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公开(公告)号：CN108426833A
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201810220654.3
申请日：2018-03-16
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01N21/01 , G01N21/3518
摘要： 本发明涉及一种基于盒形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括盒形集成气室和集成电路模块；所述盒形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接等方式层叠组装；其中，盒形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接方式组合形成气室；红外光进入具有反光内壁凹槽的盒形集成气室，在盒形集成气室内可发生多次反射后再被红外探测器接收，这种具有反光内壁凹槽的盒形集成气室可保证红外光具有较长的光程，提高红外气体传感器的探测灵敏度。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN108318439B
公开(公告)日：2020-12-29
申请号：CN201810220064.0
申请日：2018-03-16
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/01
摘要： 本发明涉及一种基于椭圆形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括椭圆形集成气室和集成电路模块；所述椭圆形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接方式层叠组装；其中，椭圆形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接等方式组合形成气室；红外光由红外光源发出，从集成气室的入光孔进入气室内部，与从气孔进入气室内部的待测气体进行作用，后由出光孔射出且经过滤光片后被红外探测器接收，实现特定气体的不同浓度检测。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN109702669A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201910123336.X
申请日：2019-02-18
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科技集团重庆声光电有限公司
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 本发明提供一种传感器测试夹具，包括位于底座上的三个螺纹进给机构；底座上具有设有集成模块的穿孔，螺纹进给机构包括螺杆、支撑座和滑座，螺杆以螺纹连接的方式穿过支撑座后伸入滑座内，螺纹进给机构包括x向螺纹进给机构、y向螺纹进给机构和z向螺纹进给机构，x向螺纹进给机构的滑座上固定有y向螺纹进给机构的支撑座，y向螺纹进给机构的滑座位于x向螺纹进给机构的滑座上，且x向螺纹进给机构的滑座与y向螺纹进给机构的滑座设置有与穿孔正对的通孔，y向螺纹进给机构的滑座上固定有z向螺纹进给机构的支撑座，所述z向螺纹进给机构的滑座在所述通孔内上下滑动。本发明结构简单，且能准确测试不同的气室和集成模块。
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公开(公告)号：CN112781636B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN202011598173.X
申请日：2020-12-29
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01D11/24
摘要： 本发明涉及一种螺旋式通风防辐射罩，属于气象监测设备领域。包括多个层叠设置的螺旋环状的防辐射片，相邻防辐射片之间存在间隙，形成螺旋通风道；防辐射片的下边缘向外扩大，形成倾斜面。既可以采用单螺旋结构，也可以通过在防辐射片内部嵌设导流套，形成双螺旋甚至多螺旋结构；并且，导流套的导向面可以设计成螺旋向上导流，也可以设计成螺旋向下导流。该螺旋式通风防辐射罩相较于传统自然防辐射罩，通风性能强、防辐射效果好；相较于强制通风防辐射罩，体积小、功耗低、易于维护。
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公开(公告)号：CN112781636A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202011598173.X
申请日：2020-12-29
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01D11/24
摘要： 本发明涉及一种螺旋式通风防辐射罩，属于气象监测设备领域。包括多个层叠设置的螺旋环状的防辐射片，相邻防辐射片之间存在间隙，形成螺旋通风道；防辐射片的下边缘向外扩大，形成倾斜面。既可以采用单螺旋结构，也可以通过在防辐射片内部嵌设导流套，形成双螺旋甚至多螺旋结构；并且，导流套的导向面可以设计成螺旋向上导流，也可以设计成螺旋向下导流。该螺旋式通风防辐射罩相较于传统自然防辐射罩，通风性能强、防辐射效果好；相较于强制通风防辐射罩，体积小、功耗低、易于维护。
