公开(公告)号：CN104698744B

公开(公告)日：2019-05-24

申请号：CN201510051991.0

申请日：2015-01-30

申请人： 上海交通大学

发明人： 段力 ,  高均超 ,  丁桂甫 ,  汪红 ,  邵靖 ,  刘宜胜 ,  李洪美 ,  王凤森 ,  张永强 ,  杨卓青 ,  赵小林 ,  程萍 ,  张丛春 ,  王艳 ,  戴旭涵

IPC分类号： G03F7/00 ,  B81C1/00

摘要： 本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结束后去除所述弹性模，得到要刻蚀的图案结构。本发明由于使用了弹性模代替了光刻中使用的硬模，因此相对于传统的光刻技术，软光刻技术更加灵活，它首先能制造复杂的三维结构并且能在曲面上应用，其次能够在不同化学性质表面上使用,并且可以根据需要改变材料表面的化学性质，另外还能够应用于许多材料上，其应用正在许多方面不断体现出来。

公开(公告)号：CN104698744A

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201510051991.0

申请日：2015-01-30

申请人： 上海交通大学

发明人： 段力 ,  高均超 ,  丁桂甫 ,  汪红 ,  邵靖 ,  刘宜胜 ,  李洪美 ,  王凤森 ,  张永强 ,  杨卓青 ,  赵小林 ,  程萍 ,  张丛春 ,  王艳 ,  戴旭涵

IPC分类号： G03F7/00 ,  B81C1/00

摘要： 本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结束后去除所述弹性模，得到要刻蚀的图案结构。本发明由于使用了弹性模代替了光刻中使用的硬模，因此相对于传统的光刻技术，软光刻技术更加灵活，它首先能制造复杂的三维结构并且能在曲面上应用，其次能够在不同化学性质表面上使用,并且可以根据需要改变材料表面的化学性质，另外还能够应用于许多材料上，其应用正在许多方面不断体现出来。