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公开(公告)号：CN102282371A
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201080004682.3
申请日：2010-05-06
CPC classification number: F04B37/14 , F01C19/005 , F04C18/123 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C27/009 , F04C28/02 , F04C29/02
Abstract: 在排气室(13)与润滑室(12)之间具有：对区划排气室(13)的工作缸(7)和第一轴(5)之间进行密封的第二密封件(28)、对区划润滑室(12)的侧罩(9)和第一轴(5)之间进行密封的第一密封件(27)。另外，在第二密封件(28)和第一密封件(27)之间设有供给密封气体的气体导入空间(29)。第二密封件(28)及第一密封件(27)分别具有基部和从基部向第一轴(5)侧延伸的一对圆环状的唇(31、32、33、34)。一对唇(31、32或33、34)以相互的间隔随着从基部朝向第一轴(5)侧而逐渐扩大的方式延伸，并且各自前端部能够与第一轴(5)弹性接触。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102959125B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201180030847.9
申请日：2011-05-09
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C16/509 , C23C16/44 , C23C16/455 , H01L21/205 , H01J37/32 , H01L31/18 , H01L31/20
CPC classification number: C23C16/50 , C23C16/4412 , C23C16/4557 , C23C16/45578 , C23C16/46 , C23C16/511 , H01J37/32229 , H01L31/1804 , H01L31/1816 , H01L31/1824 , H01L31/1876 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 提供一种抑制脊形电极及基板的热变形，对于大型的基板也能进行稳定的等离子体处理的真空处理装置。具有：放电室（2），由脊形波导管构成，该脊形波导管具有生成等离子体的排气侧脊形电极（21a）及基板侧脊形电极（21b）；一对转换器，将高频电力转换成方形波导管的基本传送模式即TE模式而向放电室（2）传送，并使排气侧脊形电极（21a）及基板侧脊形电极（21b）之间产生等离子体；均热调温器（40），设置在基板侧脊形电极（21b）的外表面侧，并使温度均匀地进行加热；热吸收调温单元（50），设置在排气侧脊形电极（21a）的外表面侧，并控制实施等离子体处理的基板（S）的板厚方向的热流束，将基板（S）设置在排气侧脊形电极（21a）及基板侧脊形电极（21b）之间而实施等离子体处理。
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公开(公告)号：CN102282371B
公开(公告)日：2014-12-31
申请号：CN201080004682.3
申请日：2010-05-06
CPC classification number: F04B37/14 , F01C19/005 , F04C18/123 , F04C23/001 , F04C25/02 , F04C27/009 , F04C28/02 , F04C29/02
Abstract: 在排气室(13)与润滑室(12)之间具有：对区划排气室(13)的工作缸(7)和第一轴(5)之间进行密封的第二密封件(28)、对区划润滑室(12)的侧罩(9)和第一轴(5)之间进行密封的第一密封件(27)。另外，在第二密封件(28)和第一密封件(27)之间设有供给密封气体的气体导入空间(29)。第二密封件(28)及第一密封件(27)分别具有基部和从基部向第一轴(5)侧延伸的一对圆环状的唇(31、32、33、34)。一对唇(31、32或33、34)以相互的间隔随着从基部朝向第一轴(5)侧而逐渐扩大的方式延伸，并且各自前端部能够与第一轴(5)弹性接触。
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公开(公告)号：CN102959125A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201180030847.9
申请日：2011-05-09
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: C23C16/509 , H01L21/205 , H01L31/04 , H05H1/46
CPC classification number: C23C16/50 , C23C16/4412 , C23C16/4557 , C23C16/45578 , C23C16/46 , C23C16/511 , H01J37/32229 , H01L31/1804 , H01L31/1816 , H01L31/1824 , H01L31/1876 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 提供一种抑制脊形电极及基板的热变形，对于大型的基板也能进行稳定的等离子体处理的真空处理装置。具有：放电室（2），由脊形波导管构成，该脊形波导管具有生成等离子体的排气侧脊形电极（21a）及基板侧脊形电极（21b）；一对转换器，将高频电力转换成方形波导管的基本传送模式即TE模式而向放电室（2）传送，并使排气侧脊形电极（21a）及基板侧脊形电极（21b）之间产生等离子体；均热调温器（40），设置在基板侧脊形电极（21b）的外表面侧，并使温度均匀地进行加热；热吸收调温单元（50），设置在排气侧脊形电极（21a）的外表面侧，并控制实施等离子体处理的基板（S）的板厚方向的热流束，将基板（S）设置在排气侧脊形电极（21a）及基板侧脊形电极（21b）之间而实施等离子体处理。
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公开(公告)号：CN101467233B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200780022228.9
申请日：2007-08-22
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L21/205 , C23C16/455 , C23C16/509
CPC classification number: C23C16/509 , C23C16/45563 , C23C16/4557 , C23C16/46 , H01J37/32009 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32541 , H01L21/02422 , H01L21/02532 , H01L21/0262 , H01L31/075 , H01L31/18 , H01L31/1824 , Y02E10/545 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种可抑制膜厚分布或膜质分布的产生的放电电极、薄膜制造装置及太阳能电池的制造方法。放电电极具备彼此大致平行地向X方向延伸的两根横结构(20)、设于这两根横结构(20)之间、且彼此大致平行地向Y方向延伸的多个纵结构(21a)。纵结构(21a)具备：将一端部(35a)连接在一个横结构(20)上、将另一端部(35b)连接在另一个横结构(20)上的电极主体(35)、配置于气管收容空间(36)的气管(41)、多孔体(40)。开口部(38)向着基板(8)开口且用多孔体(40)封闭。气体扩散通路(37)连接气管收容空间(36)和开口部(38)。电极内侧面(39)面对气管收容空间(36)并且和管外侧面(42b)对置。喷嘴孔群(42c)沿Y方向配设于气管(41)上且向着和电极内侧面(39)的气体扩散通路(37)相反侧的部分(39a)。
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公开(公告)号：CN101467233A
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200780022228.9
申请日：2007-08-22
Applicant: 三菱重工业株式会社
IPC: H01L21/205 , C23C16/455 , C23C16/509
CPC classification number: C23C16/509 , C23C16/45563 , C23C16/4557 , C23C16/46 , H01J37/32009 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32541 , H01L21/02422 , H01L21/02532 , H01L21/0262 , H01L31/075 , H01L31/18 , H01L31/1824 , Y02E10/545 , Y02E10/548 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种可抑制膜厚分布或膜质分布的产生的放电电极、薄膜制造装置及太阳能电池的制造方法。放电电极具备彼此大致平行地向X方向延伸的两根横结构(20)、设于这两根横结构(20)之间、且彼此大致平行地向Y方向延伸的多个纵结构(21a)。纵结构(21a)具备：将一端部(35a)连接在一个横结构(20)上、将另一端部(35b)连接在另一个横结构(20)上的电极主体(35)、配置于气管收容空间(36)的气管(41)、多孔体(40)。开口部(38)向着基板(8)开口且用多孔体(40)封闭。气体扩散通路(37)连接气管收容空间(36)和开口部(38)。电极内侧面(39)面对气管收容空间(36)并且和管外侧面(42b)对置。喷嘴孔群(42c)沿Y方向配设于气管(41)上且向着和电极内侧面(39)的气体扩散通路(37)相反侧的部分(39a)。
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