公开(公告)号：CN113932843A

公开(公告)日：2022-01-14

申请号：CN202111445202.3

申请日：2021-11-30

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 杨奇 ,  邹蕊矫 ,  舒琳 ,  罗跃川 ,  李恪宇 ,  蒋涛 ,  阎大伟 ,  王雪敏 ,  彭丽萍 ,  吴卫东

IPC分类号： G01D18/00 ,  G05D27/02

摘要： 本发明公开了一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，包括：测试腔，其内设置有放置待测传感器样品的平台；设置在与测试腔上方的盖体，其在与平台相配合的位置上设置有透明窗口；设置在平台下方的第一加热机构；设置在测试腔内以获取对应湿度、温度、压力相关参数的传感器组；与传感器组通信连接的控制器；与测试腔相配合的真空泵；与测试腔相配合的加湿器、机械泵、空气压缩机。本发明提供一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，提供多个环境场景的在线检测需要，保证检测信号的稳定性和可靠性。

公开(公告)号：CN106298577B

公开(公告)日：2019-03-12

申请号：CN201610906199.3

申请日：2016-10-18

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 沈昌乐 ,  蒋涛 ,  王雪敏 ,  吴卫东 ,  黎维华 ,  李佳 ,  杨奇 ,  湛治强 ,  彭丽萍 ,  王新明 ,  樊龙 ,  邓青华 ,  赵妍 ,  张颖娟 ,  阎大伟 ,  肖婷婷 ,  孙亮

IPC分类号： H01L21/66 ,  H01L21/02

摘要： 一种单晶薄膜沉积速率在线测定的方法及应用，属于薄膜材料领域。该方法在缓冲层生长完成后，用主挡板隔绝III族元素束源炉和衬底，既给了缓冲层充分的稳定时间，又保持III族元素束源炉始终处于开启状态，维持其内外温度的稳定，从而有效避免了过冲效应带来的测定误差，以获得更高的测定精度。本发明还提供一种上述方法在单晶薄膜沉积工艺中的应用，其采用上述的单晶薄膜沉积速率在线测定的方法对薄膜生长速率进行精确测定，并以此为依据调整薄膜生长相关的仪器参数，让薄膜在最适生长速度下生长，从而优化薄膜产品质量。

公开(公告)号：CN114910828B

公开(公告)日：2024-08-16

申请号：CN202210527311.8

申请日：2022-05-16

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 王雪敏 ,  杨奇 ,  湛治强 ,  蒋涛 ,  邹蕊娇 ,  陈风伟 ,  舒琳 ,  阎大伟 ,  彭丽萍 ,  樊龙 ,  张继成 ,  罗跃川 ,  吴卫东

IPC分类号： G01R31/66 ,  G01R19/04 ,  C23C14/14 ,  C23C14/30 ,  C23C14/58 ,  H01S5/042 ,  H01S5/34 ,  H01S5/343

摘要： 本发明公开了一种判断量子级联激光器快速退火效果的方法，采用示波器测量量子级联激光器在脉冲工作模式下的电压波形，通过调整电流脉冲宽度，获得不同电流脉冲宽度下的电压波形，根据电压波形前端是否出现明显尖峰，从而判断量子级联激光器快速退火效果，即金属电极是否达到良好的欧姆接触；本发明克服了依据电流‑电压关系曲线判断量子级联激光器金属电极快速退火是否达到欧姆接触比较复杂的问题，具有简单、方便、快捷等优点，同时，也可以推广到其它半导体激光器、光电传感器金属电极快速退火效果的判断。

公开(公告)号：CN115684274A

公开(公告)日：2023-02-03

申请号：CN202211422202.6

申请日：2022-11-14

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 舒琳 ,  阎大伟 ,  张继成 ,  罗跃川 ,  彭丽萍 ,  湛治强 ,  吴卫东 ,  樊龙 ,  蒋涛 ,  王雪敏 ,  杨奇 ,  李恪宇 ,  陈风伟

