全集成式红外气体传感器及其工作方法
摘要:
本发明公开了一种全集成式红外气体传感器,包括:气孔层、光腔层、电路层及发光二极管,所述气孔层上设置有若干气孔,所述光腔层上设置有若干微型槽及红外光源入射窗口,所述发光二极管设置于电路层上,所述气孔层与光腔层相连以形成集成气室,所述红外光源入射窗口用于接收由发光二极管所发出的红外激光;所述电路层位于光腔层上背离气孔层的一面,所述电路层用于根据所需发出的特征红外光源波长信息控制发光二极管所发出的红外激光,并将经过被测气体吸收之后的红外激光转换为电信号,所述电路层还用于对转换后的电信号进行计算处理以获得被测气体的浓度值。本发明还提供了一种上述红外气体传感器的工作方法。
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