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公开(公告)号：CN116500776A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202210073281.8
申请日：2022-01-21
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种动磁式电磁驱动双轴光学扫描镜、阵列及其应用。该光学扫描镜包括光学镜面、永磁体、双轴扭转机构、驱动电磁铁；光学镜面与永磁体的一端相连接，永磁体中间与双轴扭转机构连接，驱动电磁铁产生的驱动磁场与永磁体的磁矩相交，永磁体受到电磁扭矩的作用而发生扭转运动；光学镜面位于双轴扭转机构的上方，两者所在的平面相互平行，且两者的垂直距离满足光学镜面在最大扫描角度内转动时的空间要求；驱动电磁铁包括三个及三个以上气隙磁极，气隙磁极对称分布，气隙磁极中间构成电磁铁气隙，永磁体位于电磁铁气隙中间，电磁铁气隙的尺寸满足永磁体在最大扫描角度内转动所需的空间要求。本发明可以实现大镜面尺寸、大角度扫描。
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公开(公告)号：CN115571853A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211305026.8
申请日：2022-10-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种蚀刻测量图形结构及钻蚀量的测量方法，所述蚀刻测量图形结构用于测量晶圆蚀刻量，所述蚀刻测量图形结构包括以线性阵列排布的测量图形；各所述测量图形之间的间距依次构成等差数列。本发明的钻蚀量的测量方法中，通过设置蚀刻测量图形结构，测量图形成等差数列排布；在不影响晶圆整体工艺的情况下，基于测量图形的边缘连接情况获得钻蚀的数值，测量精度高。
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公开(公告)号：CN115453746A
公开(公告)日：2022-12-09
申请号：CN202211248795.9
申请日：2022-10-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明提供一种无轴间耦合的双轴静电驱动微反射镜及阵列式器件，无轴间耦合的双轴静电驱动微反射镜包括：衬底；绕着外轴扭转的外框架，及将其固定在衬底上的外轴扭转梁和锚点；布置在外轴两侧的外轴驱动单元，每个外轴驱动单元包括两个高低插指分布的梳齿集；绕着内轴扭转的反射镜体、及将其与外框架连接的内轴扭转梁；布置在反射镜体上表面的反射膜；布置在内轴两侧的内轴驱动单元，每个内轴驱动单元包括两个高低插指交错分布的梳齿集；导线及绝缘介质。本发明将反射镜体、内轴扭转梁和内轴驱动单元均作为外框架的随动结构，实现了内轴驱动和外轴驱动的物理隔离，消除了轴间耦合干扰。
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公开(公告)号：CN116243429A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310309579.9
申请日：2023-03-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线及其阵列，百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线由大行程MEMS垂直运动微镜与多反射光纤准直器进行光学准直耦合，通过运动放大杠杆结构的设置，使得大行程MEMS垂直运动微镜的离面运动行程能够达到毫米级、而垂直移动精度可达纳米级，从而突破了现有技术中MEMS垂直运动微镜仅仅只有数十微米行程的局限，并且降低了制备成本；此外，本发明大大提高了光纤延迟线的延迟量、并且使得光纤延迟线变得高精度快速调谐，并在一定程度上实现了光纤延迟线的阵列化，从而能够满足光学相控阵等高端光学系统的应用需求。
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公开(公告)号：CN115490201A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202211248816.7
申请日：2022-10-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种多级驱动的MEMS静电驱动器，结构包括：衬底、载荷、逐级串联的若干个一维静电驱动结构、锚点、导线及绝缘介质；每一级的一维静电驱动结构均包括外框架、至少一个静电驱动单元、及至少一个弹性梁；载荷与第一级的外框架连接；除最后一级的外框架通过最后一级的弹性梁悬挂固定到衬底以外，其余每一级的外框架均通过位于同一级的弹性梁连接下一级的外框架；静电驱动单元包括两个位置相对的梳齿集，分别布置于位于同一级的外框架，及衬底或下一级的所述外框架；每一级的外框架在位于同一级的静电驱动单元的作用下独立地实现一维运动；在各级的一维静电驱动结构的共同作用下，载荷实现无耦合干扰的多维运动或/和大位移运动。
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