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公开(公告)号：CN109702669B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201910123336.X
申请日：2019-02-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科芯片技术(集团)有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明提供一种传感器测试夹具，包括位于底座上的三个螺纹进给机构；底座上具有设有集成模块的穿孔，螺纹进给机构包括螺杆、支撑座和滑座，螺杆以螺纹连接的方式穿过支撑座后伸入滑座内，螺纹进给机构包括x向螺纹进给机构、y向螺纹进给机构和z向螺纹进给机构，x向螺纹进给机构的滑座上固定有y向螺纹进给机构的支撑座，y向螺纹进给机构的滑座位于x向螺纹进给机构的滑座上，且x向螺纹进给机构的滑座与y向螺纹进给机构的滑座设置有与穿孔正对的通孔，y向螺纹进给机构的滑座上固定有z向螺纹进给机构的支撑座，所述z向螺纹进给机构的滑座在所述通孔内上下滑动。本发明结构简单，且能准
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公开(公告)号：CN116165138A
公开(公告)日：2023-05-26
申请号：CN202211642464.3
申请日：2022-12-20
申请人： 中电科芯片技术(集团)有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本发明涉及一种气体传感器用透气结构，属于光声气体传感器技术领域。该透气结构包括衬底以及与其结合的膜结构，还包括一底部金属层，可设置在衬底下或设置在膜结构上。在衬底中设有支撑臂，用于承载膜结构；在膜结构中包括透气膜、金属层和加强结构；其中金属层位于透气膜和加强结构之间。透气膜用于供流体通过；金属层用于抗电磁辐射；加强结构用于提高膜结构的机械刚度，减弱膜结构的振动。本发明可以抑制噪声，防止声学串扰及抗电磁辐射。
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公开(公告)号：CN108426833A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810220654.3
申请日：2018-03-16
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01N21/01 , G01N21/3518
摘要： 本发明涉及一种基于盒形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括盒形集成气室和集成电路模块；所述盒形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接等方式层叠组装；其中，盒形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接方式组合形成气室；红外光进入具有反光内壁凹槽的盒形集成气室，在盒形集成气室内可发生多次反射后再被红外探测器接收，这种具有反光内壁凹槽的盒形集成气室可保证红外光具有较长的光程，提高红外气体传感器的探测灵敏度。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN106589364A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611240535.1
申请日：2016-12-29
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 东华大学
CPC分类号： C08G73/0266 , B82Y30/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明公开了一种聚苯胺纳米纤维及其制备方法。该聚苯胺纳米纤维由摩尔比介于99/1‑80/20之间的苯胺和2‑(六氟‑2‑羟基异丙基)‑苯胺制成。该制备方法包括：用去离子水和盐酸配制成摩尔浓度为0.5‑2mol/l的盐酸溶液，调节其pH值为2‑4；将苯胺和2‑(六氟‑2‑羟基异丙基)‑苯胺按摩尔比为99/1‑80/20的比例溶于盐酸溶液中，经搅拌后加入摩尔浓度为0.1‑1mol/l过硫酸铵水溶液，其中过硫酸铵/苯胺摩尔比介于0.01‑5之间；将上述混合溶液搅拌反应后，将得到的反应产物经过过滤、水洗、醇洗、干燥后得聚苯胺纳米纤维。通过上述方式，本发明能够满足快速检测的要求。
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公开(公告)号：CN114978095B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202210538575.3
申请日：2022-05-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本申请涉及一种温度补偿型薄膜体声波谐振器、其制造方法及滤波器，属于薄膜体声波滤波器设计技术领域；所述谐振器包括第一衬底和压电叠层结构，所述第一衬底的顶部设置有第一空腔；所述压电叠层结构位于所述第一衬底上，所述压电叠层结构从下至上包括种子层、底电极、粘附层、温补层、压电层、顶电极和保护层；在所述温补层的周围边缘设置有第二空腔；本发明在温补层边缘处制作有空气桥和空气隙，由于空气桥和空气隙与压电层、温补层、下电极和粘附层的声阻抗不同，且空气的声阻抗较小，所以不同的声阻抗可对横波在压电层和温补层的边缘和台阶处进行多次反射，进而减少声能量损失，提高Q值。
