发明授权
- 专利标题: 全集成式红外气体传感器及其工作方法
-
申请号: CN201710540684.8申请日: 2017-07-05
-
公开(公告)号: CN107328739B公开(公告)日: 2019-11-26
- 发明人: 马晋毅 , 杨靖 , 张祖伟 , 袁宇鹏 , 胡少勤 , 马恺祺
- 申请人: 中电科技集团重庆声光电有限公司 , 中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 申请人地址: 重庆市沙坪坝区西永镇微电园西永路367号
- 专利权人: 中电科技集团重庆声光电有限公司,中国电子科技集团公司第二十六研究所
- 当前专利权人: 中电科芯片技术(集团)有限公司
- 当前专利权人地址: 401332 重庆市沙坪坝区西永大道23号
- 代理机构: 重庆乐泰知识产权代理事务所
- 代理商 刘佳
- 主分类号: G01N21/39
- IPC分类号: G01N21/39 ; G01N21/3504
摘要:
本发明公开了一种全集成式红外气体传感器,包括:气孔层、光腔层、电路层及发光二极管,所述气孔层上设置有若干气孔,所述光腔层上设置有若干微型槽及红外光源入射窗口,所述发光二极管设置于电路层上,所述气孔层与光腔层相连以形成集成气室,所述红外光源入射窗口用于接收由发光二极管所发出的红外激光;所述电路层位于光腔层上背离气孔层的一面,所述电路层用于根据所需发出的特征红外光源波长信息控制发光二极管所发出的红外激光,并将经过被测气体吸收之后的红外激光转换为电信号,所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。本发明还提供了一种上述红外气体传感器的工作方法。
公开/授权文献
- CN107328739A 全集成式红外气体传感器及其工作方法 公开/授权日:2017-11-07
IPC分类: