-
公开(公告)号：CN116243429A
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202310309579.9
申请日：2023-03-27
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线及其阵列，百皮秒级真时延MEMS光纤延迟线由大行程MEMS垂直运动微镜与多反射光纤准直器进行光学准直耦合，通过运动放大杠杆结构的设置，使得大行程MEMS垂直运动微镜的离面运动行程能够达到毫米级、而垂直移动精度可达纳米级，从而突破了现有技术中MEMS垂直运动微镜仅仅只有数十微米行程的局限，并且降低了制备成本；此外，本发明大大提高了光纤延迟线的延迟量、并且使得光纤延迟线变得高精度快速调谐，并在一定程度上实现了光纤延迟线的阵列化，从而能够满足光学相控阵等高端光学系统的应用需求。
Search Results
1
records
(took 0.025 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
