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公开(公告)号：CN104698744A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201510051991.0
申请日：2015-01-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结束后去除所述弹性模，得到要刻蚀的图案结构。本发明由于使用了弹性模代替了光刻中使用的硬模，因此相对于传统的光刻技术，软光刻技术更加灵活，它首先能制造复杂的三维结构并且能在曲面上应用，其次能够在不同化学性质表面上使用,并且可以根据需要改变材料表面的化学性质，另外还能够应用于许多材料上，其应用正在许多方面不断体现出来。
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公开(公告)号：CN104698744B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201510051991.0
申请日：2015-01-30
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种利用软质光刻模板进行曲面薄膜图形化微制造方法，属于微加工技术领域。所述技术将腐蚀溶剂涂在软质弹性模的图形表面，然后附着在要刻蚀的薄膜上，与所述弹性模的凸出图形部位接触的所述薄膜表面受到刻蚀，所述薄膜刻蚀结束后去除所述弹性模，得到要刻蚀的图案结构。本发明由于使用了弹性模代替了光刻中使用的硬模，因此相对于传统的光刻技术，软光刻技术更加灵活，它首先能制造复杂的三维结构并且能在曲面上应用，其次能够在不同化学性质表面上使用,并且可以根据需要改变材料表面的化学性质，另外还能够应用于许多材料上，其应用正在许多方面不断体现出来。
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公开(公告)号：CN117729083A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311736687.0
申请日：2023-12-18
Applicant: 上海交通大学
Inventor： 李洪美
Abstract: 一种基于波长改变的调频连续波快速生成方法及装置，对激光器输出的波长进行直接调制，通过改变调制频率使得输出的激光#imgabs0#的波长随时间连续变化；将其与频率稳定不变的恒定光信号率#imgabs1#同时传输到光电探测器，通过光电探测器接收和混频后，得到混频信号#imgabs2#其中下变频调频连续波的频率为随时间连续变化的|(ω1‑ω2)|，即FMCW信号，其中：频率ω2随时间连续变化，频率ω1稳定不变。本发明利用直接调制改变光的波长，产生调频连续波，降低了提高了信号产生的速度，降低了系统复杂度，控制更简单。
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