一种透镜型气体传感器
摘要:
本发明涉及光声气体传感器技术领域,具体涉及一种透镜型气体传感器,包括:感测室、激励元件和检测元件,所述感测室为带孔的空腔结构,所述激励元件和所述检测元件设置于感测室内部。所述感测室的结构包含电路层基板和外壳;所述激励元件包含光源、滤光片和凸透镜,所述检测元件采用气体声学探测器件。本发明的微型化光声气体传感器同传统的光声气体传感器相比,灵敏度更高、测量精度更高、分辨力更高。
0/0