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公开(公告)号：CN101927231B
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201010212346.X
申请日：2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊(14)的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫(20)的粗清洗处理部(18)、具有双流体喷嘴(42)的精清洗处理部(38)、具有擦拭垫(52)的液滴去除部(48)、和包括间隙(58)以及气体喷嘴(60)的干燥送风部(50)。利用清洗垫移动机构(24)以及擦拭垫移动机构(56)在清洗垫(20)以及擦拭垫(52)与启动加注辊(14)的外周面接触的第1位置、和清洗垫(20)以及擦拭垫(52)自启动加注辊(14)退避的第2位置之间切换清洗垫(20)以及擦拭垫(52)的位置。
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公开(公告)号：CN1505099A
公开(公告)日：2004-06-16
申请号：CN200310119537.1
申请日：2003-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 山崎刚
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置以及清洗方法，通过旋转杯以规定的旋转速度旋转，储存在储存槽中的清洗液在离心力的作用下向外侧流动，通过该流动的力，清洗液从孔中向上方喷出而飞散。由于孔是倾斜地形成的，所以清洗液的喷出方向为该倾斜的方向。因此，清洗液能够遍及到盖体上基板外侧附近的区域(符号M所示的虚线右侧的区域)。
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公开(公告)号：CN103466956B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201310376565.5
申请日：2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
IPC: C03C17/00
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊（14）的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫（20）的粗清洗处理部（18）、具有双流体喷嘴（42）的精清洗处理部（38）、具有擦拭垫（52）的液滴去除部（48）、和包括间隙（58）以及气体喷嘴（60）的干燥送风部（50）。利用清洗垫移动机构（24）以及擦拭垫移动机构（56）在清洗垫（20）以及擦拭垫（52）与启动加注辊（14）的外周面接触的第1位置、和清洗垫（20）以及擦拭垫（52）自启动加注辊（14）退避的第2位置之间切换清洗垫（20）以及擦拭垫（52）的位置。
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公开(公告)号：CN101927231A
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：CN201010212346.X
申请日：2010-06-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 平田机工株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够更大程度地减少在启动加注处理中使用的清洗液、缩短干燥处理时间以及延长清洗处理用工具和/或干燥处理用工具的使用寿命的启动加注处理方法以及启动加注处理装置。该启动加注处理装置在启动加注辊(14)的周围沿旋转方向配置有具有清洗垫(20)的粗清洗处理部(18)、具有双流体喷嘴(42)的精清洗处理部(38)、具有擦拭垫(52)的液滴去除部(48)、和包括间隙(58)以及气体喷嘴(60)的干燥送风部(50)。利用清洗垫移动机构(24)以及擦拭垫移动机构(56)在清洗垫(20)以及擦拭垫(52)与启动加注辊(14)的外周面接触的第1位置、和清洗垫(20)以及擦拭垫(52)自启动加注辊(14)退避的第2位置之间切换清洗垫(20)以及擦拭垫(52)的位置。
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公开(公告)号：CN100594584C
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200710160567.5
申请日：2007-12-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , B65G49/00 , B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种浮起搬送式的基板处理装置。从搬送方向(X方向)看，在台(80)的左右两侧沿搬送方向分别以成一列的方式以一定间距配置有多个滚轮或侧面滚轮(110)。在台(80)上，基板(G)利用从正下方(台上面)的喷出口(100)获得的气体的压力浮在空中，同时其左右两侧端部搭载在台两侧的侧面滚轮(110)的上面。通过侧面滚轮(110)的旋转运动，在台(80)上浮起的基板(G)在侧面滚轮(110)上辗转传送并向搬送方向(X方向)平流移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100557769C
公开(公告)日：2009-11-04
申请号：CN200680005872.0
申请日：2006-02-15
