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公开(公告)号：CN114910828B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202210527311.8
申请日：2022-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种判断量子级联激光器快速退火效果的方法，采用示波器测量量子级联激光器在脉冲工作模式下的电压波形，通过调整电流脉冲宽度，获得不同电流脉冲宽度下的电压波形，根据电压波形前端是否出现明显尖峰，从而判断量子级联激光器快速退火效果，即金属电极是否达到良好的欧姆接触；本发明克服了依据电流‑电压关系曲线判断量子级联激光器金属电极快速退火是否达到欧姆接触比较复杂的问题，具有简单、方便、快捷等优点，同时，也可以推广到其它半导体激光器、光电传感器金属电极快速退火效果的判断。
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公开(公告)号：CN115684274A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211422202.6
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种具备防尘、加热功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个第一通孔；加热组件，其设置在所述微纳防尘罩上，且所述加热组件与所述钯镍合金薄膜相对应。本发明，通过微纳防尘罩实现对钯镍合金薄膜的防尘封装，并在微纳防尘罩上集成设置加热组件，实现对氢气传感器均匀加热、微米量级防尘的同时大幅缩减封装体积，具有提升防尘效果、保障加热效果、减小封装体积的有益效果。
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公开(公告)号：CN114062447A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111442683.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明公开了一种应用于低湿度环境的超薄湿敏传感器，所述超薄湿敏传感器的结构从下至上包括：厚度100μm左右的石英衬底；设置在石英衬底一侧的感湿膜层；设置在石英衬底上并与感湿膜层相邻接的转换电路芯片倒装区；用于与外部控制电路板连接的软导线；其中，所述软导线在与感湿膜层、转换电路芯片倒装区相配合的位置上设置有开口；所述石英衬底上设置有与感湿膜层相配合的叉指电极，所述叉指电极、转换电路芯片、软导线通过刻蚀在石英衬底上的连接电路实现连接。本发明提供一种检测低湿度环境的湿敏传感器，可以对无法进入人或者设备的狭小空间内的低湿度环境变化进行检测，适应性更好。
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公开(公告)号：CN108507970A
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201810570340.6
申请日：2018-06-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/3581 , G01N21/37
Abstract: 本发明提供一种太赫兹测试样品装置，涉及测试样品装置技术领域。太赫兹测试样品装置包括：第一半椭球罩，第一半椭球罩具有第一开口和第二开口，第一开口用于与太赫兹发射装置连接。第二半椭球罩，第二半椭球罩在长轴方向具有第三开口，在第三开口附近还具有第一孔洞和第二孔洞，第三开口与第二开口可拆卸连接，第二半椭球罩与第一半椭球罩的内表面均有镀金层。样品盛放装置，样品盛放装置设置于第二半椭球罩的第一孔洞所在处的内侧。进气装置，进气装置设置于第二半椭球罩的第二孔洞所在处的外侧且进气时的气体流向朝向样品所在处。太赫兹测试样品装置结构简单，功能易行，使得样品对太赫兹的吸收更为全面，提高测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN106011775B
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：CN201610503165.X
申请日：2016-06-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种超薄自支撑聚合物薄膜的制备方法，利用激光诱导化学气相沉积方式，实现聚合物薄膜单分子层生长，并通过脱膜技术获得超薄自支撑薄膜。该方法通过脉冲进气和气体流量、压力的精确控制，实现了聚合物单体的分子流方式进入真空腔体，当基片上涂覆一个单分子层的聚合物分子单体时，一束低能量密度的激光诱导聚合物单体发生聚合，实现聚合物单体分子层内的聚合生长。该方法通过在衬底上制备脱膜层和去除脱膜层的方法获得自支撑的聚合物薄膜，较好的解决了超薄的聚合物薄膜难以支撑的问题，采用该方法可获得厚度为10nm，支撑在3mm圆孔上的聚合物薄膜，且原料浪费少，成品率高，实用性强，是一种较好的获得超薄自支撑聚合物薄膜的方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118963064B
