真空泵及真空泵的复压方法

    公开(公告)号:CN114810594A

    公开(公告)日:2022-07-29

    申请号:CN202210079375.6

    申请日:2022-01-24

    Abstract: 本发明提供一种可靠性更高的真空泵。在本发明的真空泵中,气缸主体具有:进气口;筒状的内部空间,其经由上述进气口吸入气体;排气口,其将上述气体从上述内部空间经过排气通道向内部空间外排出;供油口,其向上述内部空间供给泵油;油池,其设置在上述内部空间的上方,能够收容上述排气口,存积与上述气体一同从上述排气口排出的上述泵油。转子机构将经由上述进气口抽吸的上述气体的容积形成于上述内部空间,并且将上述容积的上述气体输送至上述排气通道。除了上述排气通道之外还设置有孔路径,其从上述内部空间贯通至上述油池且比上述排气通道的孔径小。

    闸阀
    6.
    发明授权
    闸阀 有权

    公开(公告)号:CN110494683B

    公开(公告)日:2021-07-20

    申请号:CN201980001764.3

    申请日:2019-02-05

    Abstract: 本发明的闸阀具备:阀箱,具有中空部和第一开口部及第二开口部,所述第一开口部及第二开口部隔着所述中空部彼此相对设置且成为连通的流道;中立阀体,配置在所述阀箱的所述中空部内且能关闭所述第一开口部;和旋转轴,作为位置切换部发挥功能且具有沿流道方向延伸的轴线,所述位置切换部在使所述中立阀体相对于所述第一开口部处于关闭状态的阀关闭位置与使所述中立阀体处于从所述第一开口部退避的开放状态的阀开放位置之间操作所述中立阀体。所述中立阀体具有连接于所述位置切换部的中立阀部和以能够改变所述流道方向上的位置的方式与所述中立阀部连接的可动阀部。

    滑动阀
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110785592B

    公开(公告)日:2020-12-11

    申请号:CN201980003158.5

    申请日:2019-03-14

    Abstract: 本发明的滑动阀具有:阀箱,具有中空部和第一开口部及第二开口部,所述第一开口部及第二开口部隔着所述中空部彼此相对设置且成为连通的流道;中立阀体,配置在所述阀箱的所述中空部内且能关闭所述第一开口部;旋转轴,用于在使所述中立阀体相对于所述第一开口部处于关闭状态的阀关闭位置与使所述中立阀体处于从所述第一开口部退避的开放状态的阀开放位置之间转动所述中立阀体;旋转装置,由用于使所述旋转轴旋转的齿条小齿轮及用于驱动所述齿条小齿轮的旋转气缸构造;关闭解除驱动部,由进行解除所述中立阀体的关闭的操作的关闭解除气缸构造;和时序回路,能够依次进行解除所述中立阀体的关闭的操作和所述中立阀体的旋转操作。

    油压驱动系统及闸阀
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111853266A

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN202010321432.8

    申请日:2020-04-22

    Abstract: 本发明公开一种油压驱动系统及闸阀。油压驱动系统是具有以能够在真空气氛的腔室内按压对象物的方式伸缩的真空致动器、油压驱动部以及驱动部的油压驱动系统。真空致动器具有向对象物能够伸缩的伸缩杆和向远离对象物的方向对伸缩杆施力的施力部件。真空致动器通过从油压驱动部供给的工作油压产生比施力部件的作用力大的驱动力来使伸缩杆驱动。在驱动部中设置有油压抑制部,所述油压抑制部用于在伸缩杆通过油压施力部件的作用力而向接近对象物的方向移动时,对付电动机的反转,抑制油压的上升。

    真空泵
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111226040A

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201880067018.X

    申请日:2018-05-30

    Abstract: 本发明通过简便的机构高效地将润滑油供给至轴承构件。真空泵具有第一壳体、第二壳体、转子轴、润滑油刮板和轴承构件。上述第二壳体安装于上述第一壳体,与上述第一壳体一起形成贮存润滑油的空间部。上述转子轴贯通上述第一壳体。上述润滑油刮板收容于上述空间部,并安装于上述转子轴。上述轴承构件固定于上述第一壳体,将上述转子轴以能旋转的方式进行支承。在上述第一壳体设置有能向上述轴承构件供给上述润滑油的供给口。上述第二壳体具有供由上述润滑油刮板刮起的上述润滑油碰触的内壁上部。上述第二壳体在上述内壁上部设置有能使上述润滑油移动至上述供给口上的凹部。

    真空泵及其控制方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111213316A

    公开(公告)日:2020-05-29

    申请号:CN201880067103.6

    申请日:2018-06-20

    Abstract: 本发明的一形态的真空泵,具有泵主体、第一温度传感器、马达以及控制单元。上述泵主体具有旋转轴和金属制成的壳体部。上述第一温度传感器安装于上述壳体部,并检测上述壳体部的温度。上述马达具有包括永磁体且安装于上述旋转轴的转子铁芯、具有多个线圈的定子铁芯以及收纳上述转子铁芯的壳。上述控制单元具有驱动电路和修正电路。上述驱动电路基于预先设定的感应电压常数,向上述多个线圈供给使上述马达旋转的驱动信号。上述修正电路基于上述第一温度传感器的输出,来修正上述感应电压常数。

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