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公开(公告)号：CN116276630A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310080721.7
申请日：2023-02-06
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种吸擦一体式擦头装置，包括吸盘主体和吸盘芯，吸盘主体上表面设有用于容纳研磨液的第一环形凹槽，第一环形凹槽的底部设有第一研磨液排出孔，安装圆台的中心设有第一通气孔；吸盘芯安装在吸盘主体的下表面；吸盘芯具有与第一通气孔同轴连通的第二通气孔；吸盘芯的下端设有分气盘，沿分气盘周向均匀设有多个第一径向排气孔，第一径向排气孔与第二通气孔连通；还包括通气管路、研磨液管路、吹扫气管路、冲洗液管路。本发明可实现对陶瓷圆片的无接触装载和卸载，可以完成对陶瓷圆片的研磨、冲洗和吹扫，大大避免了陶瓷圆片划伤、损坏、报废、二次污染的问题，提高了工作效率，保证了陶瓷圆片的研磨效果和洁净度。
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公开(公告)号：CN114549599A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210038925.X
申请日：2022-01-13
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供一种晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括：对目标晶圆的灰度图像进行边缘检测，获得目标晶圆的轮廓二值图像；降低轮廓二值图像的分辨率，获得对应的低分辨率图像；对低分辨率图像中的轮廓进行直线检测，获得低分辨率图像中对应的平边端点粗坐标；基于平边端点粗坐标在轮廓二值图像中对应的预设邻域图像进行直线检测，获得轮廓二值图像中对应的平边端点精坐标；根据平边端点精坐标对目标晶圆的轮廓进行圆拟合，获得轮廓对应的圆心坐标和平边旋转角，以基于圆心坐标和平边旋转角对目标晶圆进行对准。本发明能够有效提高直线检测获得平边端点坐标的速度，进而缩短晶圆预对准时间，提高晶圆预对准的实时性和效率。
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公开(公告)号：CN115431169B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202211021727.9
申请日：2022-08-24
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机，属于半导体技术领域，包括：轴套、内套筒、轴承以及分体端盖，轴套具有上连接段和下连接段，上连接段内的上通孔的孔径大于下连接段的下通孔的孔径，上通孔和下通孔的相接处构成支撑平台；内套筒设置于上通孔内；其中，上连接段上设有用于真空管路的安装孔，内套筒上设有抽气孔；轴承设置于支撑平台上，用于连接载片轴；分体端盖封装于上通孔的上端，对内套筒内的真空腔构成密封。本发明提供的真空连接转换装置，利用轴承保证载片轴转动的速度的均匀性，能够提升载片抛光面的均匀性，避免后序制作的产品报废，提高产品的加工质量。
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公开(公告)号：CN116344263A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310122014.X
申请日：2023-02-16
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法，属于机械制造技术领域，包括：底座、隔离条、磁开关以及盖板，隔离条嵌设于底座上；磁开关设置于底座的腔体内，隔离条位于腔体内；磁开关包括旋转板和两块磁铁，旋转板上设有两个用于放置磁铁的长条孔，两个长条孔平行且错位设置，两块磁铁的极性呈上下方向分别置于长条孔内，且两块磁铁的极性相反；磁开关在腔体内水平旋转呈开启状态时，两块磁铁与隔离条平行且分设在隔离条的两侧，磁开关水平旋转呈关闭状态时，两块磁铁与隔离条交叉；盖板固设于底座上，盖板上设有销轴，销轴向下穿设于旋转板上，旋转板可绕销轴旋转或随销轴旋转。本发明可实现开关座的小型化和轻质化，扩大其应用的环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116300335A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310174542.X
申请日：2023-02-28