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/027 , H01L21/677 , B65G49/06
CPC classification number: H01L21/67178 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , B65G2249/045 , H01L21/67173 , H01L21/67742 , H01L21/6838
Abstract: 本发明提供一种工作台装置，具有在上方进行基板的输送的工作台、以及、使基板在该工作台上上浮的上浮机构，工作台具有用来喷射使基板(G)上浮的气体的多个气体喷射口(16a)、以及、对从气体喷射口(16a)喷射的气体进行吸引的多个吸气口(16b)，多个气体喷射口(16a)和多个吸气口(16b)各自设置成，在沿着基板输送方向的既定距离内不沿着平行于基板输送方向的直线排列。
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公开(公告)号：CN102358516A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：CN201110164551.8
申请日：2006-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , C03C17/00
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , B65G2249/045
Abstract: 本发明是以矩形基板的一对边实际上与输送方向平行而另一对边实际上与输送方向垂直的方式输送悬浮在载物台上方的矩形基板的载物台装置，载物台，具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于利用吸气吸引矩形基板的多个吸气口，利用基于吸气机构的经由多个吸气口的吸引、和基于气体喷射机构的经由多个气体喷射口的气体喷射，使矩形基板实际上以水平姿势从载物台的表面悬浮一定高度，多个吸气口，为了在载物台上方输送矩形基板时，使吸气口的吸气压力变动在允许范围内，以基板的输送方向前端不会同时覆盖既定数量以上的吸气口，且矩形基板的输送方向后端不会同时敞开既定数量以上的吸气口的状态配置在载物台上。
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公开(公告)号：CN101211756A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200710160567.5
申请日：2007-12-25
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/00 , H01L21/677 , B65G49/00 , B65G49/06
Abstract: 本发明提供一种浮起搬送式的基板处理装置。从搬送方向(X方向)看，在台(80)的左右两侧沿搬送方向分别以成一列的方式以一定间距配置有多个滚轮或侧面滚轮(110)。在台(80)上，基板(G)利用从正下方(台上面)的喷出口(100)获得的气体的压力浮在空中，同时其左右两侧端部搭载在台两侧的侧面滚轮(110)的上面。通过侧面滚轮(110)的旋转运动，在台(80)上浮起的基板(G)在侧面滚轮(110)上辗转传送并向搬送方向(X方向)平流移动。
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公开(公告)号：CN100392799C
公开(公告)日：2008-06-04
申请号：CN200310119537.1
申请日：2003-11-28
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 山崎刚
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置以及清洗方法，通过旋转杯以规定的旋转速度旋转，储存在储存槽中的清洗液在离心力的作用下向外侧流动，通过该流动的力，清洗液从孔中向上方喷出而飞散。由于孔是倾斜地形成的，所以清洗液的喷出方向为该倾斜的方向。因此，清洗液能够遍及到盖体上基板外侧附近的区域(符号M所示的虚线右侧的区域)。
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公开(公告)号：CN101107186A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200680002991.0
申请日：2006-01-19
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: B65G49/06 , H01L21/677 , H01L21/027 , B05C13/02
CPC classification number: H01L21/67784 , B65G49/065 , B65G49/067 , B65G49/068 , B65G2249/02 , B65G2249/04 , B65G2249/045
Abstract: 本发明是以矩形基板的一对边实际上与输送方向平行而另一对边实际上与输送方向垂直的方式输送悬浮在载物台上方的矩形基板的载物台装置，载物台，具有用于喷射气体的多个气体喷射口、和用于利用吸气吸引矩形基板的多个吸气口，利用基于吸气机构的经由多个吸气口的吸引、和基于气体喷射机构的经由多个气体喷射口的气体喷射，使矩形基板实际上以水平姿势从载物台的表面悬浮一定高度，多个吸气口，为了在载物台上方输送矩形基板时，使吸气口的吸气压力变动在允许范围内，以基板的输送方向前端不会同时覆盖既定数量以上的吸气口，且矩形基板的输送方向后端不会同时敞开既定数量以上的吸气口的状态配置在载物台上。
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