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公开(公告)号：CN111806038A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010595654.9
申请日：2020-06-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于大面积修复薄膜转移-加热治愈的微纳米褶皱祛除方法，利用晶圆级修复层薄膜湿法转移技术，将锗层/石墨烯上旋涂得到的均匀大面积PMMA薄膜修复层准确、无损地转移到已有褶皱图案PAN-PDMS双层结构上表面，再结合多步低温加热平坦化工艺充分去除湿法转移过程中在PAN-石墨烯/PMMA-PDMS多层系统的界面处引入的残余液体和空气，使转移的修复层薄膜良好地贴合在已有褶皱表面，并利用不同表面层的褶皱触发临界应变条件不同，进而达到治愈已有褶皱的效果。本发明保证修复层薄膜厚度均匀性且尺度在晶圆级；通过多步低温加热平坦化工艺可以保证充分共型接触和界面结合强度，保证很好的祛皱效果，适用于解决人体皮肤祛皱、扫描电子显微镜表征过程褶皱失真问题和航空航天领域的大型薄膜褶皱消除技术。
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公开(公告)号：CN111497366A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010268544.1
申请日：2020-04-07
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种界面可控型无分层式多层级石墨烯共形褶皱及其制备方法，在以CVD法生长的锗基石墨烯的表面旋涂PMMA层，并将锗片/石墨烯/PMMA复合结构以PMMA面朝上的方式置于容器内，浇入未固化的PDMS混合物进行后固化工艺并形成梯度界面层，再刻蚀锗片，最后将清洗并在空气中充分干燥的样品采用加热和加载机械应力的方法触发多层级石墨烯共形褶皱。本发明通过引入PDMS后固化工艺制备出的多层硬膜-软基系统不同层面之间具有强大的界面强度，并通过加热和机械应力作用下产生高质量的无分层式、多尺度石墨烯共形褶皱图案。运用拉曼光谱检测手段，证实了石墨烯在转移过程中保持高质量的单层。此外，本发明不仅适合石墨烯二维材料，还适用于制备其他二维材料的共形褶皱。
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公开(公告)号：CN119509916A
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411405766.8
申请日：2024-10-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种同轴式自对中可调谐反射光栅衍射性能测试装置，包括：支承装置、用于拉伸柔性光栅样品的拉伸装置、用于同轴改变并测量入射出射角度的旋转装置、用于固定并调整入射激光器的光源装置和用于固定并调整接收屏或相机的位置和朝向的接收装置，其中：旋转装置分别与光源装置和接收装置相连，拉伸装置固定设置于支承装置上，通过调节相对位置达到自对中。本发明结构紧凑、体积适中、操作简单、测试结果精确。利用机械装置对光栅进行固定和拉伸，保证了光栅的可调谐性，旋转轴的设计可以同时改变入射激光、接收装置和光栅之间的夹角，同时装置还可改变入射距离、接收距离和朝向等参数，在实现测试样品位置自对中的同时实现高达六个自由度的实验测试，不同位置的调节设计也让装置具有更强的适应性。
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公开(公告)号：CN117250171A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311235424.1
申请日：2023-09-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种用于光谱法气体检测的机械调谐式柔性光栅分光装置，包括：活动平台和通过弹性件与之相连的柔性光栅，其中：活动平台与丝杆滑台及步进电机相连以实现位移驱动，柔性光栅的两侧分别设有光学出光端口和光学探测端口。本发明通过刚度较低的微型弹簧拉伸强度较高的转印柔性光栅，实现使用机械方法完成对于光的调谐采用机械调谐方法完成对于光栅的调谐，进而实现气体检测的功能，结构简单便捷，且价格低廉。
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公开(公告)号：CN114195143B
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202111354758.1
申请日：2021-11-16
Applicant: 上海交通大学
IPC: B32B9/00
Abstract: 一种单层锗基石墨烯低温后固化转移方法，在通过CVD工艺生长的锗基石墨烯表面旋涂载体材料，并三层复合结构以载体材料面朝上置于容器中，浇入未固化的PDMS与气泡法剥离得到的多层石墨烯(beGr)的混合物进行低温后固化工艺，然后对三层复合结构上的锗片进行刻蚀处理并最后进行触发加热实现三层复合结构的平坦化。本发明利用低温后固化构筑柔性目标基底，将大面积、高质量单层锗基石墨烯有效地转移，构建三层结构体系，既能够保证石墨烯与PMMA界面处、PMMA与PDMS界面处有足够的界面粘附能，也能避免高温后固化工艺引起PMMA与PDMS之间形成梯度界面层，从而构筑石墨烯/PMMA/beGr‑PDMS三层系统，并制备出单一尺度、失稳模式可控的石墨烯共型褶皱图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110780089B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201911097156.5
