-
公开(公告)号：CN102169296A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110033927.1
申请日：2011-01-31
申请人： 东京应化工业株式会社
CPC分类号： H01L21/31133 , C11D7/06 , C11D7/3209 , C11D7/5022 , C11D11/0047 , G03F7/425 , G03F7/426 , H01L21/02063 , H01L21/76814
摘要： 本发明提供一种光刻用洗涤液、以及一种使用该光刻用洗涤液的配线形成方法，该光刻用洗涤液对ILD材料的防腐效果优异，并且对光刻胶膜以及下层防反射膜的除去性能优异。本发明的光刻用洗涤液含有季铵氢氧化物、水溶性有机溶剂、水、和无机碱。水溶性有机溶剂含有偶极矩为3.0D以上的高极性溶剂、乙二醇醚类溶剂、和多元醇，相对于总量，上述高极性溶剂和乙二醇醚类溶剂的总含量为30质量％以上。
-
公开(公告)号：CN105308760B
公开(公告)日：2019-06-18
申请号：CN201480031441.6
申请日：2014-05-09
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/0749 , H01L21/02 , H01L31/0392
CPC分类号： H01L31/18 , H01L21/02557 , H01L21/0256 , H01L21/02568 , H01L21/02628 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521
摘要： 一种用于形成太阳能电池的光吸收层的络合物及其溶液的制造方法，所述制造方法包括混合如下物质得到反应液的步骤：选自于由第11族金属、第12族金属、第13族金属、第14族金属、第15族元素、第11族金属化合物、第12族金属化合物、第13族金属化合物、第14族金属化合物和含第15族元素的化合物组成的组中的至少一种单体或化合物；选自于由含巯基的有机化合物、硫化物、多硫化物、含硫代羰基的有机化合物、含硫的杂环式化合物、含硒氢基的有机化合物、硒化物、多硒化物、含硒代羰基的有机化合物和含硒的杂环式化合物组成的组中的至少一种含硫族元素的有机化合物；路易斯碱性无机化合物；和第16族元素。
-
公开(公告)号：CN107078181B
公开(公告)日：2018-11-30
申请号：CN201580053269.9
申请日：2015-10-27
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： H01L31/0749 , H01L31/18 , C01G15/00
CPC分类号： C09D5/32 , C01B19/007 , C01G15/006 , C09D1/00 , C09D5/24 , C09D7/20 , H01L21/02568 , H01L21/02628 , H01L31/022425 , H01L31/0322 , H01L31/0326 , H01L31/0749 , H01L31/18 , H01L31/1864 , Y02E10/541
摘要： 本发明涉及均匀系涂布液，其为用于形成太阳能电池的光吸收层的均匀系涂布液，所述均匀系涂布液含有选自由第11族金属、第13族金属、第11族金属化合物及第13族金属化合物组成的组中的至少1种金属或金属化合物、路易斯碱溶剂及路易斯酸。
-
公开(公告)号：CN102169296B
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：CN201110033927.1
申请日：2011-01-31
申请人： 东京应化工业株式会社
CPC分类号： H01L21/31133 , C11D7/06 , C11D7/3209 , C11D7/5022 , C11D11/0047 , G03F7/425 , G03F7/426 , H01L21/02063 , H01L21/76814
摘要： 本发明提供一种光刻用洗涤液、以及一种使用该光刻用洗涤液的配线形成方法，该光刻用洗涤液对ILD材料的防腐效果优异，并且对光刻胶膜以及下层防反射膜的除去性能优异。本发明的光刻用洗涤液含有季铵氢氧化物、水溶性有机溶剂、水、和无机碱。水溶性有机溶剂含有偶极矩为3.0D以上的高极性溶剂、乙二醇醚类溶剂、和多元醇，相对于总量，上述高极性溶剂和乙二醇醚类溶剂的总含量为30质量％以上。
-
公开(公告)号：CN101093364A
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200710112536.2
申请日：2007-06-20
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： G03F7/42 , G03F7/00 , H01L21/027
摘要： 本发明提供一种抗蚀剂用剥离液，所述抗蚀剂用剥离液不腐蚀基板发生、且能有效地除去光致抗蚀剂膜，所述基板为形成了含有银的金属层的基板以及形成了还含有其他金属的金属层的基板。本发明提供一种光致抗蚀剂用剥离液，所述光致抗蚀剂用剥离液含有0.5质量％以上20质量％以下(A)N，N－二乙基羟基胺、10质量％以上90质量％以下(B)烷醇胺以及10质量％以上90质量％以下(C)水溶性有机溶剂。
-
公开(公告)号：CN107078181A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580053269.9
申请日：2015-10-27
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： H01L31/0749 , H01L31/18 , C01G15/00
CPC分类号： C09D5/32 , C01B19/007 , C01G15/006 , C09D1/00 , C09D5/24 , C09D7/20 , H01L21/02568 , H01L21/02628 , H01L31/022425 , H01L31/0322 , H01L31/0326 , H01L31/0749 , H01L31/18 , H01L31/1864 , Y02E10/541
摘要： 本发明涉及均匀系涂布液，其为用于形成太阳能电池的光吸收层的均匀系涂布液，所述均匀系涂布液含有选自由第11族金属、第13族金属、第11族金属化合物及第13族金属化合物组成的组中的至少1种金属或金属化合物、路易斯碱溶剂及路易斯酸。
-
公开(公告)号：CN105308760A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201480031441.6
申请日：2014-05-09
申请人： 东京应化工业株式会社
IPC分类号： H01L31/0749 , H01L21/368 , H01L31/072 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/18 , H01L21/02557 , H01L21/0256 , H01L21/02568 , H01L21/02628 , H01L31/03923 , H01L31/0749 , Y02E10/541 , Y02P70/521
摘要： 一种用于形成太阳能电池的光吸收层的络合物及其溶液的制造方法，所述制造方法包括混合如下物质得到反应液的步骤：选自于由第11族金属、第12族金属、第13族金属、第14族金属、第15族元素、第11族金属化合物、第12族金属化合物、第13族金属化合物、第14族金属化合物和含第15族元素的化合物组成的组中的至少一种单体或化合物；选自于由含巯基的有机化合物、硫化物、多硫化物、含硫代羰基的有机化合物、含硫的杂环式化合物、含硒氢基的有机化合物、硒化物、多硒化物、含硒代羰基的有机化合物和含硒的杂环式化合物组成的组中的至少一种含硫族元素的有机化合物；路易斯碱性无机化合物；和第16族元素。
-
-
-
-
-
-
搜索结果
7 条记录 (耗时 0.032 秒)