IPC分类号： G01N27/00 ,  H05K5/02 ,  C23C14/30 ,  C23C14/18 ,  H05B3/20

摘要： 本发明公开了一种具备防尘、加热功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个第一通孔；加热组件，其设置在所述微纳防尘罩上，且所述加热组件与所述钯镍合金薄膜相对应。本发明，通过微纳防尘罩实现对钯镍合金薄膜的防尘封装，并在微纳防尘罩上集成设置加热组件，实现对氢气传感器均匀加热、微米量级防尘的同时大幅缩减封装体积，具有提升防尘效果、保障加热效果、减小封装体积的有益效果。

公开(公告)号：CN114062447A

公开(公告)日：2022-02-18

申请号：CN202111442683.2

申请日：2021-11-30

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 杨奇 ,  邹蕊矫 ,  罗跃川 ,  舒琳 ,  李恪宇 ,  蒋涛 ,  阎大伟 ,  王雪敏 ,  彭丽萍 ,  吴卫东

IPC分类号： G01N27/22

摘要： 本发明公开了一种应用于低湿度环境的超薄湿敏传感器，所述超薄湿敏传感器的结构从下至上包括：厚度100μm左右的石英衬底；设置在石英衬底一侧的感湿膜层；设置在石英衬底上并与感湿膜层相邻接的转换电路芯片倒装区；用于与外部控制电路板连接的软导线；其中，所述软导线在与感湿膜层、转换电路芯片倒装区相配合的位置上设置有开口；所述石英衬底上设置有与感湿膜层相配合的叉指电极，所述叉指电极、转换电路芯片、软导线通过刻蚀在石英衬底上的连接电路实现连接。本发明提供一种检测低湿度环境的湿敏传感器，可以对无法进入人或者设备的狭小空间内的低湿度环境变化进行检测，适应性更好。

公开(公告)号：CN113739949A

公开(公告)日：2021-12-03

申请号：CN202111039736.6

申请日：2021-09-06

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 王雪敏 ,  蒋涛 ,  湛治强 ,  张继成 ,  杨奇 ,  陈风伟 ,  邹蕊矫 ,  吴卫东 ,  李佳 ,  彭丽萍

IPC分类号： G01K7/16

摘要： 本发明公开了一种基于多层量子阱结构的深低温温度传感器及其制备方法，包括：由下至上依次设置的传热层，衬底层，带有下电极的缓冲层，由多个量子阱周期组成的温敏层，带有上电极的接触层；每个所述量子阱周期由多层不同厚度的Al0.15Ga0.85As和GaAs交替组成。本发明提供一种基于GaAs材料体系的多层量子阱结构，在深低温环境下对电子在多层量子阱结构中的输运过程进行精确控制，从而显著提高本装置在各个低温区间的相对灵敏度；同时能够依据不同低温温度区间的高精度温度测量需要，对量子阱的多层结构进行灵活的生长裁剪，实现对不同低温区间的高精度温度测量。

公开(公告)号：CN113873738B

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202111128002.5

申请日：2021-09-26

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 彭丽萍 ,  李朝阳 ,  杨奇 ,  樊龙 ,  罗跃川 ,  舒琳 ,  湛治强 ,  蒋涛 ,  王雪敏

IPC分类号： H05G2/00 ,  C23C14/35 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16 ,  C23C14/28 ,  C23C14/58

摘要： 本发明公开了一种自支撑碳基电容器靶及其制备方法，包括：利用直流磁控溅射技术在硅基底上制备Cr膜，再制备铜膜作为牺牲层，以此为衬底，制备微米厚度的α‑C膜，利用光刻工艺、射频磁控溅射工艺、氧等离子体刻蚀工艺、湿法刻蚀工艺制备具有表面结构的α‑C膜；利用脉冲激光沉积技术在抛光铜箔上制备DLC膜；将DLC膜的抛光铜箔熔去，并在去离子水中清洗多次；用有表面结构的α‑C膜去捞漂浮在水面的DLC膜，然后溶解铜膜，得到碳基双层膜；把碳基双层膜在去离子水中清洗多次，用带圆孔的靶架捞出碳基双层膜，自然挥发干，得到自支撑碳基电容器靶。本发明能有效地实现自支撑碳基双层结构(56)对比文件US 2007054125 A1,2007.03.08US 2018312959 A1,2018.11.01US 5246884 A,1993.09.21US H1924 H,2000.12.05WO 2014019387 A1,2014.02.06US 2008286541 A1,2008.11.20DE 102017121684 A1,2019.03.21US 2012308810 A1,2012.12.06US 5225926 A,1993.07.06祝娇;符合振;林晨;高原;赵栓;朱昆;陆元荣;陈佳洱;颜学庆.激光加速实验超薄类金刚石碳靶的制备.强激光与粒子束.2013,(第07期),第1723-1726页.蒲吉斌 等.多尺度强韧化碳基润滑薄膜的研究进展.中国表面工程.2014,第27卷(第6期),第4-27页.

