-
公开(公告)号：CN114978095B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202210538575.3
申请日：2022-05-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本申请涉及一种温度补偿型薄膜体声波谐振器、其制造方法及滤波器，属于薄膜体声波滤波器设计技术领域；所述谐振器包括第一衬底和压电叠层结构，所述第一衬底的顶部设置有第一空腔；所述压电叠层结构位于所述第一衬底上，所述压电叠层结构从下至上包括种子层、底电极、粘附层、温补层、压电层、顶电极和保护层；在所述温补层的周围边缘设置有第二空腔；本发明在温补层边缘处制作有空气桥和空气隙，由于空气桥和空气隙与压电层、温补层、下电极和粘附层的声阻抗不同，且空气的声阻抗较小，所以不同的声阻抗可对横波在压电层和温补层的边缘和台阶处进行多次反射，进而减少声能量损失，提高Q值。
-
公开(公告)号：CN109702669B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201910123336.X
申请日：2019-02-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科芯片技术(集团)有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明提供一种传感器测试夹具，包括位于底座上的三个螺纹进给机构；底座上具有设有集成模块的穿孔，螺纹进给机构包括螺杆、支撑座和滑座，螺杆以螺纹连接的方式穿过支撑座后伸入滑座内，螺纹进给机构包括x向螺纹进给机构、y向螺纹进给机构和z向螺纹进给机构，x向螺纹进给机构的滑座上固定有y向螺纹进给机构的支撑座，y向螺纹进给机构的滑座位于x向螺纹进给机构的滑座上，且x向螺纹进给机构的滑座与y向螺纹进给机构的滑座设置有与穿孔正对的通孔，y向螺纹进给机构的滑座上固定有z向螺纹进给机构的支撑座，所述z向螺纹进给机构的滑座在所述通孔内上下滑动。本发明结构简单，且能准
-
公开(公告)号：CN116165138A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202211642464.3
申请日：2022-12-20
申请人： 中电科芯片技术(集团)有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明涉及一种气体传感器用透气结构，属于光声气体传感器技术领域。该透气结构包括衬底以及与其结合的膜结构，还包括一底部金属层，可设置在衬底下或设置在膜结构上。在衬底中设有支撑臂，用于承载膜结构；在膜结构中包括透气膜、金属层和加强结构；其中金属层位于透气膜和加强结构之间。透气膜用于供流体通过；金属层用于抗电磁辐射；加强结构用于提高膜结构的机械刚度，减弱膜结构的振动。本发明可以抑制噪声，防止声学串扰及抗电磁辐射。
-
公开(公告)号：CN115242204A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210884189.X
申请日：2022-07-25
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本专利涉及一种薄膜体声波滤波器气密性晶圆级封装结构和封装方法，属于薄膜体声波滤波器晶圆封装技术领域；所述封装结构包括功能晶圆和玻璃晶圆，所述功能晶圆与所述玻璃晶圆通过阳极键合连接；所述功能晶圆包括硅衬底，所述硅衬底上开设有空腔，在所述硅衬底上设置有掩埋所述空腔的膜层结构，在所述膜层结构的两肩处形成有向上凸起的焊盘电极；所述玻璃晶圆上开设有凹槽并形成封盖，所述封盖覆盖所述焊盘电极和所述膜层结构，且通过盖沿与功能晶圆连接；在所述封盖的顶盖处开设有盲孔，在所述盲孔内填充有电镀的金属材料，将所述焊盘电极从盲孔引出；本专利采用硅和玻璃进行阳极键合，降低工艺难度，同时节约成本。
-
公开(公告)号：CN108318439B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201810220064.0
申请日：2018-03-16
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/01
摘要： 本发明涉及一种基于椭圆形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括椭圆形集成气室和集成电路模块；所述椭圆形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接方式层叠组装；其中，椭圆形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接等方式组合形成气室；红外光由红外光源发出，从集成气室的入光孔进入气室内部，与从气孔进入气室内部的待测气体进行作用，后由出光孔射出且经过滤光片后被红外探测器接收，实现特定气体的不同浓度检测。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
-
公开(公告)号：CN109702669A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910123336.X
申请日：2019-02-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科技集团重庆声光电有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明提供一种传感器测试夹具，包括位于底座上的三个螺纹进给机构；底座上具有设有集成模块的穿孔，螺纹进给机构包括螺杆、支撑座和滑座，螺杆以螺纹连接的方式穿过支撑座后伸入滑座内，螺纹进给机构包括x向螺纹进给机构、y向螺纹进给机构和z向螺纹进给机构，x向螺纹进给机构的滑座上固定有y向螺纹进给机构的支撑座，y向螺纹进给机构的滑座位于x向螺纹进给机构的滑座上，且x向螺纹进给机构的滑座与y向螺纹进给机构的滑座设置有与穿孔正对的通孔，y向螺纹进给机构的滑座上固定有z向螺纹进给机构的支撑座，所述z向螺纹进给机构的滑座在所述通孔内上下滑动。本发明结构简单，且能准确测试不同的气室和集成模块。
-
公开(公告)号：CN102820504B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201210322603.4
申请日：2012-09-04
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明公开了一种全密封结构的微机械滤波器。该滤波器基本结构为交指型带状线滤波器结构，由两层介质材料上下叠加构成，两层介质层之间有采用微机械工艺制作的交指型金属电极层；下介质层上表面有采用刻蚀工艺制备的空腔；在上、下两层介质层上均设有通孔，通孔内壁制备有金属层；上、下介质层表面均有微机械工艺制作的表面电极层，其中一个介质层表面设有输入、输出引出线。该滤波器较现有微机械滤波器体积得到进一步缩小，并采用晶圆级封装方法，克服了现有微机械滤波器结构无法实现全密封的缺点，无需外壳封装，简化了装配。
-
公开(公告)号：CN102790248A
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN201210322898.5
申请日：2012-09-04
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明公开了一种小型化微机械滤波器。该滤波器基于微机械工艺制作，由上、下两层介质材料叠加而成；上介质层下表面有交指型金属电极层；下介质层上表面有接地键合焊环，焊环之间有采用刻蚀工艺制备的空腔；上、下介质层上均设有通孔，通孔内壁有金属层；上、下介质层表面有表面电极层，其中，上介质层表面设有输入、输出引出线。该滤波器可以满足微波滤波器工作频率高、带宽大、损耗小等指标要求，具有体积小、全密封、可靠性高的特点。
-
公开(公告)号：CN108318439A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810220064.0
申请日：2018-03-16
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/01
摘要： 本发明涉及一种基于椭圆形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括椭圆形集成气室和集成电路模块；所述椭圆形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接方式层叠组装；其中，椭圆形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接等方式组合形成气室；红外光由红外光源发出，从集成气室的入光孔进入气室内部，与从气孔进入气室内部的待测气体进行作用，后由出光孔射出且经过滤光片后被红外探测器接收，实现特定气体的不同浓度检测。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
-
公开(公告)号：CN105466492A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510998092.1
申请日：2015-12-28
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明公开了一种多适用性馆藏文物保存环境监测终端，包括传感器模块、信号采集与处理模块、无线通讯模块、电源以及电源管理模块；所述信号采集与处理模块包括传感器接口电路和信号处理器，所述传感器接口电路与信号处理器相连，同时，该信号处理器与无线通讯模块相连；所述电源与电源管理模块相连，通过电源管理模块对传感器模块、信号采集与处理模块、以及无线通讯模块供电。本发明能够适用于各种环境的监测，并且能耗低，维护方便，使用成本低。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
39 条记录 (耗时 0.041 秒)
