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公开(公告)号：CN105755438A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610194927.2
申请日：2016-03-30
Applicant: 上海交通大学
CPC classification number: C23C14/35 , C23C14/0036 , C23C14/042 , C23C14/0641 , C23C14/081 , C23C14/10 , C23C14/165 , C23C14/46 , G01B7/18
Abstract: 本发明提供一种高温自补偿多层复合薄膜应变计及其制备方法，所述应变计包括高温合金构件基底、氧化铝绝缘层、第一TaN应变层、PaCr应变层、第二TaN应变层、氧化铝或氧化硅保护层和Pt电极。以高温合金构件为基底，在基底上双离子束溅射沉积氧化铝绝缘薄膜，在绝缘薄膜上射频磁控溅射沉积TaN和PaCr自补偿应变层，在应变层上双离子束溅射氧化铝或氧化硅保护层。本发明适用于在构件工作过程中的实时测量；采用TaN和PaCr合金应变层，克服了温度变化对构件应变测量的影响，使高温测量精度大大提高；采用离子束溅射氧化铝或氧化硅保护层结构致密、结合力好，对功能结构起到了非常好的保护作用。
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公开(公告)号：CN104698744B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201510051991.0
申请日：2015-01-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结束后去除所述弹性模，得到要刻蚀的图案结构。本发明由于使用了弹性模代替了光刻中使用的硬模，因此相对于传统的光刻技术，软光刻技术更加灵活，它首先能制造复杂的三维结构并且能在曲面上应用，其次能够在不同化学性质表面上使用,并且可以根据需要改变材料表面的化学性质，另外还能够应用于许多材料上，其应用正在许多方面不断体现出来。
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公开(公告)号：CN105152124A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510471536.6
申请日：2015-08-04
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种利用深硅刻蚀技术存储CNTs的方法；通过对基板进行深硅刻蚀，在基板上形成一层表面凹槽作为存储空间，然后将CNTs涂覆在存储空间中，获得了一层厚度均匀的吸波薄膜。本发明中利用了凹槽存储CNTs，这相比一般的薄膜CNTs制造技术来说，CNTs的厚度可控，并且均匀度大为提高，沟道的存在，使得CNTs粉末能够长久的保存在基板表面。本发明用深刻硅技术制造出来的隐身材料工艺简单，操作方便，节约能源，成本较低，可以广泛运用于国防军事，医疗化工等领域。
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公开(公告)号：CN105779924B
公开(公告)日：2019-11-01
申请号：CN201610173997.X
申请日：2016-03-24
Applicant: 上海交通大学 , 北京金轮坤天特种机械有限公司
Abstract: 本发明提供一种喷涂热障涂层包裹Pt金属丝表面制造高温绝缘线的方法，所述方法是将高温热障绝缘涂层材料利用喷涂方法包裹在Pt金属丝表面，从而形成最高在1200℃高温下保持绝缘特性的高温绝缘线；所述高温热障绝缘涂层材料为钇稳定氧化锆YSZ或氧化铝Al2O3。本发明高温绝缘线可以代替传统的裸露Pt金属丝引线，该高温绝缘线能在高达1200℃的高温环境下保持良好的电绝缘特性，在创新性的高温智能传感器领域有重要的实际应用价值和潜力，能够广泛应用于许多航空工业原位集成传感器上，该绝缘线技术工艺可与现有航空发动机相关技术兼容，可用于近年的航空界工业化生产。
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公开(公告)号：CN105755438B
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201610194927.2
申请日：2016-03-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种高温自补偿多层复合薄膜应变计及其制备方法，所述应变计包括高温合金构件基底、氧化铝绝缘层、第一TaN应变层、PdCr应变层、第二TaN应变层、氧化铝或氧化硅保护层和Pt电极。以高温合金构件为基底，在基底上双离子束溅射沉积氧化铝绝缘薄膜，在绝缘薄膜上射频磁控溅射沉积TaN和PdCr自补偿应变层，在应变层上双离子束溅射氧化铝或氧化硅保护层。本发明适用于在构件工作过程中的实时测量；采用TaN和PdCr合金应变层，克服了温度变化对构件应变测量的影响，使高温测量精度大大提高；采用离子束溅射氧化铝或氧化硅保护层结构致密、结合力好，对功能结构起到了非常好的保护作用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114658491A
