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公开(公告)号：CN114910828B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202210527311.8
申请日：2022-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种判断量子级联激光器快速退火效果的方法，采用示波器测量量子级联激光器在脉冲工作模式下的电压波形，通过调整电流脉冲宽度，获得不同电流脉冲宽度下的电压波形，根据电压波形前端是否出现明显尖峰，从而判断量子级联激光器快速退火效果，即金属电极是否达到良好的欧姆接触；本发明克服了依据电流‑电压关系曲线判断量子级联激光器金属电极快速退火是否达到欧姆接触比较复杂的问题，具有简单、方便、快捷等优点，同时，也可以推广到其它半导体激光器、光电传感器金属电极快速退火效果的判断。
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公开(公告)号：CN115684274A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211422202.6
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种具备防尘、加热功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个第一通孔；加热组件，其设置在所述微纳防尘罩上，且所述加热组件与所述钯镍合金薄膜相对应。本发明，通过微纳防尘罩实现对钯镍合金薄膜的防尘封装，并在微纳防尘罩上集成设置加热组件，实现对氢气传感器均匀加热、微米量级防尘的同时大幅缩减封装体积，具有提升防尘效果、保障加热效果、减小封装体积的有益效果。
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公开(公告)号：CN114062447A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202111442683.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明公开了一种应用于低湿度环境的超薄湿敏传感器，所述超薄湿敏传感器的结构从下至上包括：厚度100μm左右的石英衬底；设置在石英衬底一侧的感湿膜层；设置在石英衬底上并与感湿膜层相邻接的转换电路芯片倒装区；用于与外部控制电路板连接的软导线；其中，所述软导线在与感湿膜层、转换电路芯片倒装区相配合的位置上设置有开口；所述石英衬底上设置有与感湿膜层相配合的叉指电极，所述叉指电极、转换电路芯片、软导线通过刻蚀在石英衬底上的连接电路实现连接。本发明提供一种检测低湿度环境的湿敏传感器，可以对无法进入人或者设备的狭小空间内的低湿度环境变化进行检测，适应性更好。
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公开(公告)号：CN115684275A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211424769.7
申请日：2022-11-14
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种具备防尘功能的氢气传感器，包括衬底，以及设置在所述衬底上的钯镍合金薄膜，且所述衬底上设置有用于连接钯镍合金薄膜的两个第一引线电极，微纳防尘罩，其与所述衬底键合形成腔室，所述钯镍合金薄膜位于所述腔室内，且所述微纳防尘罩对应所述衬底垂直开设有微米级的多个小通孔。本发明，将防尘罩尺寸缩小，同时通过在防尘罩上加工特殊结构可完全防止尺寸在数十微米量级上灰尘颗粒沾污，在大幅缩减封装体积的同时确保器件性能不受影响，具有保障响应速度、保障探测精度、延长使用寿命的有益效果。
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公开(公告)号：CN108490031A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810285921.5
申请日：2018-04-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明提供了一种柔性气体传感器封装结构及其封装方法。柔性气体传感器封装结构，包括柔性基体和气体传感器。柔性基体包括相互连接的封装部和带状连接部；封装部设置有电极和第一引线，第一引线由封装部延伸至带状连接部，第一引线的位于封装部的一端与电极电性连接；电极凸出于柔性基体的表面且与第一引线电性连接。气体传感器安装于封装部且与电极电性连接。柔性气体传感器封装结构的封装部整体上是硬质的，而带状连接部是可弯曲变形的。这种柔性气体传感器封装结构可以在极狭小、复杂空间环境中使用。进一步地，气体传感器倒置安装在柔性基体上时，使得气体传感器的非气敏区域没有暴露在环境中，稳定性更高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113932843B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202111445202.3
申请日：2021-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，包括：测试腔，其内设置有放置待测传感器样品的平台；设置在与测试腔上方的盖体，其在与平台相配合的位置上设置有透明窗口；设置在平台下方的第一加热机构；设置在测试腔内以获取对应湿度、温度、压力相关参数的传感器组；与传感器组通信连接的控制器；与测试腔相配合的真空泵；与测试腔相配合的加湿器、机械泵、空气压缩机。本发明提供一种对温湿度及压力进行控制的传感器测试腔体及应用方法，提供多个环境场景的在线检测需要，保证检测信号的稳定性和可靠性。
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公开(公告)号：CN108490031B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN201810285921.5
申请日：2018-04-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/00
Abstract: 本发明提供了一种柔性气体传感器封装结构及其封装方法。柔性气体传感器封装结构，包括柔性基体和气体传感器。柔性基体包括相互连接的封装部和带状连接部；封装部设置有电极和第一引线，第一引线由封装部延伸至带状连接部，第一引线的位于封装部的一端与电极电性连接；电极凸出于柔性基体的表面且与第一引线电性连接。气体传感器安装于封装部且与电极电性连接。柔性气体传感器封装结构的封装部整体上是硬质的，而带状连接部是可弯曲变形的。这种柔性气体传感器封装结构可以在极狭小、复杂空间环境中使用。进一步地，气体传感器倒置安装在柔性基体上时，使得气体传感器的非气敏区域没有暴露在环境中，稳定性更高。
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公开(公告)号：CN117447736A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311391882.4
申请日：2023-10-25
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种有机湿敏薄膜及其在湿度传感器的应用，包括：以四羧酸二酐与芳香二胺为原料，在高沸点极性溶剂中进行缩合反应，生成聚酰胺酸溶液；将合成的聚酰胺酸溶液以旋涂的方式在衬底上原位形成均匀的聚酰胺酸薄膜；将旋涂成型的聚酰胺酸薄膜置于真空烘箱中，在程序控温条件下将聚酰胺酸脱水环化生成聚酰亚胺，最终获得聚酰亚胺湿敏薄膜。本发明的有机湿敏薄膜应用于湿度传感器中的湿度测量元件，并且提高了湿度传感器的灵敏度和精度。
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公开(公告)号：CN114062447B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202111442683.2
申请日：2021-11-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01N27/22
Abstract: 本发明公开了一种应用于低湿度环境的超薄湿敏传感器，所述超薄湿敏传感器的结构从下至上包括：厚度100μm左右的石英衬底；设置在石英衬底一侧的感湿膜层；设置在石英衬底上并与感湿膜层相邻接的转换电路芯片倒装区；用于与外部控制电路板连接的软导线；其中，所述软导线在与感湿膜层、转换电路芯片倒装区相配合的位置上设置有开口；所述石英衬底上设置有与感湿膜层相配合的叉指电极，所述叉指电极、转换电路芯片、软导线通过刻蚀在石英衬底上的连接电路实现连接。本发明提供一种检测低湿度环境的湿敏传感器，可以对无法进入人或者设备的狭小空间内的低湿度环境变化进行检测，适应性更好。
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公开(公告)号：CN114910828A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202210527311.8
申请日：2022-05-16
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种判断量子级联激光器快速退火效果的方法，采用示波器测量量子级联激光器在脉冲工作模式下的电压波形，通过调整电流脉冲宽度，获得不同电流脉冲宽度下的电压波形，根据电压波形前端是否出现明显尖峰，从而判断量子级联激光器快速退火效果，即金属电极是否达到良好的欧姆接触；本发明克服了依据电流‑电压关系曲线判断量子级联激光器金属电极快速退火是否达到欧姆接触比较复杂的问题，具有简单、方便、快捷等优点，同时，也可以推广到其它半导体激光器、光电传感器金属电极快速退火效果的判断。
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