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公开(公告)号：CN107328739B
公开(公告)日：2019-11-26
申请号：CN201710540684.8
申请日：2017-07-05
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01N21/39 , G01N21/3504
摘要： 本发明公开了一种全集成式红外气体传感器，包括：气孔层、光腔层、电路层及发光二极管，所述气孔层上设置有若干气孔，所述光腔层上设置有若干微型槽及红外光源入射窗口，所述发光二极管设置于电路层上，所述气孔层与光腔层相连以形成集成气室，所述红外光源入射窗口用于接收由发光二极管所发出的红外激光；所述电路层位于光腔层上背离气孔层的一面，所述电路层用于根据所需发出的特征红外光源波长信息控制发光二极管所发出的红外激光，并将经过被测气体吸收之后的红外激光转换为电信号，所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。本发明还提供了一种上述红外气体传感器的工作方法。
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公开(公告)号：CN114878476A
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202210638471.X
申请日：2022-06-08
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/3504
摘要： 本发明涉及气体传感器技术领域，具体涉及一种微型化传感信号采集处理芯片及其工作方法，所述微型化传感信号采集处理芯片包括高密度基板和封装管壳，高密度基板背面设有BGA植球，高密度基板正面设有辅助元件和核心元件，辅助元件包括电阻和电容，核心元件包括差分器、抗混叠滤波器、模拟/数字转换器、微处理器、存储器和晶振，封装管壳安装在高密度基板正面上方形成密封腔，本发明的芯片实现传感信号的精准分析，从而提高传感器的测量精度，同时，该芯片具有体积小、精度高、方便快捷的使用特点，有利于光声光谱型气体传感器的小型化。
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公开(公告)号：CN108318439A
公开(公告)日：2018-07-24
申请号：CN201810220064.0
申请日：2018-03-16
申请人： 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
IPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/01
摘要： 本发明涉及一种基于椭圆形气室结构的全集成式红外气体传感器，属于气体传感器领域。包括椭圆形集成气室和集成电路模块；所述椭圆形集成气室和集成电路模块通过键合或粘接方式层叠组装；其中，椭圆形集成气室包含气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆；气孔层硅基晶圆和光孔层硅基晶圆通过键合或粘接等方式组合形成气室；红外光由红外光源发出，从集成气室的入光孔进入气室内部，与从气孔进入气室内部的待测气体进行作用，后由出光孔射出且经过滤光片后被红外探测器接收，实现特定气体的不同浓度检测。本发明与S型或蛇形气室结构的红外气体传感器相比，红外光的传输效率更高，探测灵敏度更高。
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公开(公告)号：CN114689513A
公开(公告)日：2022-07-01
申请号：CN202011570165.4
申请日：2020-12-26
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科技集团重庆声光电有限公司
摘要： 本发明涉及光声气体传感器技术领域，具体涉及一种透镜型气体传感器，包括：感测室、激励元件和检测元件，所述感测室为带孔的空腔结构，所述激励元件和所述检测元件设置于感测室内部。所述感测室的结构包含电路层基板和外壳；所述激励元件包含光源、滤光片和凸透镜，所述检测元件采用气体声学探测器件。本发明的微型化光声气体传感器同传统的光声气体传感器相比，灵敏度更高、测量精度更高、分辨力更高。
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公开(公告)号：CN112816419A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110002775.2
申请日：2021-01-04
申请人： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 , 中电科技集团重庆声光电有限公司
IPC分类号： G01N21/17
摘要： 本发明涉及气体传感器技术领域，具体涉及一种谐振型气体传感器，包括：集成光源、光声池、声学探测器、电路层基板，所述电路层基板上设置集成光源和声学探测器，集成光源上设置有滤光片，所述光声池为半封闭腔体，所述光声池与电路层基板的形状结构相适应且共同组合成带孔的封闭腔体，电路层基板上设置的集成光源、光声池、声学探测器包裹于光声池的腔体内；所述光声池包括一个支撑骨架和多个谐振面，支撑骨架和谐振面粘连组合成半封闭腔体，谐振面中至少有一个面较薄，谐振面中的任意一面或多面开设有一个或者多个较小的气孔，气孔外侧设置有防水透气膜或防水透声膜。本发明的谐振型气体传感器灵敏度更高、测量精度更高、分辨力更高。
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