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 本申请提供了一种电子束光阑和束闸一体化装置和电子光学系统，该装置包括：基座、正极、第一光阑片和第二光阑片；基座的内部设置有第一负极板和第二负极板，顶部设置有第一光阑片安装孔和第二光阑片安装孔；正极呈长条状，正极的上部与基座配合，第一负极板和第二负极板分居正极的上部的两侧，第一负极板与正极之间形成第一束闸，第二负极板与正极之间形成第二束闸；正极的下部设置有刀口槽结构；第一光阑片和第二光阑片分别安装于第一光阑片安装孔和第二光阑片安装孔中；第一光阑片位于第一束闸的上方，第二光阑片位于第二束闸的上方。本申请使束闸和光阑采用一体式设计，结构简单紧凑，装配调试方便，达到关断速度快，拖尾小的目的。
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公开(公告)号：CN115831858A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202310004369.9
申请日：2023-01-03
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
IPC: H01L21/687
Abstract: 本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于旋转手指气缸的两个手指上；晶圆夹持机械手对称连接于晶圆夹持支撑件上，以夹持待翻面的晶圆；两晶圆夹持机械手相对的内侧分别具有夹持晶圆边缘的弧形槽。本发明晶圆夹持机械手不接触晶圆的表面，仅仅抵靠晶圆的外侧面，不会对晶圆的正面和背面造成污染、划痕等不洁净的问题；晶圆沿斜面滑动落入晶圆夹持机械手的夹持部位，可避免了晶圆倾斜晃动等问题造成的不确定性。
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公开(公告)号：CN116288718A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310085677.9
申请日：2023-02-07
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种碳化硅外延生长室，属于半导体领域，包括上室体及下室体，上室体具有上空腔，所述上室体内设有上支撑板；下室体固设于上室体的下方，下室体具有下空腔，下室体内设有下支撑板，上支撑板与下支撑板之间构成生长室，下支撑板内部设有储气腔，下支撑板的下方还设有连通储气腔的气道；下支撑板上且位于储气腔的上方设有圆形凹槽，下支撑板上还设有连通储气腔与生长室的通气孔。本发明提供的碳化硅外延生长室，清理时将上室体取出即可对生长室内部进行清理，结构简单，方便拆卸清洁；上室体和下室体均设有中空腔，降低了生长室的重量，方便生长室的取出和安装。
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公开(公告)号：CN115692266A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211365511.4
申请日：2022-11-03
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 一种基于电信号叠加的物料定位检测装置及方法，属于半导体制造设备领域，所述装置包括直流电压源、信号线、电信号检测单元、开关、电阻及解码器，每个开关配套一个电阻，组成编码单元，信号线连接编码单元；所述方法为获取信号线的输出电流，根据输出电流进行逆向解码，判断各承载盘架上是否放置承载盘。采用本发明提出的技术方案，最低只需2根导线实现多个位置的检测；简化承载盘架的设计安装，减少出入真空腔室的信号线数量，结构简单，降低了设备后期该部分的故障率和维修难度，可提高修复速度，缩短设备宕机时长；在检测点数量较多时，本发明具备扩展应用功能，可以增加被检测承载盘数量，保证检测的可靠性，满足设备设计研制或改造需求。
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公开(公告)号：CN115431169A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211021727.9
申请日：2022-08-24
Applicant: 中国电子科技集团公司第十三研究所
Abstract: 本发明提供了一种真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机，属于半导体技术领域，包括：轴套、内套筒、轴承以及分体端盖，轴套具有上连接段和下连接段，上连接段内的上通孔的孔径大于下连接段的下通孔的孔径，上通孔和下通孔的相接处构成支撑平台；内套筒设置于上通孔内；其中，上连接段上设有用于真空管路的安装孔，内套筒上设有抽气孔；轴承设置于支撑平台上，用于连接载片轴；分体端盖封装于上通孔的上端，对内套筒内的真空腔构成密封。本发明提供的真空连接转换装置，利用轴承保证载片轴转动的速度的均匀性，能够提升载片抛光面的均匀性，避免后序制作的产品报废，提高产品的加工质量。
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