公开(公告)号：CN115951537A

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202211505305.9

申请日：2022-11-28

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 孙来喜 ,  王方 ,  杨奇 ,  邹蕊矫 ,  郑天然 ,  陈桥 ,  刘红婕 ,  袁强

IPC分类号： G02F1/29 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1337 ,  G03F7/20 ,  C23C14/35

摘要： 本发明提供一种耐受激光功率的液晶光学相控阵器件及其制备方法。本发明液晶光学相控阵器件，自下至上依次包括：基底、阵列电极层、取向层、液晶层、取向层、导电层、基底；所述阵列电极层的每个电极上以及导电层上设置有亚波长阵列孔结构。本发明巧妙绕开了常规的技术思路，通过在导电层薄膜表面制备亚激光波长的增透阵列结构，实现需求激光波段的高透过性能，从而弥补当前液晶相控阵光束偏转器件在耐受激光功率方面的技术短板。该技术途径不仅可以有效降低激光能量在器件内部形成的热累积，又极大程度地提高了光能利用率，进而提升整个器件的功能性水平。

公开(公告)号：CN113932843B

公开(公告)日：2024-06-07

申请号：CN202111445202.3

申请日：2021-11-30

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 杨奇 ,  邹蕊矫 ,  舒琳 ,  罗跃川 ,  李恪宇 ,  蒋涛 ,  阎大伟 ,  王雪敏 ,  彭丽萍 ,  吴卫东

IPC分类号： G01D18/00 ,  G05D27/02

摘要： 本发明公开了一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，包括：测试腔，其内设置有放置待测传感器样品的平台；设置在与测试腔上方的盖体，其在与平台相配合的位置上设置有透明窗口；设置在平台下方的第一加热机构；设置在测试腔内以获取对应湿度、温度、压力相关参数的传感器组；与传感器组通信连接的控制器；与测试腔相配合的真空泵；与测试腔相配合的加湿器、机械泵、空气压缩机。本发明提供一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，提供多个环境场景的在线检测需要，保证检测信号的稳定性和可靠性。

公开(公告)号：CN114062447B

公开(公告)日：2023-08-18

申请号：CN202111442683.2

申请日：2021-11-30

申请人： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

发明人： 杨奇 ,  邹蕊矫 ,  罗跃川 ,  舒琳 ,  李恪宇 ,  蒋涛 ,  阎大伟 ,  王雪敏 ,  彭丽萍 ,  吴卫东

IPC分类号： G01N27/22

摘要： 本发明公开了一种应用于低湿度环境的超薄湿敏传感器，所述超薄湿敏传感器的结构从下至上包括：厚度100μm左右的石英衬底；设置在石英衬底一侧的感湿膜层；设置在石英衬底上并与感湿膜层相邻接的转换电路芯片倒装区；用于与外部控制电路板连接的软导线；其中，所述软导线在与感湿膜层、转换电路芯片倒装区相配合的位置上设置有开口；所述石英衬底上设置有与感湿膜层相配合的叉指电极，所述叉指电极、转换电路芯片、软导线通过刻蚀在石英衬底上的连接电路实现连接。本发明提供一种检测低湿度环境的湿敏传感器，可以对无法进入人或者设备的狭小空间内的低湿度环境变化进行检测，适应性更好。