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411440930.9
申请日：2024-10-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种大厚度光刻胶微结构的制备方法，包括：对基底进行无水乙醇超声清洗、纯水冲洗、高纯氮气吹干，在基底上采用磁控溅射法镀金属种子层，并采用六甲基二硅氮烷（HDMS）进行表面预处理；将干膜光刻胶在常温静置后预热处理，再对表面进行氩等离子体处理，采用真空吸附将基底固定在底板上，用滚轮贴覆干膜光刻胶，重复贴覆多次；贴覆后完成干膜光刻胶曝光、显影，然后清洗、后烘，最后得到光刻胶微结构。本发明采用干膜光刻胶多层贴覆；采用滚轮对单层干膜光刻胶热处理，可使膜层贴附平整并释放内应力；在每层干膜光刻胶贴覆之前，采用氩等离子体对干膜光刻胶表面预处理，以增强膜层之间的结合力，进一步提高成型质量。
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公开(公告)号：CN108507970B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN201810570340.6
申请日：2018-06-05
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N21/3581 , G01N21/37
Abstract: 本发明提供一种太赫兹测试样品装置，涉及测试样品装置技术领域。太赫兹测试样品装置包括：第一半椭球罩，第一半椭球罩具有第一开口和第二开口，第一开口用于与太赫兹发射装置连接。第二半椭球罩，第二半椭球罩在长轴方向具有第三开口，在第三开口附近还具有第一孔洞和第二孔洞，第三开口与第二开口可拆卸连接，第二半椭球罩与第一半椭球罩的内表面均有镀金层。样品盛放装置，样品盛放装置设置于第二半椭球罩的第一孔洞所在处的内侧。进气装置，进气装置设置于第二半椭球罩的第二孔洞所在处的外侧且进气时的气体流向朝向样品所在处。太赫兹测试样品装置结构简单，功能易行，使得样品对太赫兹的吸收更为全面，提高测量结果的准确性。
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公开(公告)号：CN115684275A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211424769.7
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种具备防尘功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个小通孔。本发明，将防尘罩尺寸缩小，同时通过在防尘罩上加工特殊结构可完全防止尺寸在数十微米量级上灰尘颗粒沾污，在大幅缩减封装体积的同时确保器件性能不受影响，具有保障响应速度、保障探测精度、延长使用寿命的有益效果。
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公开(公告)号：CN108490031A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810285921.5
申请日：2018-04-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明提供了一种柔性气体传感器封装结构及其封装方法。柔性气体传感器封装结构，包括柔性基体和气体传感器。柔性基体包括相互连接的封装部和带状连接部；封装部设置有电极和第一引线，第一引线由封装部延伸至带状连接部，第一引线的位于封装部的一端与电极电性连接；电极凸出于柔性基体的表面且与第一引线电性连接。气体传感器安装于封装部且与电极电性连接。柔性气体传感器封装结构的封装部整体上是硬质的，而带状连接部是可弯曲变形的。这种柔性气体传感器封装结构可以在极狭小、复杂空间环境中使用。进一步地，气体传感器倒置安装在柔性基体上时，使得气体传感器的非气敏区域没有暴露在环境中，稳定性更高。
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公开(公告)号：CN106298577A
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201610906199.3
申请日：2016-10-18
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Inventor： 沈昌乐 , 蒋涛 , 王雪敏 , 吴卫东 , 黎维华 , 李佳 , 杨奇 , 湛治强 , 彭丽萍 , 王新明 , 樊龙 , 邓青华 , 赵妍 , 张颖娟 , 阎大伟 , 肖婷婷 , 孙亮
Abstract: 一种单晶薄膜沉积速率在线测定的方法及应用，属于薄膜材料领域。该方法在缓冲层生长完成后，用主挡板隔绝III族元素束源炉和衬底，既给了缓冲层充分的稳定时间，又保持III族元素束源炉始终处于开启状态，维持其内外温度的稳定，从而有效避免了过冲效应带来的测定误差，以获得更高的测定精度。本发明还提供一种上述方法在单晶薄膜沉积工艺中的应用，其采用上述的单晶薄膜沉积速率在线测定的方法对薄膜生长速率进行精确测定，并以此为依据调整薄膜生长相关的仪器参数，让薄膜在最适生长速度下生长，从而优化薄膜产品质量。
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