公开(公告)号：CN117393447A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202311169505.6

申请日：2023-09-12

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 吴亚明 ,  蔡敏力 ,  凌必赟 ,  王潇悦 ,  夏彧虎

IPC: H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种基于临时短路的垂直互连晶圆测试方法，包括以下步骤：将待测垂直互连晶圆的非扎针测试面进行临时短路，使得所有原先彼此绝缘的待测pad之间处于两两导通的状态；对待测垂直互连晶圆的扎针测试面进行垂直互连晶圆测试。本发明能够实现垂直电互连晶圆的低成本测量，尤其适用于带有密集排布垂直互连通孔的晶圆，解决了单面探针台无法直接测试此类垂直互连晶圆的问题，有利于推进晶圆级垂直电互连技术的进一步发展和使用。

公开(公告)号：CN117013869A

公开(公告)日：2023-11-07

申请号：CN202310857751.4

申请日：2023-07-13

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 凌必赟 ,  夏彧虎 ,  吴亚明 ,  王潇悦 ,  蔡敏力

IPC: H02N1/00

Abstract: 本发明提供一种基于驻极体的静电平板驱动器，包括透明基底，其上设有锚点；可动平板电极，通过弹性梁连接锚点；固定电极，布置在透明基底的上表面，且与可动平板电极位置相对，用于驱动可动平板电极做离面平移运动和离面扭转运动中的至少一种；发射电极，布置在可动平板电极的下表面，其接收自透明基底下表面照射的激励光，从而释放出电子；驻极体薄膜，由布置在固定电极上表面的可充电薄膜捕获并固定从发射电极释放的电子而成，用于向固定电极提供偏置电压。本发明还提供了相应的静电平板驱动器的制作方法。本发明的静电平板驱动器能够将驻极体兼容入静电平板驱动器中，以降低静电驱动电压。

公开(公告)号：CN118443277A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410521443.9

申请日：2024-04-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 吴亚明 ,  凌必赟 ,  夏彧虎 ,  蔡敏力 ,  王潇悦

IPC: G01M11/02 ,  G02B26/08 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明提供一种MEMS微镜及其阵列的高精度标定测试与驱动方法，包括微镜驱动信号按照设定步长进行扫描，以微镜多个驱动信号所对应的多个扫描角度，得到扫描测试数据表函数；进行函数求逆运算，得到驱动测试数据表函数；利用拟合算法或插值算法进行数据滤波、扩增，生成驱动数据表函数；基于驱动数据表函数，确定期望的扫描角度的相应微镜驱动信号，输入至MEMS微镜，以使其偏转至期望输出的扫描角度。本发明的方法采用“稀疏”的大步长扫描测试、求逆运算、拟合或插值运算的方法获取高精度的驱动数据表函数，并对所获得的驱动数据表函数的精度进行验证，以实现快速、高精度的MEMS微镜及其阵列的标定测试，极大缩短测试时间、大幅度降低标定测试成本。

公开(公告)号：CN117374004A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202311375429.4

申请日：2023-10-23

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 凌必赟 ,  夏彧虎 ,  吴亚明 ,  蔡敏力 ,  王潇悦

IPC: H01L21/768

Abstract: 本发明提供一种基于金属粉末填充的互连结构制造方法，包括步骤：提供基底，所述基底中形成有用于制造互连结构的空腔；于空腔中填充金属粉末；将金属粉末固化成导电柱而形成互连结构。采用本发明，可以极大降低TSV通孔填充的难度、缩短填充时间、降低了工艺成本；并且可以有效解决基于金属粉末孔结构填充产生的空洞等问题，优化填充质量。相较于低阻硅TSV，采用本发明制备的导电柱电导率高，适用于要求TSV导通电阻低的应用场景，扩展了TSV技术的应用场景；且相比于液体合金灌注填充TSV，晶圆垂直孔填充后表面磨抛量大幅度减小，降低了工艺成本。本发明尤其易于制造可靠性较高的厚衬底TSV基板，避免了现有填充技术的限制，扩展了应用场景。

公开(公告)号：CN116626881A

公开(公告)日：2023-08-22

申请号：CN202310634507.1

申请日：2023-05-31

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 吴亚明 ,  蔡敏力 ,  凌必赟 ,  王潇悦 ,  夏彧虎

IPC: G02B26/08

Abstract: 本发明提供一种隐藏式多维MEMS微反射镜、阵列、阵列式器件及其制备方法，通过多层晶圆堆叠以及两次键合工艺，实现了MEMS微镜阵列具备具有高光学质量以及高镜面占空比，还能解决多维运动结构在运动时的一系列工艺问题；还提供一种基于平面驱动电极与垂直驱动电极复合的静电驱动结构，在一定程度上降低了驱动电压，扩展了驱动行程范围，提高了静电驱动效能，多维运动结构又能够为晶圆键合提供大面积可动柔性结构的支撑，从而实现高光学面型质量的镜面、大尺寸镜面和大转角扫描，显著提高了产品的生产良率，此外，MEMS微镜阵列还拥有毫米级像素尺寸，可以实现双轴扭转与离面垂直运动，从而满足光学相控阵以及高端光刻机等高端光学系统的应用需求。