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN202210279300.2
申请日：2022-03-21
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种轮缘驱动太极涡扇叶片，包括：太极叶片，所述太极叶片的一端设有一对朝向相反的大半圆，所述两个大半圆保持相切；另一端设有一对朝向相反的小半圆，每个所述小半圆分别对应一个所述大半圆并与之保持同心；相对应的所述大半圆与所述小半圆连接形成两个叶片扇面；所述两个叶片扇面相连且呈中心对称的S型。本分发明调整现有技术中风扇的倾角和形态，形成太极叶片，优化太极叶片的各个设计参量，从而能够获得吸气流量的最佳值。
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公开(公告)号：CN114121494A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111441282.5
申请日：2021-11-30
Applicant: 上海交通大学
Inventor： 段力
Abstract: 本发明公开一种3D多层高介电常数高功率密度超级电容器，包括多个电容，所述多个电容通过左电极、右电极和连线层连接，所述每个电容，包括：介质层，所述介质层设置硅晶片处；左侧金属层，所述左侧金属层连接于所述介质层的左侧；右侧金属层，所述右侧金属层连接于所述介质层的右侧；所述左侧金属层、介质层和右侧金属层之间以非平面形式贴合并叠加呈多层，形成一个3D多层电容。本发明的超电容为纯物理性超电容，其放电过程中不涉及离子电子交换化学过程，放电功率高、存储能量大。
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公开(公告)号：CN113982782A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111218626.6
申请日：2021-10-20
Applicant: 上海交通大学
Inventor： 段力
Abstract: 本发明提供一种轮缘驱动涡扇涵道喷气式无轴电力永磁航空推进器及应用，包括电源，电源用于提供电力；轮缘永磁电动机，轮缘永磁电动机在电力作用下作为旋转驱动；涡轮叶片，涡轮叶片与轮缘永磁电动机连接并在其旋转驱动作用下实现旋转；内涵道，内涵道位于涡轮叶片外侧，涡轮叶片旋转将空气吸入送至内涵道的输入端，空气经压缩后从内涵道的输出端输出。本发明采用电力作为航空发动机的动力能源，规避高温热动力带来的技术瓶颈。本发明涡轮叶片采用无轴驱动的方式，较现有技术中的涡扇喷气机而言，其体量轻小、加速快，可以形成多发动机灵活布局，达成飞机与发动机归一化设计理念。
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公开(公告)号：CN114658491B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202210279300.2
申请日：2022-03-21
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供一种轮缘驱动太极涡扇叶片，包括：太极叶片，所述太极叶片的一端设有一对朝向相反的大半圆，所述两个大半圆保持相切；另一端设有一对朝向相反的小半圆，每个所述小半圆分别对应一个所述大半圆并与之保持同心；相对应的所述大半圆与所述小半圆连接形成两个叶片扇面；所述两个叶片扇面相连且呈中心对称的S型。本分发明调整现有技术中风扇的倾角和形态，形成太极叶片，优化太极叶片的各个设计参量，从而能够获得吸气流量的最佳值。
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公开(公告)号：CN114121494B
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202111441282.5
申请日：2021-11-30
Applicant: 上海交通大学
Inventor： 段力
Abstract: 本发明公开一种3D多层高介电常数高功率密度超级电容器，包括多个电容，所述多个电容通过左电极、右电极和连线层连接，所述每个电容，包括：介质层，所述介质层设置硅晶片处；左侧金属层，所述左侧金属层连接于所述介质层的左侧；右侧金属层，所述右侧金属层连接于所述介质层的右侧；所述左侧金属层、介质层和右侧金属层之间以非平面形式贴合并叠加呈多层，形成一个3D多层电容。本发明的超电容为纯物理性超电容，其放电过程中不涉及离子电子交换化学过程，放电功率高、存储能量大。
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