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公开(公告)号：CN117776085A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311803224.1
申请日：2023-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种集成电容角度传感器的MEMS万向节器件及其制备方法，其中，MEMS万向节器件还包括内轴电容角度传感器、外轴电容角度传感器以及垂直隔离结构；内轴差分电容角度传感器，包括一对内轴角度传感电容；外轴差分电容角度传感器，包括一对外轴角度传感电容；运动载台绕着所述内扭转轴做离面扭转时，一对内轴角度传感电容随内轴扭转角度进行彼此相反变化，运动内框绕着所述外扭转轴做离面扭转时，一对外轴角度传感电容随外轴扭转角度进行彼此相反变化；垂直隔离结构用于实现差分电容角度传感器的梳齿之间以及差分电容的电气绝缘。本发明能够实时提供高精度的扫描角度的数据信息。
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公开(公告)号：CN117393447A
公开(公告)日：2024-01-12
申请号：CN202311169505.6
申请日：2023-09-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/66
Abstract: 本发明涉及一种基于临时短路的垂直互连晶圆测试方法，包括以下步骤：将待测垂直互连晶圆的非扎针测试面进行临时短路，使得所有原先彼此绝缘的待测pad之间处于两两导通的状态；对待测垂直互连晶圆的扎针测试面进行垂直互连晶圆测试。本发明能够实现垂直电互连晶圆的低成本测量，尤其适用于带有密集排布垂直互连通孔的晶圆，解决了单面探针台无法直接测试此类垂直互连晶圆的问题，有利于推进晶圆级垂直电互连技术的进一步发展和使用。
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公开(公告)号：CN117361438A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311285906.8
申请日：2023-10-07
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种具有晶圆键合密封结构的键合晶圆，其彼此键合的晶圆的键合面均包括晶圆芯片区域和分布在晶圆芯片区域以外的晶圆边缘区域，晶圆边缘区域上均设有晶圆键合密封结构，且晶圆键合密封结构均包括外围封环、以及外围封环与晶圆芯片区域之间的网格状密封结构，使得晶圆键合密封结构的实际键合面积为对应的晶圆边缘区域面积的10％至50％。该密封结构在解决晶圆密封技术问题的同时，大幅度减小了芯片区域外的实际键合面积，从而在同等键合压力条件下，增大密封结构键合压强，从而提高晶圆键合质量，能够用于整个晶圆的防水密封及真空密封。
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公开(公告)号：CN117013869A
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN202310857751.4
申请日：2023-07-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H02N1/00
Abstract: 本发明提供一种基于驻极体的静电平板驱动器，包括透明基底，其上设有锚点；可动平板电极，通过弹性梁连接锚点；固定电极，布置在透明基底的上表面，且与可动平板电极位置相对，用于驱动可动平板电极做离面平移运动和离面扭转运动中的至少一种；发射电极，布置在可动平板电极的下表面，其接收自透明基底下表面照射的激励光，从而释放出电子；驻极体薄膜，由布置在固定电极上表面的可充电薄膜捕获并固定从发射电极释放的电子而成，用于向固定电极提供偏置电压。本发明还提供了相应的静电平板驱动器的制作方法。本发明的静电平板驱动器能够将驻极体兼容入静电平板驱动器中，以降低静电驱动电压。
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公开(公告)号：CN116500776A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202210073281.8
申请日：2022-01-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种动磁式电磁驱动双轴光学扫描镜、阵列及其应用。该光学扫描镜包括光学镜面、永磁体、双轴扭转机构、驱动电磁铁；光学镜面与永磁体的一端相连接，永磁体中间与双轴扭转机构连接，驱动电磁铁产生的驱动磁场与永磁体的磁矩相交，永磁体受到电磁扭矩的作用而发生扭转运动；光学镜面位于双轴扭转机构的上方，两者所在的平面相互平行，且两者的垂直距离满足光学镜面在最大扫描角度内转动时的空间要求；驱动电磁铁包括三个及三个以上气隙磁极，气隙磁极对称分布，气隙磁极中间构成电磁铁气隙，永磁体位于电磁铁气隙中间，电磁铁气隙的尺寸满足永磁体在最大扫描角度内转动所需的空间要求。本发明可以实现大镜面尺寸、大角度扫描。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115571853A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211305026.8