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公开(公告)号：CN115242204A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210884189.X
申请日：2022-07-25
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本专利涉及一种薄膜体声波滤波器气密性晶圆级封装结构和封装方法，属于薄膜体声波滤波器晶圆封装技术领域；所述封装结构包括功能晶圆和玻璃晶圆，所述功能晶圆与所述玻璃晶圆通过阳极键合连接；所述功能晶圆包括硅衬底，所述硅衬底上开设有空腔，在所述硅衬底上设置有掩埋所述空腔的膜层结构，在所述膜层结构的两肩处形成有向上凸起的焊盘电极；所述玻璃晶圆上开设有凹槽并形成封盖，所述封盖覆盖所述焊盘电极和所述膜层结构，且通过盖沿与功能晶圆连接；在所述封盖的顶盖处开设有盲孔，在所述盲孔内填充有电镀的金属材料，将所述焊盘电极从盲孔引出；本专利采用硅和玻璃进行阳极键合，降低工艺难度，同时节约成本。
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公开(公告)号：CN108318439B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201810220064.0
申请日：2018-03-16
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/01
摘要： 本发明涉及一种基于椭圆形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括椭圆形集成气室和集成电路模块；所述椭圆形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接方式层叠组装；其中，椭圆形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接等方式组合形成气室；红外光由红外光源发出，从集成气室的入光孔进入气室内部，与从气孔进入气室内部的待测气体进行作用，后由出光孔射出且经过滤光片后被红外探测器接收，实现特定气体的不同浓度检测。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN109702669A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910123336.X
申请日：2019-02-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科技集团重庆声光电有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明提供一种传感器测试夹具，包括位于底座上的三个螺纹进给机构；底座上具有设有集成模块的穿孔，螺纹进给机构包括螺杆、支撑座和滑座，螺杆以螺纹连接的方式穿过支撑座后伸入滑座内，螺纹进给机构包括x向螺纹进给机构、y向螺纹进给机构和z向螺纹进给机构，x向螺纹进给机构的滑座上固定有y向螺纹进给机构的支撑座，y向螺纹进给机构的滑座位于x向螺纹进给机构的滑座上，且x向螺纹进给机构的滑座与y向螺纹进给机构的滑座设置有与穿孔正对的通孔，y向螺纹进给机构的滑座上固定有z向螺纹进给机构的支撑座，所述z向螺纹进给机构的滑座在所述通孔内上下滑动。本发明结构简单，且能准确测试不同的气室和集成模块。
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公开(公告)号：CN112781636B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202011598173.X
申请日：2020-12-29
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01D11/24
摘要： 本发明涉及一种螺旋式通风防辐射罩，属于气象监测设备领域。包括多个层叠设置的螺旋环状的防辐射片，相邻防辐射片之间存在间隙，形成螺旋通风道；防辐射片的下边缘向外扩大，形成倾斜面。既可以采用单螺旋结构，也可以通过在防辐射片内部嵌设导流套，形成双螺旋甚至多螺旋结构；并且，导流套的导向面可以设计成螺旋向上导流，也可以设计成螺旋向下导流。该螺旋式通风防辐射罩相较于传统自然防辐射罩，通风性能强、防辐射效果好；相较于强制通风防辐射罩，体积小、功耗低、易于维护。
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公开(公告)号：CN114978095A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210538575.3
申请日：2022-05-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要： 本申请涉及一种温度补偿型薄膜体声波谐振器、其制造方法及滤波器，属于薄膜体声波滤波器设计技术领域；所述谐振器包括第一衬底和压电叠层结构，所述第一衬底的顶部设置有第一空腔；所述压电叠层结构位于所述第一衬底上，所述压电叠层结构从下至上包括种子层、底电极、粘附层、温补层、压电层、顶电极和保护层；在所述温补层的周围边缘设置有第二空腔；本发明在温补层边缘处制作有空气桥和空气隙，由于空气桥和空气隙与压电层、温补层、下电极和粘附层的声阻抗不同，且空气的声阻抗较小，所以不同的声阻抗可对横波在压电层和温补层的边缘和台阶处进行多次反射，进而减少声能量损失，提高Q值。
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