公开(公告)号：CN101467233B

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200780022228.9

申请日：2007-08-22

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 河野慎吾 ,  大坪荣一郎 ,  宫园直之 ,  川村启介 ,  竹内良昭

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/455 ,  C23C16/509

CPC classification number: C23C16/509 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/46 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32541 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/075 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种可抑制膜厚分布或膜质分布的产生的放电电极、薄膜制造装置及太阳能电池的制造方法。放电电极具备彼此大致平行地向X方向延伸的两根横结构(20)、设于这两根横结构(20)之间、且彼此大致平行地向Y方向延伸的多个纵结构(21a)。纵结构(21a)具备：将一端部(35a)连接在一个横结构(20)上、将另一端部(35b)连接在另一个横结构(20)上的电极主体(35)、配置于气管收容空间(36)的气管(41)、多孔体(40)。开口部(38)向着基板(8)开口且用多孔体(40)封闭。气体扩散通路(37)连接气管收容空间(36)和开口部(38)。电极内侧面(39)面对气管收容空间(36)并且和管外侧面(42b)对置。喷嘴孔群(42c)沿Y方向配设于气管(41)上且向着和电极内侧面(39)的气体扩散通路(37)相反侧的部分(39a)。

公开(公告)号：CN101467233A

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN200780022228.9

申请日：2007-08-22

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 河野慎吾 ,  大坪荣一郎 ,  宫园直之 ,  川村启介 ,  竹内良昭

IPC: H01L21/205 ,  C23C16/455 ,  C23C16/509

CPC classification number: C23C16/509 ,  C23C16/45563 ,  C23C16/4557 ,  C23C16/46 ,  H01J37/32009 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32449 ,  H01J37/32541 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/0262 ,  H01L31/075 ,  H01L31/18 ,  H01L31/1824 ,  Y02E10/545 ,  Y02E10/548 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供一种可抑制膜厚分布或膜质分布的产生的放电电极、薄膜制造装置及太阳能电池的制造方法。放电电极具备彼此大致平行地向X方向延伸的两根横结构(20)、设于这两根横结构(20)之间、且彼此大致平行地向Y方向延伸的多个纵结构(21a)。纵结构(21a)具备：将一端部(35a)连接在一个横结构(20)上、将另一端部(35b)连接在另一个横结构(20)上的电极主体(35)、配置于气管收容空间(36)的气管(41)、多孔体(40)。开口部(38)向着基板(8)开口且用多孔体(40)封闭。气体扩散通路(37)连接气管收容空间(36)和开口部(38)。电极内侧面(39)面对气管收容空间(36)并且和管外侧面(42b)对置。喷嘴孔群(42c)沿Y方向配设于气管(41)上且向着和电极内侧面(39)的气体扩散通路(37)相反侧的部分(39a)。