申请日：2019-11-11
Applicant: 上海交通大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 一种可调灵敏度的弱耦合谐振式微加速度计，包括：第一质量块结构、第二质量块结构和谐振结构，谐振结构分别与第一质量块结构和第二质量块结构相连；所述的谐振结构包括：电压相同的第一敏感谐振器、第二敏感谐振器和耦合谐振器，以及灵敏度调节谐振器。第一质量块结构包括：第一质量块、第一固定锚点和第一弹性梁；第二质量块结构包括：第二质量块、第二固定锚点和第二弹性梁。本发明通过三自由度的弱耦合结构设计和测量振幅比的模态局部化原理大大提高了加速度计的极限灵敏度，并在基础上额外附加了一个谐振器，通过调节该谐振器和另外两个谐振器间的静电耦合负刚度来调节加速度计的灵敏度，将量程扩大了50倍以上，使得本发明能适用于加速度变化范围很大的工作场景。
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公开(公告)号：CN111806038B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202010595654.9
申请日：2020-06-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于大面积修复薄膜转移‑加热治愈的微纳米褶皱祛除方法，利用晶圆级修复层薄膜湿法转移技术，将锗层/石墨烯上旋涂得到的均匀大面积PMMA薄膜修复层准确、无损地转移到已有褶皱图案含蒽共聚物‑PDMS双层结构上表面，再结合多步低温加热平坦化工艺充分去除湿法转移过程中在含蒽共聚物‑石墨烯/PMMA‑PDMS多层系统的界面处引入的残余液体和空气，使转移的修复层薄膜良好地贴合在已有褶皱表面，并利用不同表面层的褶皱触发临界应变条件不同，进而达到治愈已有褶皱的效果。本发明保证修复层薄膜厚度均匀性且尺度在晶圆级；通过多步低温加热平坦化工艺可以保证充分共型接触和界面结合强度，保证很好的祛皱效果，适用于解决人体皮肤祛皱、扫描电子显微镜表征过程褶皱失真问题和航空航天领域的大型薄膜褶皱消除技术。
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公开(公告)号：CN112960643A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110209567.X
申请日：2021-02-25
Applicant: 上海交通大学
IPC: B81C99/00
Abstract: 一种基于光学转角测量装置的MEMS微镜可靠性测试方法，将待测试MEMS微镜置于高低温试验箱中，调整微镜的反射镜面与观察窗平行，测量观察窗与MEMS微镜封装玻璃片的距离，安装光学转角测量装置并打开激光器，使得激光出射点落在准直透镜的焦点上，利用凸透镜光会聚特性减小出射激光束的发散角，通过调节双头反向微调螺杆的旋进旋出程度调整前端机构和后端机构的相对位姿关系使得准直后激光垂直入射观察窗并对准MEMS微镜工作反射镜面，利用光学转角测量装置在光屏坐标纸上读取MEMS微镜的光学扫描长度，通过三角函数关系式计算所测试的MEMS微镜的光学转角。本发明实现便捷，可靠性高，检测机构易于生产加工。
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公开(公告)号：CN117659707A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311773203.X
申请日：2023-12-21
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种纳米管与PDMS复合柔性光响应材料及其制备方法，将碳纳米管滤饼与PDMS主剂充分混合后加入PDMS交联剂进行混合交联反应，将反应产物置于两层柔性薄片之间，经加热固化后得到得到夹层的碳纳米管与PDMS复合材料。本发明流程简单、安全无毒、废料可回收，制备的柔性光响应驱动器在不同的预拉伸量下可以提供不同方向、大小的驱动力；同时具有较好的可重复性，在1000次重复驱动下仍保持相同的响应速度、驱动力大小，无永久形变。
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公开(公告)号：CN117452656A
公开(公告)日：2024-01-26
申请号：CN202311235425.6
申请日：2023-09-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种面向气体检测的长短焦凸透镜式光学扩束准直方法及系统，通过准直镜将光纤中的耦合点光源转化为平行高斯光束后，通过短焦凸透镜将平行高斯光束在焦点处收束至最小截面，再通过长焦凸透镜整理为一束平行度极高的平行光，用于吸收待测气体的光谱；最后采用相同光路将空间光重新耦合回光纤内，实现气体检测。本发明使用准直镜和长短焦扩束准直镜组合以显著提高从光纤中耦合光到空间中平行光过程中，平行光的平行度，进而解决气体的光谱检测法中只能使用激光进行实验的问题。
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