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公开(公告)号：CN101229536A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200710192793.1
申请日：2007-11-20
申请人： 中外炉工业株式会社
摘要： 本发明涉及一种涂敷涂层到衬底上的方法，其中可以有效控制通过喷嘴在衬底上喷射液体介质的涂层表面，有效控制通过液体介质形成的涂层的厚度的形成，以及可以高生产效率地保持涂层的质量控制。本方法发明具有如下操作序列。首先安装距离传感器6a－6c，作为测量形成在衬底1S、1P上的介质层表面LS和喷嘴4之间的距离的装置。将测试衬底1S放置在工作台2上，并且在喷嘴夹持器5相对于工作台向前移动期间通过从喷嘴喷出的液体介质对测试衬底1S进行测试涂层。在喷嘴夹持器相对于工作台向后移动期间通过距离传感器执行测量操作。喷嘴定位器3a－3c根据距离传感器执行的测量操作的结果启动，作为设定形成适当涂层的喷嘴位置的装置。液体介质L被涂至衬底1P。
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公开(公告)号：CN107921461A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680049967.6
申请日：2016-03-24
申请人： 中外炉工业株式会社
摘要： 向曲面基材涂敷涂敷液的涂敷装置的特征在于，包括：储存箱，该储存箱储存涂敷液；狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴将涂敷液涂敷于曲面基材；供给部，该供给部从储存箱向狭缝喷嘴供给涂敷液；以及控制部，该控制部对涂敷装置进行控制，控制部以使向狭缝喷嘴供给的涂敷液的供给压力或供给量恒定的方式对供给部进行控制，此外，该控制部以使狭缝喷嘴的移动速度与从狭缝喷嘴的狭缝前端部到曲面基材的涂敷面的距离成反比的方式对狭缝喷嘴进行控制。
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公开(公告)号：CN114054307A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202011470427.X
申请日：2020-12-14
申请人： 中外炉工业株式会社
摘要： 提供一种将膜厚均匀性高的涂布膜形成于基板的边缘部平坦化设备及包括该设备的涂布干燥系统。边缘部平坦化设备(3)包括加热涂布在基板(7)的涂布液膜(8)的边缘部(49)的加热部(30)、测量边缘部(49)处的隆起的隆起测量传感器(40)、控制边缘部(49)处的涂布液膜(8)的表面张力的表面张力控制部(32、33)和控制表面张力控制部(32、33)的控制部(100)，控制部(100)用隆起测量传感器测量边缘部(49)处的隆起，同时控制表面张力控制部(32、33)并控制加热部(30)对边缘部(49)的加热以使边缘部(49)处的涂布液膜(8)的表面张力下降并抑制涂布液膜(8)的边缘部(49)处的隆起。
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公开(公告)号：CN112474205A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202010939262.X
申请日：2020-09-09
申请人： 中外炉工业株式会社
摘要： 提供一种能够将膜厚均匀性高的涂布膜形成于基板上的减压干燥装置。一种减压干燥装置(3)，包括：腔室(6)，上述腔室对涂布有包含溶剂的涂布液膜(8)的基板(7)进行收容；减压排气部(20)，上述减压排气部使上述腔室(6)的内部减压排气；以及汽化促进部(30、35)，上述汽化促进部促进来自上述涂布液膜(8)的上述溶剂的汽化，上述汽化促进部(30、35)配设在涂布于上述基板(7)的上述涂布液膜(8)的液周缘部(49)的周边。
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公开(公告)号：CN112341005B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202010161391.0
申请日：2020-03-10
申请人： 中外炉工业株式会社
摘要： 一种涂敷装置及涂敷方法，能够简单且在短时间内适当地涂敷涂敷液。在被涂敷体(10)之上行进的行进构件(23)处设置涂敷用喷嘴(24)，被涂敷体(10)通过在构成为板状的下层部(11)之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部(12)的方式形成，在涂敷用喷嘴(24)的前端部具有在与行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口(24a)，并且，将前端部具有吸管状排出口(25a)的吸管状喷嘴(25)设置成能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动。
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公开(公告)号：CN112341005A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202010161391.0
申请日：2020-03-10
申请人： 中外炉工业株式会社
摘要： 一种涂敷装置及涂敷方法，能够简单且在短时间内适当地涂敷涂敷液。在被涂敷体(10)之上行进的行进构件(23)处设置涂敷用喷嘴(24)，被涂敷体(10)通过在构成为板状的下层部(11)之上设置有构成为比下层部小的板状的上层部(12)的方式形成，在涂敷用喷嘴(24)的前端部具有在与行进方向相交的方向上延伸的狭缝状排出口(24a)，并且，将前端部具有吸管状排出口(25a)的吸管状喷嘴(25)设置成能够在与行进构件的行进方向相交的方向上移动。
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公开(公告)号：CN101230851B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN200710152619.4
申请日：2007-09-20
申请人： 中外炉工业株式会社
摘要： 一种液体供给装置(1)，具有：可对储存的液体(L)进行加压的储液罐(2)；注射器式泵(3)，该注射器式泵的内部空间(10)由注射器(9)和活塞(11)形成，利用所述液体(L)的压力使活塞(11)后退，从储液罐(2)将液体导入内部空间(10)，利用活塞(11)的前进而可将液体(L)从内部空间(10)排出；切换阀(6)，该切换阀使注射器式泵(3)的内部空间(10)与从储液罐(2)将液体(L)导入内部空间(10)用的吸入流路(5)及将液体(L)送出到外部用的排出流路(8)中的任一流路连通；驱动机构(4)，该驱动机构具有推动件(14)，该推动件可向活塞(11)的前进方向及后退方向移动，且可与活塞(11)的外侧抵接而使活塞(11)前进；传感器(15)，该传感器可检测到离开推动件(14)一定距离内存在活塞(11)的情况。采用本发明，能使排出的液体中不混入气泡。
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公开(公告)号：CN113719824A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202110546708.7
申请日：2021-05-19
申请人： 中外炉工业株式会社
IPC分类号： F22G1/12
摘要： 本发明提供一种过热水蒸汽制造装置，该过热水蒸汽制造装置是小型的，并且制造温度和供给量受到控制的过热水蒸汽。过热水蒸汽制造装置(1)包括：燃烧器(2)，其在外周部设置有燃烧部(32)，并且在中央部设置有喷射部(31)，燃烧部通过利用含氧气体使含氢气体燃烧而生成过热水蒸汽(42)，喷射部喷射水或蒸汽，喷射部(31)被燃烧部呈圈状地包围；以及冷却介质流量控制器(5a)，冷却介质流量控制器控制水或蒸汽的流量，通过对向过热水蒸汽(42)供给的水或蒸汽的供给量进行控制，从而控制过热水蒸汽(42)的温度以及生成量。
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公开(公告)号：CN107921461B
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201680049967.6
申请日：2016-03-24
申请人： 中外炉工业株式会社
摘要： 向曲面基材涂敷涂敷液的涂敷装置的特征在于，包括：储存箱，该储存箱储存涂敷液；狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴将涂敷液涂敷于曲面基材；供给部，该供给部从储存箱向狭缝喷嘴供给涂敷液；以及控制部，该控制部对涂敷装置进行控制，控制部以使向狭缝喷嘴供给的涂敷液的供给压力或供给量恒定的方式对供给部进行控制，此外，该控制部以使狭缝喷嘴的移动速度与从狭缝喷嘴的狭缝前端部到曲面基材的涂敷面的距离成反比的方式对狭缝喷嘴进行控制。
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