孔阵列过滤器、粒子排列器件及粒子捕获方法

    公开(公告)号:CN119816353A

    公开(公告)日:2025-04-11

    申请号:CN202380063481.8

    申请日:2023-10-12

    Abstract: 本孔阵列过滤器(1)中,在过滤器主体(2)中形成有多个孔(3),邻接的孔(3)彼此由孔隔壁(6)隔开,在孔底部(4)形成有2个以上的贯通孔(8),贯通孔(8)的开口部最小宽度为1μm以上3.5μm以下,贯通孔的合计开口面积的比率为0.5%以上3.5%以下。设想将各孔底部(4)的所有贯通孔(8)包围的最小外接圆(G1),将其中心移动至多个贯通孔(8)中的任一者的中心的情况下,移动后的最小外接圆(G2)相对于所有多个贯通孔(8)而言至少部分地重叠。

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