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发明公开
涂装部周缘处理装置审中-实审

公开(公告)号：CN118488878A

公开(公告)日：2024-08-13

申请号：CN202280087119.X

申请日：2022-07-21

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 福井慎也 , 夏贞雄 , 三浦一史

IPC: B05C9/14 , B05C11/00

Abstract: 在使被涂装涂布液的基板(10)的表面中的涂装部(11)的周缘部(11a)干燥时，以使基板中的涂装部的周缘部位于旋转台(32)的外周侧的方式将基板载置于旋转台上，并且将对位于旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热的加热体(H)在基板的下侧以不与基板接触的方式配置，并通过所述旋转台使基板旋转，并且通过所述加热体对位于旋转台的外周侧的基板中的涂装部的周缘部进行加热以使其干燥。

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