公开(公告)号：CN112960643A

公开(公告)日：2021-06-15

申请号：CN202110209567.X

申请日：2021-02-25

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 方肖勇 ,  张文明 ,  胡开明 ,  亓文豪 ,  刘春程

IPC: B81C99/00

Abstract: 一种基于光学转角测量装置的MEMS微镜可靠性测试方法，将待测试MEMS微镜置于高低温试验箱中，调整微镜的反射镜面与观察窗平行，测量观察窗与MEMS微镜封装玻璃片的距离，安装光学转角测量装置并打开激光器，使得激光出射点落在准直透镜的焦点上，利用凸透镜光会聚特性减小出射激光束的发散角，通过调节双头反向微调螺杆的旋进旋出程度调整前端机构和后端机构的相对位姿关系使得准直后激光垂直入射观察窗并对准MEMS微镜工作反射镜面，利用光学转角测量装置在光屏坐标纸上读取MEMS微镜的光学扫描长度，通过三角函数关系式计算所测试的MEMS微镜的光学转角。本发明实现便捷，可靠性高，检测机构易于生产加工。

公开(公告)号：CN112960643B

公开(公告)日：2023-11-21

申请号：CN202110209567.X

申请日：2021-02-25

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 方肖勇 ,  张文明 ,  胡开明 ,  亓文豪 ,  刘春程

IPC: B81C99/00