隔越宽的方式配置于支承辊子(2)的下游，并包括开设有多个通孔(9)的环形带(7)和从环形带(7)的里侧经由通孔(9)吸引织物材料(W)的吸引室(8)，这些吸引输送机吸附织物材料(W)的第一面的非涂饰部分；第二涂饰头(3)，其与吸引辊子(4)相对配置，并将涂料涂布于织物材料(W)的第二面；以及静压垫(5)，其被配置在吸引输送机(4)之间，并具有朝织物材料(W)的第一面喷射气体的多个小孔(10)。
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公开(公告)号：CN102125906A
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN201110026483.9
申请日：2011-01-18
Applicant: 中外炉工业株式会社
CPC classification number: B05C5/0254 , B05C5/0283 , B05C9/04
Abstract: 一种能使涂膜的厚度一定的双面涂覆装置。该双面涂覆装置包括：支承织物材料(W)的支承辊子；与支承辊子对向配置，且将涂料涂布于织物材料(W)的第一面的第一涂饰头；具有多个支承部(11)的吸附辊子(4)，所述多个支承部(11)以与织物材料(W)的第一面的非涂饰部分抵接的方式环状地突出并在外周开设有吸入气氛气体的吸附孔(14)；以及与吸附辊子(4)对向配置，且将涂料涂布于织物材料(W)的第二面的第二涂饰头(3)。
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