申请日：2022-10-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法，所述蚀刻测量图形结构用于测量晶圆蚀刻量，所述蚀刻测量图形结构包括以线性阵列排布的测量图形；各所述测量图形之间的间距依次构成等差数列。本发明的钻蚀量的测量方法中，通过设置蚀刻测量图形结构，测量图形成等差数列排布；在不影响晶圆整体工艺的情况下，基于测量图形的边缘连接情况获得钻蚀的数值，测量精度高。
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公开(公告)号：CN115453746A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211248795.9
申请日：2022-10-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明提供一种无轴间耦合的双轴静电驱动微反射镜及阵列式器件，无轴间耦合的双轴静电驱动微反射镜包括：衬底；绕着外轴扭转的外框架，及将其固定在衬底上的外轴扭转梁和锚点；布置在外轴两侧的外轴驱动单元，每个外轴驱动单元包括两个高低插指分布的梳齿集；绕着内轴扭转的反射镜体、及将其与外框架连接的内轴扭转梁；布置在反射镜体上表面的反射膜；布置在内轴两侧的内轴驱动单元，每个内轴驱动单元包括两个高低插指交错分布的梳齿集；导线及绝缘介质。本发明将反射镜体、内轴扭转梁和内轴驱动单元均作为外框架的随动结构，实现了内轴驱动和外轴驱动的物理隔离，消除了轴间耦合干扰。
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公开(公告)号：CN118192067A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410492079.8
申请日：2024-04-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种嵌入微型线圈式电磁驱动MEMS扫描镜，采用金属漆包线绕制的空芯微型线圈嵌入扫描镜芯片的埋线槽中，不仅简化微型线圈制造工艺，大幅度增加了微型线圈的匝数，降低驱动功耗，提升了电磁驱动力或力矩；并且，采用磁聚焦的局部强磁场偏置及优化的磁场分布，提升了微型线圈偏置磁场强度、优化了磁场方向与分布，大幅度提高了电磁驱动效率；另外，解决了多轴MEMS扫描镜的扫描轴间串扰，可以实现多轴MEMS扫描镜的准静态独立扫描，扩展了应用场景；同时，简化了电磁驱动MEMS扫描镜的制造工艺，大幅降低电磁驱动功耗，且降低了制造成本。
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公开(公告)号：CN117374004A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311375429.4
申请日：2023-10-23
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: H01L21/768
Abstract: 本发明提供一种基于金属粉末填充的互连结构制造方法，包括步骤：提供基底，所述基底中形成有用于制造互连结构的空腔；于空腔中填充金属粉末；将金属粉末固化成导电柱而形成互连结构。采用本发明，可以极大降低TSV通孔填充的难度、缩短填充时间、降低了工艺成本；并且可以有效解决基于金属粉末孔结构填充产生的空洞等问题，优化填充质量。相较于低阻硅TSV，采用本发明制备的导电柱电导率高，适用于要求TSV导通电阻低的应用场景，扩展了TSV技术的应用场景；且相比于液体合金灌注填充TSV，晶圆垂直孔填充后表面磨抛量大幅度减小，降低了工艺成本。本发明尤其易于制造可靠性较高的厚衬底TSV基板，避免了现有填充技术的限制，扩展了应用场景。
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公开(公告)号：CN116626881A
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310634507.1
申请日：2023-05-31
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明提供一种隐藏式多维MEMS微反射镜、阵列、阵列式器件及其制备方法，通过多层晶圆堆叠以及两次键合工艺，实现了MEMS微镜阵列具备具有高光学质量以及高镜面占空比，还能解决多维运动结构在运动时的一系列工艺问题；还提供一种基于平面驱动电极与垂直驱动电极复合的静电驱动结构，在一定程度上降低了驱动电压，扩展了驱动行程范围，提高了静电驱动效能，多维运动结构又能够为晶圆键合提供大面积可动柔性结构的支撑，从而实现高光学面型质量的镜面、大尺寸镜面和大转角扫描，显著提高了产品的生产良率，此外，MEMS微镜阵列还拥有毫米级像素尺寸，可以实现双轴扭转与离面垂直运动，从而满足光学相控阵以及高端光刻机等高端光学系统的应用需求。
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