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公开(公告)号：CN111806038A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010595654.9
申请日：2020-06-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于大面积修复薄膜转移-加热治愈的微纳米褶皱祛除方法，利用晶圆级修复层薄膜湿法转移技术，将锗层/石墨烯上旋涂得到的均匀大面积PMMA薄膜修复层准确、无损地转移到已有褶皱图案PAN-PDMS双层结构上表面，再结合多步低温加热平坦化工艺充分去除湿法转移过程中在PAN-石墨烯/PMMA-PDMS多层系统的界面处引入的残余液体和空气，使转移的修复层薄膜良好地贴合在已有褶皱表面，并利用不同表面层的褶皱触发临界应变条件不同，进而达到治愈已有褶皱的效果。本发明保证修复层薄膜厚度均匀性且尺度在晶圆级；通过多步低温加热平坦化工艺可以保证充分共型接触和界面结合强度，保证很好的祛皱效果，适用于解决人体皮肤祛皱、扫描电子显微镜表征过程褶皱失真问题和航空航天领域的大型薄膜褶皱消除技术。
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公开(公告)号：CN114195143B
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202111354758.1
申请日：2021-11-16
Applicant: 上海交通大学
IPC: B32B9/00
Abstract: 一种单层锗基石墨烯低温后固化转移方法，在通过CVD工艺生长的锗基石墨烯表面旋涂载体材料，并三层复合结构以载体材料面朝上置于容器中，浇入未固化的PDMS与气泡法剥离得到的多层石墨烯(beGr)的混合物进行低温后固化工艺，然后对三层复合结构上的锗片进行刻蚀处理并最后进行触发加热实现三层复合结构的平坦化。本发明利用低温后固化构筑柔性目标基底，将大面积、高质量单层锗基石墨烯有效地转移，构建三层结构体系，既能够保证石墨烯与PMMA界面处、PMMA与PDMS界面处有足够的界面粘附能，也能避免高温后固化工艺引起PMMA与PDMS之间形成梯度界面层，从而构筑石墨烯/PMMA/beGr‑PDMS三层系统，并制备出单一尺度、失稳模式可控的石墨烯共型褶皱图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114195143A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111354758.1
申请日：2021-11-16
Applicant: 上海交通大学
IPC: C01B32/194
Abstract: 一种单层锗基石墨烯低温后固化转移方法，在通过CVD工艺生长的锗基石墨烯表面旋涂载体材料，并三层复合结构以载体材料面朝上置于容器中，浇入未固化的PDMS与气泡法剥离得到的多层石墨烯(beGr)的混合物进行低温后固化工艺，然后对三层复合结构上的锗片进行刻蚀处理并最后进行触发加热实现三层复合结构的平坦化。本发明利用低温后固化构筑柔性目标基底，将大面积、高质量单层锗基石墨烯有效地转移，构建三层结构体系，既能够保证石墨烯与PMMA界面处、PMMA与PDMS界面处有足够的界面粘附能，也能避免高温后固化工艺引起PMMA与PDMS之间形成梯度界面层，从而构筑石墨烯/PMMA/beGr‑PDMS三层系统，并制备出单一尺度、失稳模式可控的石墨烯共型褶皱图案。
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公开(公告)号：CN113702347A
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202010439872.3
申请日：2020-05-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微纳米尺度界面褶皱形貌的表征实现方法，利用拉曼激光聚焦在硬膜‑软基多层系统的聚甲基丙烯酸甲酯层表面并进行一维垂直方向线扫描，入射激光穿透PMMA和单层石墨烯薄膜并在界面处褶皱表面样品发生了非弹性拉曼散射，通过共聚焦拉曼光谱与聚焦距离之间的关联关系并测量和分析褶皱样品的拉曼位移和拉曼强度在二维空间上的变化，经反向推演得到界面褶皱几何形貌分布规律；本发明可无损、精准、快捷地测量出微纳米尺度界面褶皱的几何特征，不仅适合微纳米界面褶皱的几何形貌表征，还适用于人体皮肤祛皱检测技术、界面几何形貌探测技术和组织器官损伤检测技术。
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公开(公告)号：CN111806038B
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202010595654.9
申请日：2020-06-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于大面积修复薄膜转移‑加热治愈的微纳米褶皱祛除方法，利用晶圆级修复层薄膜湿法转移技术，将锗层/石墨烯上旋涂得到的均匀大面积PMMA薄膜修复层准确、无损地转移到已有褶皱图案含蒽共聚物‑PDMS双层结构上表面，再结合多步低温加热平坦化工艺充分去除湿法转移过程中在含蒽共聚物‑石墨烯/PMMA‑PDMS多层系统的界面处引入的残余液体和空气，使转移的修复层薄膜良好地贴合在已有褶皱表面，并利用不同表面层的褶皱触发临界应变条件不同，进而达到治愈已有褶皱的效果。本发明保证修复层薄膜厚度均匀性且尺度在晶圆级；通过多步低温加热平坦化工艺可以保证充分共型接触和界面结合强度，保证很好的祛皱效果，适用于解决人体皮肤祛皱、扫描电子显微镜表征过程褶皱失真问题和航空航天领域的大型薄膜褶皱消除技术。
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公开(公告)号：CN113702347B
公开(公告)日：2022-10-14
申请号：CN202010439872.3
申请日：2020-05-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种微纳米尺度界面褶皱形貌的表征实现方法，利用拉曼激光聚焦在硬膜‑软基多层系统的聚甲基丙烯酸甲酯层表面并进行一维垂直方向线扫描，入射激光穿透PMMA和单层石墨烯薄膜并在界面处褶皱表面样品发生了非弹性拉曼散射，通过共聚焦拉曼光谱与聚焦距离之间的关联关系并测量和分析褶皱样品的拉曼位移和拉曼强度在二维空间上的变化，经反向推演得到界面褶皱几何形貌分布规律；本发明可无损、精准、快捷地测量出微纳米尺度界面褶皱的几何特征，不仅适合微纳米界面褶皱的几何形貌表征，还适用于人体皮肤祛皱检测技术、界面几何形貌探测技术和组织器官损伤检测技术。
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公开(公告)号：CN112859223A
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN202110095369.5
申请日：2021-01-25
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种表面褶皱机械复合光栅系统及调谐方法，包括：两个光栅、激光源、夹持调节装置和屏幕，其中：激光源和屏幕分别设置于夹持调节装置的两侧，夹持调节装置分别夹持两个光栅的两端，通过①单一方向拉伸调节单个光栅的几何参数和/或通过②平动和/或转动调节两个光栅的相对角度进行调谐及复合，从而调控衍射图案以实现光学加密。本发明通过改变单个褶皱光栅的几何参数及复合光栅的夹角等组合参数，对光源的衍射图案进行动态调节和加密，且调节信号可以使用力、光、热等方式输入，器件制备工艺简单、组装便宜、调整灵活。
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