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公开(公告)号：CN102387869B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201080016725.X
申请日：2010-05-28
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C13/02 , B05D1/002 , B05D1/26
Abstract: 在使设于旋转的涂布对象物上方的涂布喷嘴移动而将涂布液以螺旋状涂布于涂布对象物的表面的过程中，使涂布液平滑且均一地涂布于涂布对象物的表面。在使设于旋转的涂布对象物(13)上方的前端面平坦的筒状涂布喷嘴20一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动、一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔(21)将涂布液(31)涂布于涂布对象物表面的过程中，形成向涂布喷嘴前端部的一部分倾斜的缺口部(22)，由旋转控制单元(40)控制涂布喷嘴的旋转以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧。
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公开(公告)号：CN101905205A
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN201010200797.1
申请日：2010-06-08
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B12/08 , B05B12/084 , B05B15/52 , B05B15/555 , B05B15/557 , B05C5/0216 , B05C5/0291 , B05C11/08 , B05D1/005 , B41J2/165 , B41J2/16579 , H01L21/67051
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，实现材料利用效率以及作业率的提高，且防止以涂覆喷嘴的污染为起因的膜厚均匀性的降低。本发明中，成膜装置(1)中，具备：具有载置涂覆对象物(W)的载置面(2a)的台架(2)、使台架(2)在沿载置面(2a)的旋转方向旋转的旋转机构(3)、将材料排出到台架(2)上的涂覆对象物(W)上并进行涂覆的涂覆喷嘴(4)、使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在与旋转方向相交的交差方向沿载置面(2a)相对移动的移动机构(5)、一面通过旋转机构(3)使载置了涂覆对象物(W)的台架(2)旋转，一面通过移动机构(5)使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在交差方向沿载置面(2a)相对移动，进行通过涂覆喷嘴(4)将向台架(2)上的涂覆对象物(W)涂覆材料的控制的控制部(10)、清洗涂覆喷嘴(4)的清洗装置(7)。
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公开(公告)号：CN101905205B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201010200797.1
申请日：2010-06-08
CPC classification number: H01L21/6715 , B05B12/08 , B05B12/084 , B05B15/52 , B05B15/555 , B05B15/557 , B05C5/0216 , B05C5/0291 , B05C11/08 , B05D1/005 , B41J2/165 , B41J2/16579 , H01L21/67051
Abstract: 本发明所要解决的技术问题是，实现材料利用效率以及作业率的提高，且防止以涂覆喷嘴的污染为起因的膜厚均匀性的降低。本发明中，成膜装置(1)中，具备：具有载置涂覆对象物(W)的载置面(2a)的台架(2)、使台架(2)在沿载置面(2a)的旋转方向旋转的旋转机构(3)、将材料排出到台架(2)上的涂覆对象物(W)上并进行涂覆的涂覆喷嘴(4)、使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在与旋转方向相交的交差方向沿载置面(2a)相对移动的移动机构(5)、一面通过旋转机构(3)使载置了涂覆对象物(W)的台架(2)旋转，一面通过移动机构(5)使台架(2)和涂覆喷嘴(4)在交差方向沿载置面(2a)相对移动，进行通过涂覆喷嘴(4)将向台架(2)上的涂覆对象物(W)涂覆材料的控制的控制部(10)、清洗涂覆喷嘴(4)的清洗装置(7)。
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公开(公告)号：CN102387869A
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN201080016725.X
申请日：2010-05-28
CPC classification number: H01L21/6715 , B05C13/02 , B05D1/002 , B05D1/26
Abstract: 在使设于旋转的涂布对象物上方的涂布喷嘴移动而将涂布液以螺旋状涂布于涂布对象物的表面的过程中，使涂布液平滑且均一地涂布于涂布对象物的表面。在使设于旋转的涂布对象物(13)上方的前端面平坦的筒状涂布喷嘴20一边在与涂布对象物的旋转方向交叉的方向上相对移动、一边从涂布喷嘴前端的喷嘴孔(21)将涂布液(31)涂布于涂布对象物表面的过程中，形成向涂布喷嘴前端部的一部分倾斜的缺口部(22)，由旋转控制单元(40)控制涂布喷嘴的旋转以使该涂布喷嘴中的缺口部位于旋转的涂布对象物上涂布液供给位置的上流侧。
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公开(公告)号：CN109574511A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201711439897.8
申请日：2017-12-26
Applicant: 中外炉工业株式会社
IPC: C03C17/00
CPC classification number: C03C17/002 , C03C2218/112
Abstract: 本发明提供一种基板的涂布方法以及基板的涂布装置，其在同时开始喷嘴的移动与涂敷液从喷嘴的喷出的情况下，能够容易地使从涂布开始时起几秒内的期间的涂膜厚度尽可能地恒定，从而能够防止基板的利用面积减少。在同时开始喷出涂敷液(D)的喷嘴(3)的移动与涂敷液从喷嘴的喷出而向基板(8)涂布涂敷液时，逐渐增加喷嘴的移动速度(Vt)(Vt1、Vt2、Vt3)，以使得基板的单位面积的涂敷液量恒定，从而涂膜厚度恒定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101230851A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200710152619.4
申请日：2007-09-20
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种液体供给装置(1)，具有：可对储存的液体(L)进行加压的储液罐(2)；注射器式泵(3)，该注射器式泵的内部空间(10)由注射器(9)和活塞(11)形成，利用所述液体(L)的压力使活塞(11)后退，从储液罐(2)将液体导入内部空间(10)，利用活塞(11)的前进而可将液体(L)从内部空间(10)排出；切换阀(6)，该切换阀使注射器式泵(3)的内部空间(10)与从储液罐(2)将液体(L)导入内部空间(10)用的吸入流路(5)及将液体(L)送出到外部用的排出流路(8)中的任一流路连通；驱动机构(4)，该驱动机构具有推动件(14)，该推动件可向活塞(11)的前进方向及后退方向移动，且可与活塞(11)的外侧抵接而使活塞(11)前进；传感器(15)，该传感器可检测到离开推动件(14)一定距离内存在活塞(11)的情况。采用本发明，能使排出的液体中不混入气泡。
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公开(公告)号：CN118488878A
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202280087119.X
申请日：2022-07-21
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 在使被涂装涂布液的基板(10)的表面中的涂装部(11)的周缘部(11a)干燥时，以使基板中的涂装部的周缘部位于旋转台(32)的外周侧的方式将基板载置于旋转台上，并且将对位于旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热的加热体(H)在基板的下侧以不与基板接触的方式配置，并通过所述旋转台使基板旋转，并且通过所述加热体对位于旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热以使其干燥。
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公开(公告)号：CN101230851B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200710152619.4
申请日：2007-09-20
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 一种液体供给装置(1)，具有：可对储存的液体(L)进行加压的储液罐(2)；注射器式泵(3)，该注射器式泵的内部空间(10)由注射器(9)和活塞(11)形成，利用所述液体(L)的压力使活塞(11)后退，从储液罐(2)将液体导入内部空间(10)，利用活塞(11)的前进而可将液体(L)从内部空间(10)排出；切换阀(6)，该切换阀使注射器式泵(3)的内部空间(10)与从储液罐(2)将液体(L)导入内部空间(10)用的吸入流路(5)及将液体(L)送出到外部用的排出流路(8)中的任一流路连通；驱动机构(4)，该驱动机构具有推动件(14)，该推动件可向活塞(11)的前进方向及后退方向移动，且可与活塞(11)的外侧抵接而使活塞(11)前进；传感器(15)，该传感器可检测到离开推动件(14)一定距离内存在活塞(11)的情况。采用本发明，能使排出的液体中不混入气泡。
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公开(公告)号：CN106031913B
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201510102889.9
申请日：2015-03-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂敷液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂敷液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂敷液向涂敷液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂敷液供给系统连接，一边喷出供给来的涂敷液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂敷液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂敷液后关闭，停止涂敷液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂敷液供给系统，并且内部充满涂敷液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。
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公开(公告)号：CN106031913A
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201510102889.9
申请日：2015-03-09
Applicant: 中外炉工业株式会社
Abstract: 本发明提供涂敷装置以及涂敷方法，能够抑制开始进行涂敷处理时最初从喷嘴喷出的涂覆液以鼓起的方式被涂敷，能够从涂敷处理的开始时刻以适当的涂膜厚度对涂敷对象物进行涂敷，结构简单且用于进行涂膜厚度调节的控制容易。涂敷装置具备：涂覆液供给源，其通过加压将贮存于罐的涂覆液向涂覆液供给系统挤出并供给；喷嘴，其与涂覆液供给系统连接，一边喷出供给来的涂覆液一边相对于涂敷对象物移动，对涂敷对象物进行涂敷处理；开闭阀，其设于涂覆液供给系统，在开始进行涂敷处理时打开，向喷嘴供给涂覆液后关闭，停止涂覆液向喷嘴的供给；以及缓冲罐，其设于涂覆液供给系统，并且内部充满涂覆液，该缓冲罐抑制开闭阀打开时朝向喷嘴传播的压力变化。
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